JPS61170041A - 半導体ウエ−ハ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明扛、各チップに分割前の半専体りエーノ＼状態で
、各チップの電気特性試験時の試験ｍ番を一定にするよ
うにし宛半導体ウェー・・に関する。

〔従来の技術〕

現在、半導体ウェーへの電気特性試験において、１回の
測定１゛同時に多数個のチップを試験できるようになっ
ている。そして、試験結果を判別するために、試練済み
のチップへ選別マークを付けるが、この場合、同時に試
験された多数のチップに対して、多数個の選別マーカー
装置を用いて選別マークを付けている。

〔発明が解決しようとする間旭点〕

上記従来の同時に多数個のチップを試験する場合、−回
に試験できるチップの数が２〜４個位いまでならは、そ
れぞれの試験チップ毎に選別マーカー装置を適用して選
別マークを付けることＫそれはどの困・５ｉｆｔ：ない
が、−回に試験できるチップの数が嘔らに増加すると、
それに対応して多数個の選別マーカー装置を設置するこ
とは、どうしても−理的に内鑵になってくる。したがっ
て、その対策として、半導体ウェーハ特性試験毎に選別
マーク付けするのをやめて、特性試験済みのウェーハを
別の選別マーカー装置に試験データと共に送シ、その試
験データに従って選別マークを付けるという方法が考え
られる。しかし、この場合、電気特性試験時のチップの
試験順番と、データ上の順番が合致していないと、各チ
ップに付けた選別マークは実際の電気特性試験結果と違
ったものとなシ、この電気特性試験は無意味なものとな
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点に対し、本発明では、実際の半導体ウェーハ
上のチップの順番位置と、試験データとの間の不一致を
起さないように、試験の行われる頭初のチップ位置であ
ることを示すイニシャルチップ検出マークを付けておく
。

〔実施例〕

つぎに本発明を実施例により説明する。

第１図は本発明の一実施例の平面図である。第１図に２
いて、円形の半導体ウェーハは縦および横の分割ライン
１．１．・・・・・・および２．２．・・・・・・によ
り多数のチップ領域３，３．・・・・・・に区画されて
いる。この多数のチップ領域のうちの、左上角に位置す
るチップ領域には、このウェーハの電気特性試験時の当
初のチップ位置に該当することを示すイニシャルチップ
検出マークとして、全面アルミ蒸着４がなされている。

第２図は本発明の他の実施例の平面図であシ、本例にお
いては、イニシャルチップ検出マークとして、白該チッ
プに穴５をあけておく。

〔発明の効果〕

上述のとおり、本発明の十得体ウェーハでは、多数個の
チップ領域のうちの特定の位置を占める一つのチップ領
域に、それが、この半導体ウェーハの電気特性試験時の
頭初のチップである目安となることを示すイニシャルチ
ップ検出マークが付けられているので、このウェーハの
各チップの試験データと実際のチップ位置との不一致が
なくなシ、−回に多数のチップの試験を行ったチップに
対する選別マーク付けが、小数の選別マーカー装置によ
り間違いなく行うことができ、多数の選別マーカー装置
設に’を不狭とし、設備費用の大きな軽減効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１１社本発明の一実施例の平面図、第２図は本発明の
他の実施例の平面図である。 １・・・・・・縦分割２イン、２・・・・・・横分割ラ
イン、３・・・・・・チップ領域、４・・・・・・アル
ミ蒸着目印、５・・・・・・目印穴。 第１図 第Ｚ図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 格子状の分割線により多数のチップ領域に区画された半
   導体ウェーハにおいて、前記チップ領域のうちの特定の
   位置にある一つのチップ領域が、前記ウェーハの電気特
   性試験時の試験チップ順番の頭初の目印になることを示
   すイニシャルチップ検出マークが付けられていることを
   特徴とする半導体ウェーハ。