JPS61139955A - 金属原盤位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、オーディオ、ビデオディスク等の金属原盤
の欠陥検査に使用される金属原盤位置決め装置に関する
。

［技術的背景および問題点コ ー股にオーディオ、ビデオディスク等の金属原盤の欠陥
検査は、プレス加工により量産されたディスクの品質向
上を図るためには極めて重要な検査項目である。

ところでこのような金属原盤の欠陥検査では例えば金属
原盤をターンテーブルに載置して定速回転させ、金属原
盤の盤面に照射したレーザビームの照射スポットを金属
原盤の水平同期部分において、横切らせ、その反射光の
光量変化から金属原盤の欠陥を非接触で検出するように
した検査装置が使用されている。

そして、このような検査装置では反射光の光量変化が欠
陥°によるものであるか、金属原盤の水平同期部分に記
録されているトラッキング信号によるものであるかを正
確に区別するため、レーザビームの照射スポットを半径
方向等ピッチで記録されているトラッキング信号に対し
、等ピッチの状態で横切らせることが必要である。この
ため、ターンテーブルに載置した金属原盤の回転軸芯に
対する芯出しを、正確に行なうとことが肝要となる。

そこで一つの手段として、ターンテーブルに位置決め用
の爪を突設し、この爪に金属原盤の外周縁を当てて位置
決めするものが考えられる。しかしながら、金属原盤の
外周は、加工上その精度が揄めて粗いものとなっている
。反面、オーディオ、ビデオディス〜りは、音声情報等
がサブミクロンオーダーのビット形状に記録されている
ため、ミクロンオーダーの欠陥管理が必要となる。従っ
て、金属原盤の外周は位置決めの基準には適さないもの
となっている。また金属原盤には製作工程の関係状その
他に位置決めのための外形的基準が存在しない。

これに対し、金属原盤に記録されたトラッキング信号を
計測用テレビカメラによって部分的に拡大してモニター
に写し出し、このトラッキング信号を、予めモニターに
写し出されている基準線に一致させるように位置合せを
するものが考えられる。そしてこのような場合、正確な
位置合せが可能となる反面、ターンテーブルに載置され
た金属原盤を水平同期面内で正確に移動調整させる調整
手段が望まれる。

また、このように位置決めされた金属原盤は、ターンテ
ーブルに対し確実に固定されなければ正確かつ安定した
検査を行なうことができない。これに対しては、真空チ
ャック等で固定する手段が考えられるが、金属原盤は厚
さが約０．３ＩＩ１ｍと極めて薄く、全面に最大的３ｍ
ａ＋の畝りを生じているので、真空チャックで吸着固定
することは極めて困難なものとなる。

［発明の目的１ この発明は、上記の問題点に鑑み創案されたもので、位
置決めのためにターンテーブルにセットされた金属原盤
を回転軸芯と交差する同期面内で移動調整し得るととも
に、ターンテーブルに対し確実に固定し、検査精度の向
上を図ること゛ができる金属原盤位置決め装置の提供を
目的とする。

［発明の構成］ 上記目的達成のために、この発明は軸芯回りに回転可能
に支持されると共に金属原盤を載置セット可能なターン
テーブルと、このターンテーブルにセットされた金属原
盤を回転軸芯と交差する同期面内で移動調整し得る調整
手段と、前記ターンテーブルにセットされた金属原盤を
ターンテーブルに対し磁力によって解除自在に吸着固定
する固定手段とを備えた構成とした。

「発明の効果１ この発明の構成によれば、調整手段により、ターンテー
ブル上にセットされた金属原盤を回転軸芯と交差する同
期面内で移動調整することができるため、例えばトラッ
キング信号などを基準に位置決めする場合に正確な位置
決めを行なわせることが可能となる。またこうして位置
決めされた金属原盤を磁力による固定手段によってター
ンテーブルに吸着固定することができる。従って、検査
精度の向上を図ることができる。

［実施例］ 以下、添付図面に基づきこの発明の一実施例を説明する
。

第１図は、検査装置の全体概略構成図を示すも　−ので
あり、この検査装置１は基台３上に支持された原盤支持
部５と、検査部７とを備えている。

前記原盤支持部５はターンテーブル９を備え、このター
ンテーブル９の下面軸芯部には回転軸１１が取付けられ
、この回転軸１１は基台３に固定されたハウジング１３
に軸受１５を介して回転自在に支持されている。この回
転軸１１の下端部はカップリング１７を介してモータ１
９に連結され　・ている。このモータ１９は前記基台３
に固定されている。従ってターンテーブル９は軸芯回り
に回転可能に支持された構成となっている。

