JPS61194609A - 複合磁気ヘツド - Google Patents
複合磁気ヘツドInfo
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- JPS61194609A JPS61194609A JP3352885A JP3352885A JPS61194609A JP S61194609 A JPS61194609 A JP S61194609A JP 3352885 A JP3352885 A JP 3352885A JP 3352885 A JP3352885 A JP 3352885A JP S61194609 A JPS61194609 A JP S61194609A
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- Japan
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- magnetic
- amorphous
- flux density
- alloy
- corrosion resistance
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば非晶質磁性合金により磁気ギャップを
形成するとともに上記非晶質合金を酸化物磁性材料で挟
み付けた、いわゆる複合磁気ヘッドに関するものである
。
形成するとともに上記非晶質合金を酸化物磁性材料で挟
み付けた、いわゆる複合磁気ヘッドに関するものである
。
例えばＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）等の磁気記録再
生装置においては、記録信号の高密度化や高周波数化等
が進められており、この高密度記録に対応して、磁気記
録媒体として、磁性粉にＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁性金
属の粉末を用いた、いわゆるメタルテープや、強磁性金
属材料を蒸着等の真空薄膜形成技術によってベースフィ
ルム上に被着した、いわゆる蒸着テープ等の高い抗磁力
Ｈｃを有する磁気記録媒体が用いられるようになってい
る。
生装置においては、記録信号の高密度化や高周波数化等
が進められており、この高密度記録に対応して、磁気記
録媒体として、磁性粉にＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の強磁性金
属の粉末を用いた、いわゆるメタルテープや、強磁性金
属材料を蒸着等の真空薄膜形成技術によってベースフィ
ルム上に被着した、いわゆる蒸着テープ等の高い抗磁力
Ｈｃを有する磁気記録媒体が用いられるようになってい
る。
したがって、記録再生に使用する磁気ヘッドの素材に要
求される磁気特性としては、磁束密度Ｂや透磁率μが優
れていることが挙げられ、従来多用されているフェライ
ト材では磁束密度の不足が問題となっている。
求される磁気特性としては、磁束密度Ｂや透磁率μが優
れていることが挙げられ、従来多用されているフェライ
ト材では磁束密度の不足が問題となっている。
このため、例えばセンダストやパーマロイ等の磁束密度
Ｂの高い金属磁性材料をヘッド材料として使用すること
が考えられているが、この種の金属磁性材料は、渦電流
損失による高周波領域での透磁率の低下や耐摩耗性の悪
さ等、実用上大きな欠点を有している。
Ｂの高い金属磁性材料をヘッド材料として使用すること
が考えられているが、この種の金属磁性材料は、渦電流
損失による高周波領域での透磁率の低下や耐摩耗性の悪
さ等、実用上大きな欠点を有している。
そこでさらに従来、上記ヘッド材として、例えば液体急
冷法や真空蒸着技術により形成した非晶質磁性合金（ア
モルファス合金）が注目を集めており、この非晶質磁性
合金薄膜により磁気ギャップ部を構成するとともに、コ
ア部をフェライト材により形成し、上記非晶質磁性合金
Ｆ！＃膜を上記コア部で挟み付けた複合磁気ヘッドが提
案されている。
冷法や真空蒸着技術により形成した非晶質磁性合金（ア
モルファス合金）が注目を集めており、この非晶質磁性
合金薄膜により磁気ギャップ部を構成するとともに、コ
ア部をフェライト材により形成し、上記非晶質磁性合金
Ｆ！＃膜を上記コア部で挟み付けた複合磁気ヘッドが提
案されている。
ところで、上記磁気ヘッドが記録専用、あるいは再生専
用であれば、ヘッド材は磁束密度Ｂまたは透磁率μのい
ずれか一方の特性が優れていればよいが、一般にビデオ
