JPH0244724B2 - Hishoributsunohansohoho - Google Patents
HishoributsunohansohohoInfo
- Publication number
- JPH0244724B2 JPH0244724B2 JP25358684A JP25358684A JPH0244724B2 JP H0244724 B2 JPH0244724 B2 JP H0244724B2 JP 25358684 A JP25358684 A JP 25358684A JP 25358684 A JP25358684 A JP 25358684A JP H0244724 B2 JPH0244724 B2 JP H0244724B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- conveyor belt
- processed
- workpiece
- objects
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G65/00—Loading or unloading
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は搬送方法に係り、特にカセツトから被
処理物を確実に取り出すことを可能とした搬送方
法に関する。
処理物を確実に取り出すことを可能とした搬送方
法に関する。
従来、被処理物を多段に載置したカセツトか
ら、被処理物を取り出す場合は、上記カセツトを
昇降自在に設けるとともに、上記カセツトの下方
に搬送ベルトを配設し、上記カセツトを下降させ
最下段の被処理物すなわち搬送ベルトの上面に当
接もさせて被処理物を順次搬送するようになさて
いる。
ら、被処理物を取り出す場合は、上記カセツトを
昇降自在に設けるとともに、上記カセツトの下方
に搬送ベルトを配設し、上記カセツトを下降させ
最下段の被処理物すなわち搬送ベルトの上面に当
接もさせて被処理物を順次搬送するようになさて
いる。
しかし、上記カセツトの精度が悪い場合、ま
た、被処理物が上に凸状または下に凸状に曲つて
いる場合に、被処理物がカセツトに引掛つて確実
に取り出すことができないという問題がある。こ
のことは、近年、完全に自動化された真空処理装
置に適用する場合に特に問題であり、さらに、被
処理物うまく取り出されないことにより、被処理
物に損傷を与えるおそれがあつた。
た、被処理物が上に凸状または下に凸状に曲つて
いる場合に、被処理物がカセツトに引掛つて確実
に取り出すことができないという問題がある。こ
のことは、近年、完全に自動化された真空処理装
置に適用する場合に特に問題であり、さらに、被
処理物うまく取り出されないことにより、被処理
物に損傷を与えるおそれがあつた。
本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、
被処理物をカセツトから確実に取り出すことので
きる被処理物の搬送方法を提供することを目的と
するものである。
被処理物をカセツトから確実に取り出すことので
きる被処理物の搬送方法を提供することを目的と
するものである。
上記目的を達成するため本発明に係る搬送装置
は、被処理物を内部に収容した複数段のカセツト
を昇降自在に設け、このカセツトの下方に搬送ベ
ルトを配設し、上記カセツトを段階的に下方に移
動させながら上記搬送ベルトによりカセツト内の
被処理物を順次カセツトから取出すようにした被
処理物の搬送方法において、上記被処理物が取出
されたか否かを検出する出入検出器を搬送ベルト
の直下に設けるとともに、この出入検出器の出力
信号を入力して上記カセツトの昇降駆動および上
記搬送ベルト駆動を制御する制御装置を設け、被
処理物が取出されていないことを上記出入検出器
が検出したときに、先ず、カセツトを搬送ベルト
の搬送面より若干上昇させた位置で搬送ベルトを
搬送方向に駆動し、さらに、被処理物が取出され
ていないとき、カセツトを搬送ベルトの搬送面よ
りも若干下降させた状態で搬送方向に駆動させる
ようにしたことをその特徴とするものである。
は、被処理物を内部に収容した複数段のカセツト
を昇降自在に設け、このカセツトの下方に搬送ベ
ルトを配設し、上記カセツトを段階的に下方に移
動させながら上記搬送ベルトによりカセツト内の
被処理物を順次カセツトから取出すようにした被
処理物の搬送方法において、上記被処理物が取出
されたか否かを検出する出入検出器を搬送ベルト
の直下に設けるとともに、この出入検出器の出力
信号を入力して上記カセツトの昇降駆動および上
記搬送ベルト駆動を制御する制御装置を設け、被
処理物が取出されていないことを上記出入検出器
が検出したときに、先ず、カセツトを搬送ベルト
の搬送面より若干上昇させた位置で搬送ベルトを
搬送方向に駆動し、さらに、被処理物が取出され
ていないとき、カセツトを搬送ベルトの搬送面よ
りも若干下降させた状態で搬送方向に駆動させる
ようにしたことをその特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を第１図および第２図を
