JPS61130104A - 被処理物の搬送方法 - Google Patents
被処理物の搬送方法Info
- Publication number
- JPS61130104A JPS61130104A JP25358684A JP25358684A JPS61130104A JP S61130104 A JPS61130104 A JP S61130104A JP 25358684 A JP25358684 A JP 25358684A JP 25358684 A JP25358684 A JP 25358684A JP S61130104 A JPS61130104 A JP S61130104A
- Authority
- JP
- Japan
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- cassette
- work
- taken out
- processed
- motor
- Prior art date
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- Granted
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G65/00—Loading or unloading
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は搬送装置に係り、特にカセットから被処理物を
確実に取り出すことを可能とした搬送装置に関する。
確実に取り出すことを可能とした搬送装置に関する。
従来、被処理物を多段に載置したカセットから、被処理
物を取り出す場合は、上記カセットを昇降自在に設ける
とともに、上記カセットの下方に搬送ベルトを配設し、
上記カセットを下降させ最下段の被処理物すなわち搬送
ベルトの上面に当接した被処理物を順次搬送するように
なさている。
物を取り出す場合は、上記カセットを昇降自在に設ける
とともに、上記カセットの下方に搬送ベルトを配設し、
上記カセットを下降させ最下段の被処理物すなわち搬送
ベルトの上面に当接した被処理物を順次搬送するように
なさている。
しかし、上記カセットの精度が悪い場合、また、被処理
物が曲っている場合に、被処理物がカセットに引掛って
確実に取り出すことができないという問題がある。この
ことは、近年、完全に自動化された真空処理装置に適用
する場合に特に問題であり、さらに、被処理物がうまく
取り出されないことにより、被処理物に損傷を与えるお
それがあった。
物が曲っている場合に、被処理物がカセットに引掛って
確実に取り出すことができないという問題がある。この
ことは、近年、完全に自動化された真空処理装置に適用
する場合に特に問題であり、さらに、被処理物がうまく
取り出されないことにより、被処理物に損傷を与えるお
それがあった。
本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、被処理物
をカセットから確実に取り出すことのできる搬送装置を
提供することを目的とするものである。
をカセットから確実に取り出すことのできる搬送装置を
提供することを目的とするものである。
（発明の概要〕
上記目的を達成するため本発明に係る搬送装置は、被処
理物を多段に載置するカセットを昇降自在に設け、この
カセットの下方に搬送ベルトを配設し、上記カセットを
下方に移動さＵながら上記搬送ベルトにより被処理物を
取り出すようにしてなる搬送装置において、上記被処理
物が取り出されたか否かを検出する出入検出器を設ける
とともに、この出入検出器の出力信号を入力して上記カ
セットの昇降駆動および上記搬送ベルト駆動を制御する
制御装置を設け、上記出入検出器により被処理物が取り
出されていないことを検出したときに、上記制御装置に
より上記カセットをわずかに上下動させるようにしたこ
とをその特徴とするものである。
理物を多段に載置するカセットを昇降自在に設け、この
カセットの下方に搬送ベルトを配設し、上記カセットを
下方に移動さＵながら上記搬送ベルトにより被処理物を
取り出すようにしてなる搬送装置において、上記被処理
物が取り出されたか否かを検出する出入検出器を設ける
とともに、この出入検出器の出力信号を入力して上記カ
セットの昇降駆動および上記搬送ベルト駆動を制御する
制御装置を設け、上記出入検出器により被処理物が取り
出されていないことを検出したときに、上記制御装置に
より上記カセットをわずかに上下動させるようにしたこ
とをその特徴とするものである。
〔発明の実施例）
以下、本発明の実施例を第１図および第２図を参照して