ヘッド等においては、自己録再方式により記録・再生兼
用タイプとして使用される場合が多く、したがってヘッ
ド材にも磁束密度Ｂと透磁率μの双方が優れていること
が要求される。特に、高品質な画質を得るためには、磁
束密度Ｂを向上することが重要なポイントとなっている
。
用であれば、ヘッド材は磁束密度Ｂまたは透磁率μのい
ずれか一方の特性が優れていればよいが、一般にビデオ
ヘッド等においては、自己録再方式により記録・再生兼
用タイプとして使用される場合が多く、したがってヘッ
ド材にも磁束密度Ｂと透磁率μの双方が優れていること
が要求される。特に、高品質な画質を得るためには、磁
束密度Ｂを向上することが重要なポイントとなっている
。
一方、上述のように非晶質磁性合金薄膜と酸化物磁性材
料とを接合して構成される磁気ヘッドにあっては、上記
非晶質磁性合金が錆易く、著しく腐食する傾向にあるの
で、耐蝕性の改善が大きな課題となっている。
料とを接合して構成される磁気ヘッドにあっては、上記
非晶質磁性合金が錆易く、著しく腐食する傾向にあるの
で、耐蝕性の改善が大きな課題となっている。
しかしながら、上述の複合磁気ヘッドに使用される非晶
質磁性合金では、耐蝕性、透磁率μと磁束密度Ｂは、前
者を向上させると後者が劣化し、。
質磁性合金では、耐蝕性、透磁率μと磁束密度Ｂは、前
者を向上させると後者が劣化し、。
後者を向上させると前者が劣化するというような相反す
る性質を有している。すなわち、複合磁気ヘッドの耐蝕
性を向上するために、非晶質磁性合金に添加元素を加え
ることが試みられているが、この場合には磁束密度Ｂが
低下し、磁気特性を確保することが難しくなる。
る性質を有している。すなわち、複合磁気ヘッドの耐蝕
性を向上するために、非晶質磁性合金に添加元素を加え
ることが試みられているが、この場合には磁束密度Ｂが
低下し、磁気特性を確保することが難しくなる。
このように、磁束密度Ｂと透磁率μが共に大きく、かつ
耐蝕性に優れた複合磁気ヘッドは未だ実現されておらず
、なお一層の改善が要望されている。
耐蝕性に優れた複合磁気ヘッドは未だ実現されておらず
、なお一層の改善が要望されている。
そこで本発明は、ビデオ帯域のような高周波領域での記
録・再生に対応し、磁束密度Ｂや透磁率μができるだけ
大きく、かつ耐蝕性に優れた非晶質合金を提供し、これ
によって記録飽和が無く再生効率の良好な複合磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
録・再生に対応し、磁束密度Ｂや透磁率μができるだけ
大きく、かつ耐蝕性に優れた非晶質合金を提供し、これ
によって記録飽和が無く再生効率の良好な複合磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
ｃ問題点を解決するための手段〕
本発明は、上述の目的を達成するために、酸化物磁性材
料と非晶質磁性合金よりなる複合磁気ヘッドであって、
前記非晶質磁性合金が Ｍａ Ｓ ｉｂ Ｂｃ Ｃｒｄ （ただし、ＭはＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅのうち１種または２種
以上を表す。） なる組成式で表され、その組成範囲が原子％で１９≦ｂ
＋ｃ＋ｄ≦２６ ４≦ｃ≦９．５ １．５≦ｄ≦５ ａ＋ｂ＋Ｃ＋ｄ−１００ であることを特徴とするものである。
料と非晶質磁性合金よりなる複合磁気ヘッドであって、
前記非晶質磁性合金が Ｍａ Ｓ ｉｂ Ｂｃ Ｃｒｄ （ただし、ＭはＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅのうち１種または２種
以上を表す。） なる組成式で表され、その組成範囲が原子％で１９≦ｂ
＋ｃ＋ｄ≦２６ ４≦ｃ≦９．５ １．５≦ｄ≦５ ａ＋ｂ＋Ｃ＋ｄ−１００ であることを特徴とするものである。
本発明に係る複合磁気ヘッドを構成する非晶質磁性合金
は、金属元素としてＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅのうちの１種また
は２種以上を含有し、半金属元素としてＳｉ、Ｂを含有
するとともに、Ｃｒを含有してなるものであって、これ
らＣｒやＢ、Ｓｉの添加量を制御することによって、透
磁率μや耐蝕性を確保したまま磁束密度Ｂを向上するこ
とができる。
は、金属元素としてＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅのうちの１種また
