JPS6237080U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6237080U JPS6237080U JP12689885U JP12689885U JPS6237080U JP S6237080 U JPS6237080 U JP S6237080U JP 12689885 U JP12689885 U JP 12689885U JP 12689885 U JP12689885 U JP 12689885U JP S6237080 U JPS6237080 U JP S6237080U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporation source
- vacuum
- planet
- supported
- evaporation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 4
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Description
第１図は本考案に係る真空蒸着装置の正面断面
図、第２図乃至第４図は上記装置により金属膜を
形成する要領を示した半導体ウエーハの拡大断面
図である。第５図は従来の真空蒸着装置の正面断
面図、第６図は半導体ウエーハが保持されたプラ
ネタの保持孔部分の拡大図、第７図ａ，ｂは従来
装置により金属膜を形成した半導体ウエーハの拡
大断面図である。 ２……真空容器、１６……プラネタ、１７……
半導体ウエーハ、２２……蒸着源容器、２３……
蒸着源。
図、第２図乃至第４図は上記装置により金属膜を
形成する要領を示した半導体ウエーハの拡大断面
図である。第５図は従来の真空蒸着装置の正面断
面図、第６図は半導体ウエーハが保持されたプラ
ネタの保持孔部分の拡大図、第７図ａ，ｂは従来
装置により金属膜を形成した半導体ウエーハの拡
大断面図である。 ２……真空容器、１６……プラネタ、１７……
半導体ウエーハ、２２……蒸着源容器、２３……
蒸着源。
Claims (1)
- 真空容器内に、蒸着源を収容した蒸着源容器を
配置し、かつ、上記蒸着源に対向して半導体ウエ
ーハを保持したプラネタを自転および公転可能に
支持した真空蒸着装置において、上記プラネタを
周期的に正逆方向に自転可能に支持したことを特
徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12689885U JPS6237080U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12689885U JPS6237080U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6237080U true JPS6237080U (ja) | 1987-03-05 |
Family
ID=31021134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12689885U Pending JPS6237080U (ja) | 1985-08-19 | 1985-08-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6237080U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5130103A (en) * | 1974-09-05 | 1976-03-15 | Ageyuki Ito | Doheki oyobi gakekuzuretobogyokojihoto sonosochi |
-
1985
- 1985-08-19 JP JP12689885U patent/JPS6237080U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5130103A (en) * | 1974-09-05 | 1976-03-15 | Ageyuki Ito | Doheki oyobi gakekuzuretobogyokojihoto sonosochi |