JPS61138434A

JPS61138434A - 特にテレビジヨン用の陰極線管の製造時にゲツタ材料の蒸着を検査する方法及び装置

Info

Publication number: JPS61138434A
Application number: JP60274845A
Authority: JP
Inventors: ジユリアーノ　ジユデチ
Original assignee: ビデオカラー　エス．アー．
Priority date: 1984-12-07
Filing date: 1985-12-06
Publication date: 1986-06-25
Also published as: FR2574590B1; DE3570323D1; EP0187576A1; US4668203A; HK102690A; FR2574590A1; EP0187576B1; SG78190G; IN166685B; ATE43203T1

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、陰極線管、特にカラーテレビジョン用の陰極
線管の製造時にゲッタ材料が正しく蒸着されたかどうか
を検査する方法及び装置に関するものである。

従来の技術陰極線管（ＣＲＴ）は、スクリーンを形成するフェース
プレートとして知られているフロント部分を有する蒸着
ガラスエンベロープにより形成されている。そのフェー
スプレートは、フンネル状部分を介して、ネックと称さ
れる後部円筒状部分に接合されており、そして、１つま
たは複数の電子銃がネックの後端部に収容されている。

そのような陰極線管の製造の最終工程は次のようである
。すなわち、蒸着すべきゲッタ材料を収容したカップが
、エンベロープに組み込まれた電子銃に取付られる。次
いで、ポンプによる空気抜きによりエンベロープを排気
して真空化し、誘導過熱コイルによりゲッタ材料を蒸着
させ、更に、カソードを通常の動作温度より高い温度ま
で過熱してカソード材料を形成し且つ安定化する。その
あと、陰極線管を清浄化するために、すなわち、不要な
ガス粒子を除去するために、電子銃のグリッドに電圧を
印加して、それをゲッタ材料に吸着される。もし、その
ゲッタ材料が蒸着してなければ、そのように製造された
陰極線管は、真空度が不充分なために、具体的には、主
に、カソードに吸着される正イオンの存在のために、正
しく動作することができない。そして、カソードに吸着
される正イオンは、カソードの破損を惹起する。

多量生産ラインにおいては、製造されている陰極線管の
約１パーセントはゲッタ材料の蒸着が正しく生じていな
いことが分かった。そのような欠陥を有する陰極線管は
、再処理しなければならず、すなわち、生産ラインから
外してゲッタ材料蒸着ステーションに戻さねばならない
。このようなことは、オペレータのミス、蒸着処理のた
めに使用される誘導加熱コイルの位置付はミス、誘導コ
イルまたは電流供給源の誤った接続などの沢山の様々な
ミスの原因となる。

発明が解決しようとする問題点そのような状況において、現在、ゲッタ材料の蒸着は、
陰極線管の目視観察により検査していた。

しかし、この検査方法は、オペレータがその不注意によ
り一時的な蒸着欠陥を発見し損なうおそれがあるので、
完全には信頼できない。更に、目視観察は、退屈な作業
である。

そこで、本発明は、上記した問題を解決したゲッタ材料
の蒸着の検査方法及び装置を提供せんとするものである
。

問題点を解決するための手段すなわち、本発明においては、カソード材料の安定化処
理の間に、陰極線管内の圧力を測定する。

そして、その測定圧力が２　Ｘ　１０−４Ｔｏｒｒのよ
うな所定値を越えているならば、陰極線管をゲッタ材料
蒸着ステーションに戻す。

咋月上記本発明の方法において、実施化が特に簡単な本発明
の１実施例では、正イオンだけがカソードに対して電位
的な障害となるので、正イオン電荷が測定される。負イ
オン電荷の測定を検討するならば、負イオンの測定は、
カソード材料の安定か動作の間、カソードが電子を放出
し、その放出された電子よる電荷は、負イオン電荷に重
畳され、且つ、負イオン電荷と電子による電荷とを分離
することができないので、実施することが困難である。

従って、負電荷の測定値は、陰極線管内の圧力を正しく
表していない。

１つの実施例において、正イオン電荷の上記測定を実施
するために、電極の１つに、特に電子銃の第２グリヅド
Ｇ２に正の電位を印加し、一方、静電レンズの一部をな
す第３グリッドＧ、のような別の電極に負の電位を印加
する。そして、負の電位にされている電極とアースとの
間を流れる電流を測定する。この電流密度は、陰極線管
内の正イオン電荷すなわち圧力を表している。この測定
においてカソードは必要ないことに注意されたい。

実際、カソードに負の電位が印加されるならば、それは
正のイオンを吸引し、損傷を受ける。第３グリッドＧ３
に−２２，５Ｖの電位を印加し、カソードの形成後１０
〜１５分経過したとき、第３グリッドＧ３を流れる電流
密度は、ゲッタ材料が陰極線管の壁全体に蒸着していな
い場合は、１５０ナノアツペア（２×１０−４Ｔｏｒｒ
の圧力に対応）を越え、ゲッタ材料の蒸着が正しく生じ
た場合は、２５ナノアッペア程度（４〜５×１Ｏ−５Ｔ
Ｏｒｒの圧力）となる。かくして、グリッドＧ３とアー
スとの間の電流密度が１５０ナノアツペアを越えている
場合、処理中の陰極線管は、ゲッタ材料蒸着ステーショ
ンに戻す。

