JPS61162052U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の保持治具をプラネタに取付け
た状態を示す断面図である。第２図及び第３図は
本考案の保持治具の第１の具体例を示し、第２図
は部分拡大断面図、第３図は部分拡大底面図であ
る。第４図乃至第６図は本考案の保持治具の第２
の具体例を示し、第４図は部分拡大断面図、第５
図は部分拡大底面図、第６図は内部ハツトの部分
正面図である。第７図は本考案の保持治具を用い
た場合のプラネタへの自動装着装置の一例を示す
斜視図である。第８図乃至第１３図は従来例を示
し、第８図はプラネタを有する真空蒸着装置の断
面図、第９図は半導体ウエーハが保持されたプラ
ネタの保持孔部分の拡大断面図、第１０図は環状
の係止部を有するプラネタの保持孔の底面図、第
１１図は爪片状の係止部を有するプラネタの保持
孔の底面図、第１２図は第１０図に示す保持孔に
保持された半導体ウエーハの金属膜形成状態を示
す底面図、第１３図は第１１図に示す保持孔に保
持された半導体ウエーハの金属膜形成状態を示す
底面図である。 １……真空蒸着装置、２……真空容器、５……
プラネタ、７……半導体ウエーハ、８……蒸着源
、１５……保持孔、１６，２１，２８……保持治
具、１７，２２，２９……外部ハツト、１８，２
３，３０……内部ハツト、１９，２４，３２……
操作軸。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 真空蒸着装置の真空容器内で回転するプラネタ
   の保持孔に、半導体ウエーハを蒸着源に対向させ
   て保持する治具であつて、 プラネタの保持孔に着脱自在に取付けられる外
   部ハツトと、 外部ハツトの内側に開閉自在に支持され、半導
   体ウエーハの側面のみに当接する状態で半導体ウ
   エーハを外側から抱持する内部ハツトと、 内部ハツトを外部ハツトに支持すると共に、内
   部ハツトの開閉操作を、外部ハツトの外側から行
   う操作軸とからなることを特徴とする半導体製造
   治具。