JPS6116032Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、薄肉円板状の工作物を吸着支持する
真空チヤツクに関する。

一般のかかる真空チヤツクは、主軸の先端に固
着されたチヤツク体の前面に、互いに径の異なる
複数の環状溝を同心的に刻設するとともに、主軸
およびチヤツク体に穿設された連通路を介してこ
の複数の環状溝を真空源に連通し、複数の環状溝
内を負圧状態とすることによつて吸着力を付与す
るようにしている。

しかしながら、従来のものは、各環状溝間の支
持面が平担でかつその幅も環状溝の幅に比べて非
常に広いため、支持面に切屑、塵芥等が付着する
と支持面の一部が突出した状態となり、アルミニ
ウムから成る磁気デイスクの基体等薄肉で撓みや
すい工作物を吸着した場合には、吸着によつて工
作物が部分的に変形し、これが加工精度に影響を
及ぼす問題があつた。

すなわち、上記のような薄肉で撓みやすい工作
物を吸着支持した場合には、支持面に付着した切
屑の付着物が非常に小さくても、工作物を部分的
に持ち上げて加工面の一部をふくらませる結果と
なり、この状態で加工面の切屑加工を行うとふく
らんだ部分では削り過ぎになり、加工後において
工作物を取り外すとふくらんだ部分が元の状態に
戻つて部分的にへこんだ形状になつてしまい、平
担度が悪化する問題がある。

また、前の加工度もしくは工作物の取外し時に
おいて平担度に切削油が部分的に付着すると、平
担部の幅が広いことから、次の工作物を吸着した
時に平担部と工作物との間に切削油が部分的に介
在することになり、これも工作物を変形させる一
因となつていた。

本考案はこのような従来の問題点に鑑み、複数
の環状溝で区切られた複数の領域内における平担
部の面積を実質的に減少させることにより平担部
に塵芥等が付着しにくくした真空チヤツクを提供
することを目的とするもので、以下その実施例を
図面に基づいて説明する。

第１図において、１０は正面施盤の主軸台で、
この主軸台１０には、図略の軸受機構により主軸
１１が回転可能に軸承され、この主軸１１の先端
にアルミニウム等の金属によつて形成された円板
状のチヤツク体１２が主軸１１と同心的に固着さ
れている。そして、このチヤツク体１２の前面中
央部には工作物Ｗの内周面と係合して工作物Ｗの
半径方向の位置決めを行う円形の係合部１２ａが
突出され、この係合部１２ａの外周から周縁部ま
でが吸着面１３となつている。なお、前記チヤツ
ク体１２の直径は吸着支持する工作物Ｗとほぼ等
しい径を有している。

前記吸着面１３は、主軸軸線と直交するように
切削加工されており、この吸着面１３には、半径
が一定量ずつ異なる複数の環状溝１５ａ〜１５ｅ
が主軸軸線を中心として同心的に刻設され、これ
らの環状溝１５ａ〜１５ｅによつて吸着面１３が
複数の領域１３ａ〜１３ｆに分割されている。

一方、チヤツク体１２の内部にはチヤツク体１
２の軸線を中心として半径方向に放射状に延在す
る複数の連通路１６ａ〜１６ｄが穿設され、これ
らの連通路１６ａ〜１６ｄの主軸軸線に近い側の
一端は、チヤツク体１２の背面中央に所定の深さ
で穿設された接続穴１７に開口し、他端はチヤツ
ク体１２の外周面近傍まで延在している。そし
て、前記環状溝１５ａ〜１５ｅの底部の前記連通
路１６ａ〜１６ｄと対向する位置には、環状溝１
５ａ〜１５ｄと連通路１ａ〜１６ｄとを連通する
連通穴１８が主軸軸線と平行な方向に穿設されて
いる。また、前記主軸１１の中心部には主軸１１
を軸線方向に貫通する貫通穴２０が穿設され、そ
の一端は主軸１０の先端に開口して前記接続穴１
７と連通し、他端は図略のデイストリビユータ、
接続ホース等を介して真空ポンプに接続されてい
る。

さらに、前記吸着面１３の一番外側の領域１３
ａと一番内側の領域１３ｆを除く領域１３ｂ〜１
３ｅには、第２図および第３図に示すように、溝
幅Ｗおよび深さのいずれも環状溝１５ａ〜１５ｅ
よりも小さな螺施溝２１が、隣接する溝と溝の間
の平坦部２２の幅Ｓが溝巾Ｗの１／10から１倍程
度となるように均一に形成されている。この螺施
溝２１は、チヤツク体１２を主軸１１に取付けた
状態で一定の速度で回転するとともに、図略の工
具支持台に保持されたバイトを一番外側の環状溝
に対向させた状態で一定量切込み、この後、チヤ
ツク体１２が一回転する間に溝幅ｗと平担部の幅
ｓを加えた距離だけ移動する速度でバイトを主軸
軸線に向つて移動させ、バイトが一番内側の環状
溝１３ｆに達した時点でバイトの移動を停止すれ
ばよい。これにより、両端が両側の環状溝にそれ
ぞれ開口する螺施溝２１を領域１３ｂから１３ｅ
に形成することができる。