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示したもので、複数段にウ
ェハをｉ置するカセット１の後面側には、螺合部材２が
固着され、この螺合部材２は、上下方向に延び周面に雄
ねじが形成された送りねじ３に螺合されている。この送
りねじ３の下端部には、昇降用モータ４が接続されてお
り、このモータ４を駆動して送りねじ３を回転さゼるこ
とにより上記カセット１を昇降させるようになされてい
る。
ェハをｉ置するカセット１の後面側には、螺合部材２が
固着され、この螺合部材２は、上下方向に延び周面に雄
ねじが形成された送りねじ３に螺合されている。この送
りねじ３の下端部には、昇降用モータ４が接続されてお
り、このモータ４を駆動して送りねじ３を回転さゼるこ
とにより上記カセット１を昇降させるようになされてい
る。
また、上記送りねじ３の下方には、孔部５を右！ｒる円
板６と、光学センサ７とからなる回転検出装Ｎ８が設け
られており、上記カセット１の上限位置および下限位置
をそれぞれ検出する上限位置検出スイッチ９および下限
位置検出スイッチ１０が設けられている。さらに、カセ
ット１の下方には、搬送用モータ１１の駆動により被処
理物を搬送する搬送ベルト１２が配設されるとともに、
カセット１の被処理物の有無を検出する出入検出器１３
が設けられている。また、上記各位置検出スイッチ３，
４、回転検出装置８および出入検出器１３からの出力信
号を入力して、各モータ４，１１へ出力信号を送るマイ
クロコンピュータ等の制御装置１４が設けられている。
板６と、光学センサ７とからなる回転検出装Ｎ８が設け
られており、上記カセット１の上限位置および下限位置
をそれぞれ検出する上限位置検出スイッチ９および下限
位置検出スイッチ１０が設けられている。さらに、カセ
ット１の下方には、搬送用モータ１１の駆動により被処
理物を搬送する搬送ベルト１２が配設されるとともに、
カセット１の被処理物の有無を検出する出入検出器１３
が設けられている。また、上記各位置検出スイッチ３，
４、回転検出装置８および出入検出器１３からの出力信
号を入力して、各モータ４，１１へ出力信号を送るマイ
クロコンピュータ等の制御装置１４が設けられている。
次に、本実施例における動作を第２図に基づいｒ、説明
する。
する。
カセットに載置された被処理物を取り出す場合は、まず
、昇降用モータ４を駆動してカセット１の下段部分が搬
送ベルト１２上に位置するように下降さける。そして、
搬送用モータ１１を駆動して最下段に載置された被処理
物から搬送するようになされる。ここで、被処理物が確
実に搬送されたか否かを出入検出器１３により検出し、
搬送されていれば搬送用モータ１１を停止させ、搬送さ
れていない場合は昇降用モータ４を駆動してカセット１
を約１．５ａ＋上方（安全方向）に移動させる。ここに
、カセット１の各段の間隔は３／１６インチ（約４．７
５ｓｍ）であり、その間隔の約１／３程度移動させれば
よい。そして、再度出入検出器１３により検出し、被処
理物が搬送されていない場合は、カセット１を約１．５
調下降させ ゛てもとの位置に戻す。そして、同様
にカセット１を約１．５ａｗ下降させ、さらに、約１．
５＃ｍ＋上ツ？させカセット１をもとの位置に戻しても
、被処理物が搬送されない場合は、搬送用モータ１１を
停止させ、トラブルであることを表示させる。
、昇降用モータ４を駆動してカセット１の下段部分が搬
送ベルト１２上に位置するように下降さける。そして、
搬送用モータ１１を駆動して最下段に載置された被処理
物から搬送するようになされる。ここで、被処理物が確
実に搬送されたか否かを出入検出器１３により検出し、
搬送されていれば搬送用モータ１１を停止させ、搬送さ
れていない場合は昇降用モータ４を駆動してカセット１
を約１．５ａ＋上方（安全方向）に移動させる。ここに
、カセット１の各段の間隔は３／１６インチ（約４．７
５ｓｍ）であり、その間隔の約１／３程度移動させれば
よい。そして、再度出入検出器１３により検出し、被処
理物が搬送されていない場合は、カセット１を約１．５
調下降させ ゛てもとの位置に戻す。そして、同様
にカセット１を約１．５ａｗ下降させ、さらに、約１．
５＃ｍ＋上ツ？させカセット１をもとの位置に戻しても
、被処理物が搬送されない場合は、搬送用モータ１１を
停止させ、トラブルであることを表示させる。
以上の動作はすべて制御装置１４により制御される。
したがって、本実施例においては、カセットに被処理物
が引掛った場合でも、被処理物を搬送することができ、
さらに、被処理物が搬送されないときには搬送用モータ
を停止させるので、被処理物に屓傷を与えることがなく
なる。
が引掛った場合でも、被処理物を搬送することができ、