電極の１つに正電位を供給する発生器は、定電流発生器
が好ましい。それにより、測定電流値が多量生産ランイ
で避けられない個々の陰極線管の特性の相違による影響
を受けないかまたはほとんど受けないようにできる。

実施例以下、添付図面を参照して、シャドウマスク型カラーテ
レビジョン管の製造の場合について、本発明による陰極
線管内でのゲッタ材料の蒸着の検査方法を説明する。し
かし、本発明の適用は、シャドウマスク型カラーテレビ
ジョン管に限定されるものではなく、ほかの形式の陰極
線管にも適用できるものである。

陰極線管１０の製造の最終工程において、ガラスエンベ
ロープ１１の蒸着の直後、ゲッタ材料の蒸着が実施され
、ガラス壁全体にゲッタ材料を分布させる。このゲッタ
材料は、エンベロープ１１の円錐部分１３内に配置され
たカップ１２の中に置かれたバリウムペレットからなっ
ている。そのカップ１２は、電子銃１５からのロッド１
４によってエンベロープに対して取りつけられている。

蒸着のためのバリウムの加熱は、エンベロープ１１の外
側でカップ１２の近くに配置された誘導コイル１６によ
ってなされる。コイル１６に供給する電気の周波数及び
電力は、カップの温度が８００〜１１００℃の範囲内の
温度に加熱されるようにする。

バリウムの蒸着の次の工程は、カソード２０（第２図）
を構成する材料の形成と安定化である。カソード２０は
、ニッケルの管と、バリウム、ストロンチウム、カルシ
ウムの混合物からなる電子放出材料とから通常なってい
る。

そのカソード材料の形成及び安定化のために、カソード
加熱フィラメント２１が、通常の動作温度より高い温度
まで加熱される。

カソードの形成すなわち活性化は、約４分間の間に実施
される。この活性化処理時間は、互いに等しい２つの段
階に分けられる。第１の段階では、カソード材料が約１
０００℃の温度に加熱される。第２の段階の間は、カソ
ード材料は、１０７０℃程度のより高い温度に加熱され
る。

そのあと、カソード材料の安定化処理が、約１４分の間
実施される。この安定化処理のとき、カソード材料は、
約１０００℃の温度に加熱される。陰極線管のこれら製
造工程の間、特に活性化処理の時、−酸化炭素ＣＯ１二
酸化炭素Ｃ０２、メタンＣ１，、その他のガスが陰極線
管の中に発生する。これらガスは、電気的観点からは等
しい量の正及び負のイオンを含んでいる。その中で正（
＋）イオンが、カソードにとって特に有害である。その
理由は、カソードが負の電位に置かれるので、カソード
が正の電荷を吸引し、損傷を受けるからである。エンベ
ロープ１１の壁全体に分布しているゲッタ材料は、カソ
ード材料形成時及びそのあとに続くガス抜き処理の時の
両方において、その発生したガスを吸着する。

カップ１２内のバリウムが正しく蒸着されたかどうかを
確認する本発明による検査方法は、カソード材料の形成
後、カソード材料の安定化処理の間、陰極線管内のガス
圧力を測定することからなる。

このガス圧力は、その後のガス抜きすなわち制御された
熟成処理の前に測定する。

そのガス圧力の測定は、正イオン電荷の測定により実施
する。以下、その動作を説明する。

カソード材料の活性化処理の開始後、すなわち、安定化
処理の間、約１０分間、定電流発生器２４の正電位端子
を第２グリッド２２　（ｃ２）に接続してその第２グリ
ッド２２に正の電位を印加し、そして、電圧源２６の負
電位端子を第３グリッド２３　＜Ｃ）、３）に接続して
第３グリッド２３に負の電位を印加する。例えば、その
電圧源２６は、２２．５　Ｖを給電する。

更に、例えば、１００キロオームの抵抗２７が電圧源２
６の正電位端子とアースとの間に接続される。

そして、電圧計２８が、抵抗２７に並列に接続される。

かくして、電圧計２８により測定された電圧が、抵抗を
流れる電流すなわちグリッドＧ３を介して流れる電流を
表している。陰極線管内の正イオン電荷を測定するこの
圧力検査工程の間、第１グリッドＧ１　は、カソード２
０と共にアースされている。

正イオンは、負の電位にされている第３グリッド２３に
吸引され、一方、正の電位に保持されている第２グリッ
ド２２には、負のイオンが吸引される。

かくして、抵抗２７を流れ、電圧計２８で測定される電
流は、エンベロープ１１の内部の正イオン電荷すなわち
全圧力を表している。

電圧源２６及び定電流発生器２４のそれぞれのグリッド
への接続は、第４図に示すようなソケット３０、すなわ
ち、カソード材料を形成し且つガス抜き処理を実施する
ための接続を行なうために普通使用されるソケットによ
ってなされる。

