JPS6115073U - 回転塗布装置 - Google Patents
回転塗布装置Info
- Publication number
- JPS6115073U JPS6115073U JP9841984U JP9841984U JPS6115073U JP S6115073 U JPS6115073 U JP S6115073U JP 9841984 U JP9841984 U JP 9841984U JP 9841984 U JP9841984 U JP 9841984U JP S6115073 U JPS6115073 U JP S6115073U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary table
- coated
- shielding member
- plate
- coating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図および第２図は本考案の各実施例に係る回転塗布
装置の一部断面図、第３図は従来の回転塗布装置の一部
断面図である。 １・・・・・・ガラス円盤（被塗布板）、２・・・・・
・回転テーブル、５・・・・・・回動アーム、６・・・
・・・ノズル、７・・・・・・周壁、４０・・・・・・
遮蔽部材、４０ｂ・・・・・・傾斜部、４０ｃ・・・・
・・垂直部、４０ｅ・・・・・・水平部。
装置の一部断面図、第３図は従来の回転塗布装置の一部
断面図である。 １・・・・・・ガラス円盤（被塗布板）、２・・・・・
・回転テーブル、５・・・・・・回動アーム、６・・・
・・・ノズル、７・・・・・・周壁、４０・・・・・・
遮蔽部材、４０ｂ・・・・・・傾斜部、４０ｃ・・・・
・・垂直部、４０ｅ・・・・・・水平部。
Claims (1)
- 被塗布板を上部に取付る回転テーブルと、その回転テー
ブルの上方に配置された塗布ノズルと、前記回転テーブ
ルの外周に所定の間隔をおいて設けられた遮蔽部材と、
その遮蔽部材の外周に所定の間隔をおいて配置された周
壁とを備え、前記回転テーブルによって被塗布板を回転
させて前記塗′ 布ノズルから塗布液を滴下させ、被塗
布板上に塗布液を一様に塗布する回転塗布装置において
、前記遮蔽部材の外周部に気流の還流を抑制するための
抑御部を前記周壁に向で設けたことを特徴とする回転塗
布装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9841984U JPS6115073U (ja) | 1984-07-02 | 1984-07-02 | 回転塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9841984U JPS6115073U (ja) | 1984-07-02 | 1984-07-02 | 回転塗布装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6115073U true JPS6115073U (ja) | 1986-01-28 |
Family
ID=30657959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9841984U Pending JPS6115073U (ja) | 1984-07-02 | 1984-07-02 | 回転塗布装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6115073U (ja) |
-
1984
- 1984-07-02 JP JP9841984U patent/JPS6115073U/ja active Pending
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