さらに、被処理物が搬送されないときには搬送用モータ
を停止させるので、被処理物に屓傷を与えることがなく
なる。
以上述べたように本発明に係る搬送装置は、出入検出器
により被処理物が搬送されていないことを検出したとき
に、制御装置によりカセットをわずかに上下動させるよ
うにしたので、このｈピットの上下動により被処理物の
引掛りが解除さ机、確実に被処理物を取り出すことがで
きる。また、被処理物を無理に取り出すことがないので
、被処理物の損傷を防ぐことができる等の効果を奏する
。
により被処理物が搬送されていないことを検出したとき
に、制御装置によりカセットをわずかに上下動させるよ
うにしたので、このｈピットの上下動により被処理物の
引掛りが解除さ机、確実に被処理物を取り出すことがで
きる。また、被処理物を無理に取り出すことがないので
、被処理物の損傷を防ぐことができる等の効果を奏する
。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施例を示し
たもので、第１図は概略構成図、第２図は第１図に示す
装置の制御を行なう場合のブロック線図である。 １・・・カセット、２・・・螺合部材、３・・・送りね
じ、４・・・昇降用モータ、５・・・孔部、６・・・円
板、７・・・光学センサ、８・・・回転検出装置、９，
１０・・・位置検出装置、１１・・・搬送用モータ、１
２・・・搬送ベルト、１３・・・出入検出器、１４・・
・制御装置。 出願人代理人 猪 股 清 栴１目
たもので、第１図は概略構成図、第２図は第１図に示す
装置の制御を行なう場合のブロック線図である。 １・・・カセット、２・・・螺合部材、３・・・送りね
じ、４・・・昇降用モータ、５・・・孔部、６・・・円
板、７・・・光学センサ、８・・・回転検出装置、９，
１０・・・位置検出装置、１１・・・搬送用モータ、１
２・・・搬送ベルト、１３・・・出入検出器、１４・・
・制御装置。 出願人代理人 猪 股 清 栴１目
Claims (1)
- 被処理物を多段に載置するカセットを昇降自在に設け、
このカセットを下方に搬送ベルトを配設し、上記カセッ
トを下方に移動させながら上記搬送ベルトにより被処理
物を取り出すようにしてなる搬送装置において、上記被
処理物が取り出されたか否かを検出する出入検出器を設
けるとともに、この出入検出器の出力信号を入力して上
記カセットの昇降駆動および上記搬送ベルト駆動を制御
する制御装置を設け、上記出入検出器により被処理物が
取り出されていないことを検出したときに、上記制御装
置により上記カセットをわずかに上下動させるようにし
たことを特徴とする搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25358684A JPH0244724B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | Hishoributsunohansohoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25358684A JPH0244724B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | Hishoributsunohansohoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61130104A true JPS61130104A (ja) | 1986-06-18 |
| JPH0244724B2 JPH0244724B2 (ja) | 1990-10-05 |
Family
ID=17253431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25358684A Expired - Lifetime JPH0244724B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | Hishoributsunohansohoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244724B2 (ja) |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP25358684A patent/JPH0244724B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0244724B2 (ja) | 1990-10-05 |
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