前記ターンテーブル９は、第２図、第３図のようにアル
ミニウムなどによって横断面円形状に形成されており、
外縁部にはターンテーブル９と同材質のリング上の周壁
２１が固定されている。この周壁２１の上端にはフッソ
樹脂で形成されたリング２３が固定され、金属原盤Ｗの
載置面の一部を構成している。また、前記ターンテーブ
ル９上には第１乃至第４サポータ２５乃至３１が設けら
れている。この第１サポータ２５乃至第４サポータ３１
は前記載置面の一部を構成するもので、第２図に示すよ
うに周方向９０度撮り分けで配置されている。

第１サポータ２５、第２サポータ２７は第４図に示すよ
うに、ターンテーブル９上に固定されたサポータ支持体
３３にフッソ樹脂で成形されたサポータブロック３５を
固定して構成されて（２る。

前記第３サポータ２９及び第４サポータ３１はアルミニ
ウムによって成形されたサポータ支持パネル３７上にサ
ポータシート３９が固定されたものである。このサポー
タシート３９はバリュウム系フェライトで成形されたマ
グネットで構成され、厚さ１１ＲＩ１１程度である。そ
してこの第３サポータ２つは第１調整手段４１によって
、また第４サポータ３１は第２調整手段４３によってそ
れぞれターンテーブル９に支持されている。

第１調整手段４１はターンテーブル９の回転中心を通る
Ｘ方向へ第３サポータ２９を移動調節するもので、第２
調整手段４３はＸ方向と直交するＹ方向へ第４サポータ
３１を移動調整するものである。

前記第１１整手段４１は駆動部４５と従動部４７とを備
えている。駆動部４５は一般的なマイクロメータと同様
なものが使用されており、シンブル４９、スリーブ５１
、スピンドル５３を漏えている。そしてスリーブ５１の
部分が、ターンテーブル９の周壁２１の内側に沿って形
成された支持壁５５に固定されている。シンプル４つは
Ｘ方向外側へ延びて周壁２１の貫通孔５７から外部へ露
出されている。スピンドル５３は支持壁５５のＸ方向内
側へ延設されている。

前記従動部４７は軸受５９を介してスピンドル５３に連
結された支持枠６１を備えている。こＰ　−支持枠６１
の左右両側にはＸ方向へ回転自在な滑車６３が取付けら
れ、この滑車６３はターンテーブル９上に形成されたＸ
方向の案内溝６５内に支持されている。前記支持枠６１
には、Ｙ方向に軸芯を有する案内シ１１フト６７が固定
され、この、案内シャフト６７にはスライドブロック６
９がりニアモーションボールベアリング７１を介して支
持されている。従って、スライドブロック６９は案内シ
ャフト６７の軸芯方向へ移動可能に構成され　　　　　
１ている。またこのスライドブロック６９にはＹ方向に
案内孔７３が形成され、この案内孔７３には、支持枠６
１に軸受７５を介して支持されたビン７７が挿入されて
いる。従って、ビン７７によりスライドブロック６９の
案内シャフト６７に対する回転が規制されている。そし
てこのスライドブロック６９が前記第３サポータ２９の
サポータ支持パネル３７に下面側から固定されている。

また前記第２調整手段４３は、第１調整手段４１と同一
に構成されており、各部に同符号を付して説明は省略す
る。従って、第１サポータ２５乃至第４サポータ３１上
に金属原盤Ｗを載置セット可能であり、このターンテー
ブル９にセットされた金属原盤Ｗをターンテーブル９の
回転軸芯と交差する同期面内で移動調整し得るように構
成されている。

一方、リング２３の内周径よりも若干小径の外周径を有
するほぼ円盤状のマグネットシート７９がリング２３の
内側に備えられている。このマグネットシート７９は金
属原盤Ｗをターンテーブル９に対し磁力によって固定す
る固定手段を構成するもので、バリュウム系フェライト
によって１１１１１１１程度の厚さを有するように成形
されている。このマグネットシート７９はマグネットシ
ート７９とほぼ同径の円盤状に形成されたアルミニウム
製の支持パネル８１に固定されている。これらマグネッ
トシート７９、支持パネル８１には、第１乃至第４サポ
ータ２５乃至３１を逃げるための逃げ孔８２が形成され
ている。

前記支持パネル８１の下側には、昇降シャフト８３が配
置されている。この昇降シャフト８３はターンテーブル
９の軸芯部を通るように配置されており、この昇降シャ
フト８３の中間部は軸受８５によってターンテーブル９
側に支持されている。

