JPS6237080U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6237080U JPS6237080U JP12689885U JP12689885U JPS6237080U JP S6237080 U JPS6237080 U JP S6237080U JP 12689885 U JP12689885 U JP 12689885U JP 12689885 U JP12689885 U JP 12689885U JP S6237080 U JPS6237080 U JP S6237080U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- vacuum
- planet
- supported
- evaporation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
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Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案に係る真空蒸着装置の正面断面
図、第２図乃至第４図は上記装置により金属膜を
形成する要領を示した半導体ウエーハの拡大断面
図である。第５図は従来の真空蒸着装置の正面断
面図、第６図は半導体ウエーハが保持されたプラ
ネタの保持孔部分の拡大図、第７図ａ，ｂは従来
装置により金属膜を形成した半導体ウエーハの拡
大断面図である。 ２……真空容器、１６……プラネタ、１７……
半導体ウエーハ、２２……蒸着源容器、２３……
蒸着源。
図、第２図乃至第４図は上記装置により金属膜を
形成する要領を示した半導体ウエーハの拡大断面
図である。第５図は従来の真空蒸着装置の正面断
面図、第６図は半導体ウエーハが保持されたプラ
ネタの保持孔部分の拡大図、第７図ａ，ｂは従来
装置により金属膜を形成した半導体ウエーハの拡
大断面図である。 ２……真空容器、１６……プラネタ、１７……
半導体ウエーハ、２２……蒸着源容器、２３……
蒸着源。
Claims (1)
- 真空容器内に、蒸着源を収容した蒸着源容器を
配置し、かつ、上記蒸着源に対向して半導体ウエ
ーハを保持したプラネタを自転および公転可能に
支持した真空蒸着装置において、上記プラネタを
周期的に正逆方向に自転可能に支持したことを特
徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12689885U JPS6237080U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12689885U JPS6237080U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237080U true JPS6237080U (ja) | 1987-03-05 |
Family
ID=31021134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12689885U Pending JPS6237080U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237080U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5130103A (en) * | 1974-09-05 | 1976-03-15 | Ageyuki Ito | Doheki oyobi gakekuzuretobogyokojihoto sonosochi |
-
1985
- 1985-08-19 JP JP12689885U patent/JPS6237080U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5130103A (en) * | 1974-09-05 | 1976-03-15 | Ageyuki Ito | Doheki oyobi gakekuzuretobogyokojihoto sonosochi |
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