は２種以上を含有し、半金属元素としてＳｉ、Ｂを含有
するとともに、Ｃｒを含有してなるものであって、これ
らＣｒやＢ、Ｓｉの添加量を制御することによって、透
磁率μや耐蝕性を確保したまま磁束密度Ｂを向上するこ
とができる。
すなわち、上記非晶質磁性合金においては、特にＳｔ、
Ｂ、Ｃｒの割合が重要であって、これら各元素の割合が
多すぎたり少なすぎたりすると、磁気特性と耐蝕性の両
者を改善することは難しい。
Ｂ、Ｃｒの割合が重要であって、これら各元素の割合が
多すぎたり少なすぎたりすると、磁気特性と耐蝕性の両
者を改善することは難しい。
例えば、Ｃｒの含有量が５原子％を越えると、得られる
非晶質磁性合金は高透磁率μで高耐蝕性となるが、磁束
密度が低下し、またＣｒの含有量が１．５原子％未満と
なると、透磁率μや耐蝕性が低下する。
非晶質磁性合金は高透磁率μで高耐蝕性となるが、磁束
密度が低下し、またＣｒの含有量が１．５原子％未満と
なると、透磁率μや耐蝕性が低下する。
また、Ｂの含有量が９．５原子％を越えると耐蝕性が低
下し、逆にＢの含有量が４原子％未溝になると、非晶質
磁性合金の作成が難しくなる。
下し、逆にＢの含有量が４原子％未溝になると、非晶質
磁性合金の作成が難しくなる。
さらに、Ｓｉ、Ｂ及びＣｒの合計量が１９原子％未満で
は非晶質磁性合金の製造が困難であり、またこれらの合
計量が２６原子％を越えると磁束密度を確保することが
難しくなる。
は非晶質磁性合金の製造が困難であり、またこれらの合
計量が２６原子％を越えると磁束密度を確保することが
難しくなる。
一方、金属元素は□、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅのなかから１種
または２種以上を選択して用いられるが、この場合、磁
歪が小さくなるように選択して用いることが好ましい。
または２種以上を選択して用いられるが、この場合、磁
歪が小さくなるように選択して用いることが好ましい。
このように、本発明の複合磁気ヘッドに使用される非晶
質磁性合金の特徴は、適量のクロムＣｒの添加と、同時
にボロンＢの添加を抑えることにより耐蝕性の改善を図
るとともに、シリコンＳ１とクロムＣｒをある程度以上
の量を加え、透磁率μを確保し、金属元素の量をできる
だけ多くして磁束密度を向上したことにある。
質磁性合金の特徴は、適量のクロムＣｒの添加と、同時
にボロンＢの添加を抑えることにより耐蝕性の改善を図
るとともに、シリコンＳ１とクロムＣｒをある程度以上
の量を加え、透磁率μを確保し、金属元素の量をできる
だけ多くして磁束密度を向上したことにある。
そして、本発明の複合磁気ヘッドは、上述の磁性合金材
料を通常の手法、例えば液体急冷法によす 丸非晶質化することにより非晶質磁性合金薄帯を作成し
、この非晶質磁性合金薄帯を酸化物磁性体で挟み込むこ
とにより作成される。
料を通常の手法、例えば液体急冷法によす 丸非晶質化することにより非晶質磁性合金薄帯を作成し
、この非晶質磁性合金薄帯を酸化物磁性体で挟み込むこ
とにより作成される。
本発明に係る複合磁気ヘッドの構成としては、例えば第
１図に示すように、非晶質磁性合金薄帯（１）の磁気ギ
ヤツブｇ近傍部をチタン酸カルシウム（Ｔｉ−Ｃａ系セ
ラミックス）、酸化物ガラス。
１図に示すように、非晶質磁性合金薄帯（１）の磁気ギ
ヤツブｇ近傍部をチタン酸カルシウム（Ｔｉ−Ｃａ系セ
ラミックス）、酸化物ガラス。
チタニア（Ｔ ｉ ＯＸ） 、アルミナ（／ｌｊ！２０
３）等の高耐摩耗性非磁性材料からなるガード材（２）
、 （２）で挟み付け、バックギャップ側をＭｎ−Ｚ
ｎ系フェライト等の酸化物磁性材（３） 、 （３）で
挟み付けたものや、第２図に示すように、非晶質磁性合
金薄帯（１１）をＭ ｎ −Ｚ ｎ系フェライト等の酸
化物磁性材（１２） 、 （１２）で挟み付け、さらに
上記酸化物磁性材（１２） 、 （１２）の磁気ギヤツ
ブｇ近傍部にトラック幅規制のための切り欠きを設け、
この切り欠き内に高硬度ガラス等の非磁性ガード材（１
３） 、 （１３）を充填したもの等が挙げられる。
３）等の高耐摩耗性非磁性材料からなるガード材（２）
、 （２）で挟み付け、バックギャップ側をＭｎ−Ｚ
ｎ系フェライト等の酸化物磁性材（３） 、 （３）で
挟み付けたものや、第２図に示すように、非晶質磁性合
金薄帯（１１）をＭ ｎ −Ｚ ｎ系フェライト等の酸
化物磁性材（１２） 、 （１２）で挟み付け、さらに
上記酸化物磁性材（１２） 、 （１２）の磁気ギヤツ
ブｇ近傍部にトラック幅規制のための切り欠きを設け、