また、昇降シャフト８３の両端は支持壁５５のＵ溝５５
ａを貫通し、その両端につまみ８７が取付けられている
。このつまみ８７は周壁２１の貫通孔８９から外部へ露
出されている。昇降シャフト８３の中央部には、偏心部
９１が設けられており、この偏心部９１は前記支持パネ
ル８１の下面に取付、けられた断面チャンネル材状の第
１係合部材９３に係合されている。

また、昇降シャフト８３の両側中間部において第５図に
示すように断面チャンネル材状の第２係合部材９５が支
持パネル８１に固定されている。

この第２係合部材９５に対向する支持パネル８１の下面
には、凹部８１ａが形成され、第２係合部材９５と支持
パネル８１とで囲まれた空間部の上下幅は昇降シャフト
８３の直径よりも、偏心部９１の偏心量相当分だけ大き
くなっている。これら第２係合部材９５の下面には、支
持シャフト９７が取付けられており、この支持シャフト
９７はターンテーブル９に固定された軸受ブロック９９
に昇降自在に軸支されている。この軸受ブロック９９と
、第２係合部材９５との間には第２係合部材９５を上方
に付勢するコイルスプリング１０１が介設されている。

第２係合部材９５のコイルスプリング１０１による上方
への付勢は、第２係合部材９５が昇降シャフト８３に係
合することにより規制されている。

前記昇降シャフト８３の両側位置には支持パネル８１の
安定を図るスプリングサポータ１０３が設けられている
。このスプリングサポータ１０３は、第６図に示すよう
に第２係合部材９５と同形状の第３係合部材１０５を有
し、この第３係合部材１０５は支持パネル８１の下面に
固定されている。この第３係合部材１０５の下面側には
、支持シャフト１０７が固定され、この支持シャフト１
０７はターンテーブル９に固定された軸受ブロック１０
９に昇降自在に支持されている。この軸受ブロック１０
９と第３係合部材１０５との間には、第３係合部材１０
５を上方へ付勢するコイルスプリング１１１が介設され
いる。

従って、固定手段としてのマグネットシート７９は、タ
ーンテーブル９にセットされた金属原盤Ｗをターンテー
ブル９に対し、磁力によって解除自在に吸着固定するよ
うに構成されている。

一方検査部７は、光学テーブル１１３に支持されたレー
ザ１１５を備えるとともに、ターンテーブル９上に対向
配置されたフォーカスユニット１１７を備えている。レ
ーザ１１５とフォーカスユニット１１７との間にはレー
ザ１１５から照射されたレーザービームをフォーカスユ
ニット１１７へ屈折させるミラー１１９が配置されてい
る。前記光学テーブル１１３は基台３上に移動自在に支
持され、この光学テーブル１１３の移動によってフォー
カスユニット１１７から照射される照射スポットが、タ
ーンテーブル９の回転中心へ向って直線的に移動するよ
うに構成されている。

また、ターンテーブル９の上方には、ターンテーブル９
上に載置された金属原ｍＷのトラッキング信号を撮影す
る計測用テレビカメラ１２１が配置されている。この計
測用テレビカメラ１２１で顕彰された金属原盤Ｗのトラ
ッキング信号は図外のモニターに拡大して写し出され、
このモニターに予め写し出されている基準線に、撮影し
たトラッキング信号を一致させるようにして金属原盤Ｗ
のターンテーブル９に対する芯出しを行なうことができ
るように構成されている。

次に上記一実施例の作用について述べる。

まず、昇降シャフト８３のつまみ８７をもって昇降シャ
フト８３を軸芯回りに第３図の状態から１８０°回転さ
せる。この昇降シャフト８３の回転によって昇降シャフ
ト８３の偏心部９１は第１係合部材９３を偏心量分だけ
押し下げる。第１係合部材９３が押し下げられると、マ
グネットシート７つが支持パネル８１とともに、偏心部
９１の偏心量分だけコイルスプリング１１１に抗して下
降する。この状態で金属原盤Ｗの載置面には、リング２
３、第１サポータ２５乃至第４サポータ３１が露出して
いる。そして、リング２３及び第１サポータ２５乃至第
４サポータ３１によって形成された載置面上に金属原ｆ
ｆ１Ｗを載置する。この金属原盤Ｗの載置によって金属
原盤Ｗは、第３サポータ２９及び第４サポータ３１のサ
ポータシート３９の磁力によって吸着される。そして、
計測用テレビカメラ１２１によって撮影され、図外のモ
ニターに拡大して写し出されている金属原盤Ｗのトラッ
キング信号を見ながら、モニターに予め写し出されてい
る基準線に金属原盤Ｗのトラッキング信号を一致させる
ように金属原盤Ｗの位置決めを行なう。