バリウムが正しく蒸着されたとき、抵抗２７を流れる抵
抗の電流１は、第３図に示す実線の曲線３１によって表
させる時間ｔの関数として変化する。

時間ｔ＝Ｑ、すなわちカソード材料の形成直後では、電
流は、３００ナノアンペア程度の電流密度を有する。１
０分程度経過した後は、電流密度は２５ナノアンペアま
で減少する。一方、バリウムが蒸着されなかったときは
、電流密度は、点線の曲線３２のように変化する。すな
わち、１０分程度経過した後（ｔ＝１０分）でも、電流
密度は２００ナノアンペア程度ある。

従って、抵抗２７を流れる電流密度１が１５０ナノアン
ペアを越えるならば、陰極線管は、誘導加熱ステーショ
ンに戻し、バリウムペレットの蒸着を実施する。一方、
電流密度１が１５０ナノアンペア以下ならば、陰極線管
は、生産ライン上に残し、次のガス抜き処理を受けさせ
る。１つの実施例では、電流密度ｌが１５０ナノアンペ
アを越えるならば、陰極線管１０からソケット３０を外
し、その陰極線管を、ガス抜き処理が終了するまで、他
の陰極線管と一緒に生産ライン上に残す。この場合、ソ
ケット３０が嵌合されていない陰極線管は、カソード材
料の安定化処理やガス抜き処理や熟成処理などを含む処
理のいずれも受けることがない。この実施例の場合、ガ
ス抜き処理を受けないが、ガス抜き処理期間のあと、誘
導加熱ステーションに戻す。

１５０ナノアンペアの値との比較は、オペレータが行っ
てもよい。しかし、電流密度が所定の値を越えたとき、
信号を発する比較器を設けてもよい。

そして、その信号で、視覚的または音響的警報手段を付
勢することもできる。更には、ソケット３０を外す機構
の動作を制御するために使用することもできる。

発明の効果以上から明らかなように、本発明による方法によれば、
陰極線管の製造時にゲッタ材料が正しく蒸着されたかど
うかを確実に検査することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、製造時の陰極線管の一部の概略図、第２図は
、陰極線管の電子銃と、本発明を実施するために使用さ
れる電流・電圧発生器とを示した図、第３図は、本発明による方法を説明するグラフ、第４図
は、製造の１工程での陰極線管の後部を示す概略図であ
る。〔主な参照番号〕１０・・陰極線管　　　１２・・ゲッタ材料カップ１５
・・電子銃　　　　２０・・カソード２１・・フィラメ
ント２４・・定電流発生器２６・・電圧源　　　　２８
・・電圧計３０・・ソケット特許出願人　ビデオカラー　ニス、アー。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）陰極線管の製造時に陰極線管のエンベロープの壁
上へのバリウムのようなゲッタ材料のペレットの蒸着を
検査する方法において、陰極線管内を圧力を、カソード
材料の安定化処理を含む操作の間に測定することを特徴
とする方法。
（２）上記した圧力の測定のために、陰極線管内の正イ
オン電荷を測定することを特徴とする特許請求の範囲第
（１）項記載の方法。
（３）カソードから離れた電子銃の複数のグリッドに互
に反対の極性の電位を印加し、負電位のグリッドとアー
ス間に流れる電流密度によって正イオン電荷を測定する
ことを特徴とする特許請求の範囲第（２）項記載の方法
。
（４）正電位を第２グリッドに印加し、負電位を第３グ
リッドに印加し、第３グリッドとアース間に流れる電流
密度を測定することを特徴とする特許請求の範囲第（３
）項記載の方法。
（５）電子銃のグリッドへの上記した電位の印加は、カ
ソード材料を形成しガス排気処理を実施するときに電気
接続を行うために使用されるソケットによって行なうこ
とを特徴とする特許請求の範囲第（３）項記載の方法。
（６）電子銃のグリッドの１つへの正電位の印加は、定
電流発生器から給電して行うことを特徴とする特許請求
の範囲第（３）項記載の方法。
（７）圧力の測定は、カソード材料の形成操作の開始後
約１０分に行なうことを特徴とする特許請求の範囲第（
１）項記載の方法。
（８）陰極線管内を圧力を、カソード材料の安定化処理
を含む操作の間測定し、その測定した圧力を所定値と比
較し、測定圧力が該所定値より高いとき陰極線管をゲッ
タ材料蒸着ステーションに戻すことを特徴とする陰極線
管の製造方法。
（９）上記測定圧力が上記所定値より大きいとき、陰極
線管からソケットを外したあと陰極線管をゲッタ材料蒸
着ステーションに戻すことを特徴とする特許請求の範囲
第（８）項記載の方法。
（１０）上記所定値は、２×１０＾−＾４Ｔｏｒｒであ
ることを特徴とする特許請求の範囲第（８）項記載の方
法。