なお、この螺施溝２１の幅ｗは吸着支持する工
作物の剛性が比較的高い場合には大きくできる
が、工作物が薄肉で撓みやすい場合には溝幅ｗを
あまり広くすると、加工時に工作物が弾性変形す
るため、あまり広くすることができない。一例と
して磁気デイスク用の厚みが２mm程度のアルミニ
ウム基体を吸着支持する場合には溝幅を0.5〜２
mm程度とすることが好ましい。また、溝と溝との
間の平担部２２の幅ｓは、狭くすれば平担部２２
に塵芥等が付着する確率が減少するだけでなく、
工作物Ｗの吸着時において螺施溝２１内が負圧に
なることにより平担部２２に付着した塵芥等が螺
施溝２１内に吸込まれやすくなるが、あまり狭く
すると工作物Ｗの被吸着面に傷を付ける恐れがあ
る。このため、平担部ｓの幅は溝幅ｗの１／１０〜１倍 程度にすることが好ましい。

このように構成された真空チヤツクによつて工
作物Ｗを吸着支持した場合、吸着面１３の平担部
２２に塵芥、切屑等が付着することが殆んどなく
なる上、たとえば平担部２２が塵芥等が付着して
いたとしても、工作物Ｗを吸着支持する過程で、
螺施溝２１が負圧になると、平担部２２に付着し
た塵芥等が螺施溝２１へ吸込まれ、平担部２２に
塵芥等が殆んど付着しない状態で工作物Ｗを吸着
支持でき、平担部２２に付着した塵芥等によつて
工作物Ｗが部分的に持上げられることを防止でき
る。また、前の加工および工作物の取外し時にお
いて切削油が平担部２２に付着したとしても、次
の加工時に工作物Ｗを支持する過程で切削油は平
担部２３から螺施溝２１に流れ込み、平担部２２
に切削油が付着することによつて工作物Ｗが部分
的に持ち上げられることも防止できる。このた
め、加工時に工作物Ｗの一部が持ち上げられた状
態で加工されて平担度が悪化することを防止でき
る。

以上述べたように本考案の真空チヤツクにおい
ては、複数の環状溝で区切られた複数の領域のそ
れぞれに主軸軸線を中心とする螺施溝を刻設し
て、各領域内における平担部の面積を減少させた
構成であるから、溝間の平担部に塵芥等が付着し
た状態で工作物が吸着支持されることが殆んどな
くなる上、平担部に切削油が付着していてもこの
切削油は工作物の支持吸着時に溝内に流入し、薄
肉の工作物を吸着支持した場合でも、工作物が塵
芥、切削油等によつて部分的に持ち上げられるこ
とがなく高精度な加工が行なえる利点がある。ま
た、本考案は、複数の領域のそれぞれに溝幅Ｗが
環状溝よりも幅のせまい0.5mmから２mmで溝と溝
の間の平担部の幅が10／ＷからＷの螺施溝を刻設
した構成であるので、薄肉で撓みやすい工作物を
吸着する場合でも、螺施溝の溝部において工作物
が弾性変形することがなく、高精度な加工が行な
える利点がある。

さらに、工作物のは幅の広い複数の環状溝で確
実に行われるため、螺施溝の溝幅を0.5mm〜２mm
程度まで狭くしても吸着能力が低下することがな
い利点がある。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
真空チヤツクの縦断面図、第２図は第１図におけ
る部分の拡大図、第３図は第２図における方
向からみた矢視図である。 １１……主軸、１２……チヤツク体、１３……
吸着面、１５ａ〜１５ｅ……環状溝、１６ａ〜１
６ｄ……連通路、１７……接続穴、１８……連通
穴、２０……貫通穴、２１……螺施溝、２２……
平担部、Ｗ……工作物。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回転主軸の先端に固着されたチヤツク体の前面
   に半径が互いに異なる複数の環状溝を前記主軸軸
   線を中心として同心的に刻設するとともに、前記
   複数の環状溝によつて区切られた複数の領域のそ
   れぞれに溝幅Ｗが前記環状溝よりも幅の狭い0.5
   mmから２mmで溝と溝の間の平坦部の幅がＷ／10か
   らＷの螺施溝を刻設して各螺施溝の両端を隣接す
   る環状溝に連通させ、前記チヤツク体内部に前記
   複数の環状溝を真空源に連通する連通路を穿設し
   たことを特徴とする真空チヤツク。