参照して説明する。
参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例を示したもので、複
数段にウエハを載置するカセツト１の後面側に
は、螺合部材２が固着され、この螺合部材２は、
上下方向に延び周面に雄ねじが形成された送りね
じ３に螺合されている。この送りねじ３の下端部
には、昇降用モータ４が接続されており、このモ
ータ４を駆動して送りねじ３を回転させることに
より上記カセツト１を昇降させるようになされて
いる。また、上記送りねじ３の下方には、孔部５
を有する円板６と、光学センサ７とからなる回転
検出装置８が設けられており、上記カセツト１の
上限位置および下限位置をそれぞれ検出する上限
位置検出スイツチ９および下限位置検出スイツチ
１０が設けられている。さらに、カセツト１の下
方には、搬送用モータ１１の駆動により被処理物
を搬送する搬送ベルト１２が配設されるととも
に、搬送面の直下にはカセツト１の被処理物の有
無を検出する出入検出器１３が設けられている。
また、上記各位置検出スイツチ９，１０、回転検
出装置８および出入検出器１３からの出力信号を
入力して、各モータ４，１１へ出力信号を送るマ
イクロコンピユータ等の制御装置１４が設けられ
ている。
数段にウエハを載置するカセツト１の後面側に
は、螺合部材２が固着され、この螺合部材２は、
上下方向に延び周面に雄ねじが形成された送りね
じ３に螺合されている。この送りねじ３の下端部
には、昇降用モータ４が接続されており、このモ
ータ４を駆動して送りねじ３を回転させることに
より上記カセツト１を昇降させるようになされて
いる。また、上記送りねじ３の下方には、孔部５
を有する円板６と、光学センサ７とからなる回転
検出装置８が設けられており、上記カセツト１の
上限位置および下限位置をそれぞれ検出する上限
位置検出スイツチ９および下限位置検出スイツチ
１０が設けられている。さらに、カセツト１の下
方には、搬送用モータ１１の駆動により被処理物
を搬送する搬送ベルト１２が配設されるととも
に、搬送面の直下にはカセツト１の被処理物の有
無を検出する出入検出器１３が設けられている。
また、上記各位置検出スイツチ９，１０、回転検
出装置８および出入検出器１３からの出力信号を
入力して、各モータ４，１１へ出力信号を送るマ
イクロコンピユータ等の制御装置１４が設けられ
ている。
次に、本実施例における動作を第２図に基づい
て説明する。
て説明する。
カセツトに載置された被処理物を取り出す場合
は、まず、昇降用モータ４を駆動してカセツト１
の最下段部分が搬送ベルト１２の搬送面に一致す
る位置まで下降させる。そして、搬送用モータ１
１を駆動して最下段に載置された被処理物を前方
へ搬送する。ここで、被処理物が確実に搬送され
たか否かを出入検出器１３により検出し、搬送さ
れていれば搬送用モータ１１を停止させ、搬送さ
れていない場合は昇降用モータ４を駆動してカセ
ツト１を約1.5mm上方（安全方向）に移動させる。
搬送用モーター１１を搬送方向に駆動する。被処
理物が下に凸状に曲がつていた場合にはこの段階
で搬出される。ここに、カセツト１の各段の間隔
は3/16インチ（約4.75mm）であり、その間隔の約
１／３程度移動させればよい。そして、再度出入検
出器１３により検出し、被処理物が搬送されてい
ない場合は、カセツト１を約1.5mm下降させても
との位置に戻し、さらに、カセツト１を約1.5mm
下降させた状態で搬送ベルとを搬出方向に駆動す
る。被処理物が上に凸状に曲がつていた場合には
この段階で排出できる。さらに、約1.5mm上昇さ
せカセツト１をもとの位置に戻しても、被処理物
が搬送されない場合は、搬送用モータ１１を停止
させ、トラブルであることを表示させる。
は、まず、昇降用モータ４を駆動してカセツト１
の最下段部分が搬送ベルト１２の搬送面に一致す
る位置まで下降させる。そして、搬送用モータ１
１を駆動して最下段に載置された被処理物を前方
へ搬送する。ここで、被処理物が確実に搬送され
たか否かを出入検出器１３により検出し、搬送さ
れていれば搬送用モータ１１を停止させ、搬送さ
れていない場合は昇降用モータ４を駆動してカセ
ツト１を約1.5mm上方（安全方向）に移動させる。
搬送用モーター１１を搬送方向に駆動する。被処
理物が下に凸状に曲がつていた場合にはこの段階
で搬出される。ここに、カセツト１の各段の間隔
は3/16インチ（約4.75mm）であり、その間隔の約
１／３程度移動させればよい。そして、再度出入検
出器１３により検出し、被処理物が搬送されてい
ない場合は、カセツト１を約1.5mm下降させても
との位置に戻し、さらに、カセツト１を約1.5mm
下降させた状態で搬送ベルとを搬出方向に駆動す
る。被処理物が上に凸状に曲がつていた場合には
この段階で排出できる。さらに、約1.5mm上昇さ
せカセツト１をもとの位置に戻しても、被処理物
が搬送されない場合は、搬送用モータ１１を停止
させ、トラブルであることを表示させる。
以上の動作はすべて制御装置１４により制御さ
れる。
れる。
したがつて、本実施例においては、カセツトに