この位置決めは、第１調整手段４１と、第２調整手段４
３とにより行なわれるもので、金属原盤Ｗをターンテー
ブル９の回転軸芯と交差する同期面内で、互いに直交す
るＸＹ方向に移動さぼることにより調整するものである
。すなわら、第１調整手段４１のシンプル４つをスピン
ドル５３の伸長方向へ回転させれば、スピンドル５３が
伸長し、第１調整手段４１の支持枠６１が滑車６３で活
動しなからＸ方向回転軸芯側へ移動する。この移動に際
し、第２調整手段４３側では、金属原盤Ｗに吸着されて
いるサポータシート３９と、サポータ支持パネル３７と
、スライドブロック６９とが一体となって案内シャフト
６つを軸芯方向に移動する。従って、第２調整手段４３
側のサポータシート３つが金属原盤Ｗに吸着されたまま
でも金属原盤Ｗの移動に支承がない。スライドブロック
６９の移動に際し、ビン７７がスライドブロック６つの
案内孔７３内を支持するから、スライドブロック６９の
移動の際の安定化が図られている。また、金属原盤Ｗの
移動に際し、第１サポータ２５、第２サポータ２７に対
しては、両サポータ２５，２７がフッソ樹脂で成形され
ているため、金属原盤Ｗの裏面に傷がつくことがない。

この調整作用は第２調整手段４３の調整により、金属原
盤Ｗ＠Ｙ方向へ移動させる場合にも同様である。

こうして金属原盤Ｗのターンテーブル９に対する芯出し
が行なわれたら、昇降シャフト８３のつまみ８７をもっ
て昇降シャフト８３を再び１８０°回転させる。この昇
降シャフト８３の回転により、偏心部９１が第３図のよ
うに偏心量部だけ上側へ移動し、コイルスプリングｉ’
ｏ１．１ｉｉの付勢力により第２係合部材９５、第３係
合部材１０５が上方へ付勢される。この付勢により、マ
グネットシート７つが支持パネル８１とともに上昇し、
マグネットシート７９の上面が金属原盤Ｗの載置面に位
置して金属原盤Ｗの裏面を吸着固定する。この場合、マ
グネットシート７つの吸着固定により、金属原盤Ｗの畝
りが吸収される。そして、この状態でモータ１９を駆動
し、ターンテーブル９を定速回転させ、光学テーブル１
１３を移動させればレーザ１１５から照射されたレーザ
ビームがミラー１１９、フォーカスユニット１１７を介
して金属原盤Ｗ上に照射され、その照射スポットが金属
原盤Ｗの水平同期面内回転中心方向へ移動し、金属原盤
Ｗの欠陥検査を行なわせることがでる。

この場合、金属＠盤Ｗの芯出しを第１調整手段４１と第
２調整手段４３とにより正確に行なわせ、しかもマグネ
ットシート７６により金属原盤Ｗの畝りを吸収しながら
固定しているの”で、正確な欠陥検査を行なわせること
が可門となっている。

なお、この発明は上記実施例に限定されるものではない
。例えば、金属原ａＷの固定は部分的に１１なわせるこ
とも可能である。金属原盤Ｗの位置調整はターンテーブ
ル９自体を回転軸芯に対して位置調整することにより行
なわせることも可能である。

【図面の簡単な説明】 第１図はこの発明の一実施例に係る金属原盤位置決め装
置を用いた検査装置の全体概略構成図、第２図はターン
テーブルの一部切欠平面図、第３図は第２図■−■線矢
視断面図、第４図は第２図ｒＶ−ＩＶ線矢視断面図、第
５図は第２図ｖ−ｖｍ矢視断面図、第６図は第２図ＶＩ
−Ｖｌ線矢視断面図で・ある。 ９・・・ターンテーブル、４１・・・第１調整手段（調
整手段）、４３・・・第２調整手段（調整手段）、７９
・・・マグネットシート（固定手段）、Ｗ・・・金属原
盤。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　軸芯回りに回転可能に支持されると共に金属原盤を載
   置セット可能なターンテーブルと、このターンテーブル
   にセットされた金属原盤を回転軸芯と交差する同期面内
   で移動調整する調整手段と、前記ターンテーブルにセッ
   トされた金属原盤をターンテーブルに対し磁力によつて
   解除自在に固定する固定手段とを備えた金属原盤位置決
   め装置。