被処理物が引掛つた場合でも、被処理物を搬送す
ることができ、さらに、被処理物が搬送されない
ときには搬送用モータを停止させるので、被処理
物に損傷を与えることがなくなる。
被処理物が引掛つた場合でも、被処理物を搬送す
ることができ、さらに、被処理物が搬送されない
ときには搬送用モータを停止させるので、被処理
物に損傷を与えることがなくなる。
以上述べたように本発明に係る搬送装置は、出
入検出器により被処理物が搬送されていないこと
を検出したときに、制御装置によりカセツトをわ
ずかに上昇させ、ついで下降させるようにしたの
で、この上または下に動かす段階で凸状に湾曲し
た被処理物と搬送ベルトとの摩擦係合を図つて確
実に被処理物を取り出すことができる。また、被
処理物を無理に取り出すことがないので、被処理
物の損傷を防ぐことができる等の効果を奏する。
入検出器により被処理物が搬送されていないこと
を検出したときに、制御装置によりカセツトをわ
ずかに上昇させ、ついで下降させるようにしたの
で、この上または下に動かす段階で凸状に湾曲し
た被処理物と搬送ベルトとの摩擦係合を図つて確
実に被処理物を取り出すことができる。また、被
処理物を無理に取り出すことがないので、被処理
物の損傷を防ぐことができる等の効果を奏する。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の一実施
例を示したもので、第１図は概略構成図、第２図
は第１図に示す装置の制御を行なう場合のブロツ
ク線図である。 １……カセツト、２……螺合部材、３……送り
ねじ、４……昇降用モータ、５……孔部、６……
円板、７……光学センサ、８……回転検出装置、
９，１０……位置検出装置、１１……搬送用モー
タ、１２……搬送ベルト、１３……出入検出器、
１４……制御装置。
例を示したもので、第１図は概略構成図、第２図
は第１図に示す装置の制御を行なう場合のブロツ
ク線図である。 １……カセツト、２……螺合部材、３……送り
ねじ、４……昇降用モータ、５……孔部、６……
円板、７……光学センサ、８……回転検出装置、
９，１０……位置検出装置、１１……搬送用モー
タ、１２……搬送ベルト、１３……出入検出器、
１４……制御装置。
Claims (1)
- １ 被処理物を内部に収容した複数段のカセツト
を昇降自在に設け、このカセツトの下方に搬送ベ
ルトを配設し、上記カセツトを段階的に下方に移
動させながら上記搬送ベルトによりカセツト内の
被処理物を順次カセツトから取出すようにした被
処理物の搬送方法において、上記被処理物が取出
されたか否かを検出する出入検出器を搬送ベルト
の直下に設けるとともに、この出入検出器の出力
信号を入力して上記カセツトの昇降駆動および上
記搬送ベルト駆動を制御する制御装置を設け、被
処理物が取出されていないことを上記出入検出器
が検出したときに、先ず、カセツトを搬送ベルト
の搬送面より若干上昇させた位置で搬送ベルトを
搬送方向に駆動し、さらに、被処理物が取出され
ていないとき、カセツトを搬送ベルトの搬送面よ
りも若干下降させた状態で搬送方向に駆動させる
ようにしたことを特徴とする被処理物の搬送方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25358684A JPH0244724B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | Hishoributsunohansohoho |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25358684A JPH0244724B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | Hishoributsunohansohoho |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61130104A JPS61130104A (ja) | 1986-06-18 |
| JPH0244724B2 true JPH0244724B2 (ja) | 1990-10-05 |
Family
ID=17253431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25358684A Expired - Lifetime JPH0244724B2 (ja) | 1984-11-30 | 1984-11-30 | Hishoributsunohansohoho |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244724B2 (ja) |
-
1984
- 1984-11-30 JP JP25358684A patent/JPH0244724B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61130104A (ja) | 1986-06-18 |
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