この切り欠き内に高硬度ガラス等の非磁性ガード材（１
３） 、 （１３）を充填したもの等が挙げられる。
上述のように、複合磁気ヘッドの磁気ギャップを構成す
る非晶質磁性合金として、Ｃｒ、Ｂ、Ｓｉを所定量含有
する非晶質磁性合金を使用することにより、耐蝕性や透
磁率μが確保され、磁束密度が向上する。
る非晶質磁性合金として、Ｃｒ、Ｂ、Ｓｉを所定量含有
する非晶質磁性合金を使用することにより、耐蝕性や透
磁率μが確保され、磁束密度が向上する。
以下、本発明の具体的な実施例について説明するが、本
発明がこれら実施例に限定されるものでないことは言う
までもない。
発明がこれら実施例に限定されるものでないことは言う
までもない。
先ず、第１表に示すように、（ＣｏＦｅ）ａＳｉｂ Ｂ
ｃ Ｃｒｄなる組成を有する合金材料により非晶質磁性
合金薄帯を作製し、得られた各合金薄帯について、それ
ぞれ磁束密度Ｂおよび透磁率μを調べた。結果を第１表
に示す。なお、上記磁束密度Ｂは、磁場２０エルステツ
ドの時の磁束密度をＢ２゜とじて表し、透磁率μは、周
波数ＩＭＨｚで測定したものである。
ｃ Ｃｒｄなる組成を有する合金材料により非晶質磁性
合金薄帯を作製し、得られた各合金薄帯について、それ
ぞれ磁束密度Ｂおよび透磁率μを調べた。結果を第１表
に示す。なお、上記磁束密度Ｂは、磁場２０エルステツ
ドの時の磁束密度をＢ２゜とじて表し、透磁率μは、周
波数ＩＭＨｚで測定したものである。
（以下余白）
第１表
この第１表より、非晶質磁性合金の磁束密度Ｂは、金泥
成分（Ｃｏ、Ｆｅ）が多いほど大きくなることが試料３
と比較試料３のデータから確認された。また、試料９と
試料１０の比較から、Ｃｒが増すと磁束密度Ｂが低下し
、各試料のデータから、ボロンＢを減らしていくと磁束
密度が若干低下することがわかった。さらに、透磁率μ
は、ＳｉおよびＣｒがある程度含有されていれば確保で
きることがわかる。
成分（Ｃｏ、Ｆｅ）が多いほど大きくなることが試料３
と比較試料３のデータから確認された。また、試料９と
試料１０の比較から、Ｃｒが増すと磁束密度Ｂが低下し
、各試料のデータから、ボロンＢを減らしていくと磁束
密度が若干低下することがわかった。さらに、透磁率μ
は、ＳｉおよびＣｒがある程度含有されていれば確保で
きることがわかる。
さらに、上記第１表に示す各試料及び比較試料の耐蝕性
を調べるために、陽極分極曲線を測定した。各試料及び
比較試料の陽極分極曲線を第３図に並列して示す。
を調べるために、陽極分極曲線を測定した。各試料及び
比較試料の陽極分極曲線を第３図に並列して示す。
一般に、各種材料の耐蝕性は、酸等（ここでは０．５％
塩化ナトリウム溶液）中で陽極分極曲線を調べることに
よって、定性的、定量的に知ることができる。すなわち
、陽極にセントされた材料の陽極的熔解によって電流が
流れはじめる電位が高いものの方が耐蝕性が良い。
塩化ナトリウム溶液）中で陽極分極曲線を調べることに
よって、定性的、定量的に知ることができる。すなわち
、陽極にセントされた材料の陽極的熔解によって電流が
流れはじめる電位が高いものの方が耐蝕性が良い。
そこで第３図に着目すると、ボロンＢが減ってくると陽
極電流の流れ出すポイントが遅れてくることから、各試
料においては、耐蝕性が改善されていることがわかる。
極電流の流れ出すポイントが遅れてくることから、各試
料においては、耐蝕性が改善されていることがわかる。
特に、試料３と試料８を比較することにより、ボロンＢ
を減らす効果がわかる。また、試料３と試料９を比較す
ることにより、クロムＣｒ添加の効果も明確である。
を減らす効果がわかる。また、試料３と試料９を比較す
ることにより、クロムＣｒ添加の効果も明確である。
このように作製した非晶質磁性合金薄帯のうち、試料８
を用いて第１図に示すような複合磁気へラドを作り、実
施例とした。
を用いて第１図に示すような複合磁気へラドを作り、実
施例とした。
同様に、比較試料３を用いて第１図に示すような複合磁
気ヘッドを作り、比較例とした。
気ヘッドを作り、比較例とした。
上記実施例及び比較例について、磁気ギャップ幅を変え
て、自己録再による再生出力を測定した。
て、自己録再による再生出力を測定した。
結果を第４図に示す。なお、この再生出力の測定は、周
波数７５０ＫＨｚで行った。
波数７５０ＫＨｚで行った。
この第４図より、本実施例の複合磁気ヘッドは、比較例
に較べて高出力となる傾向にあり、特に磁気ギャップ幅
が狭小化するほど上記傾向が強くなることがわかる。こ
の傾向は、磁気ギャップを構成する非晶質磁性合金の磁
束密度Ｂが大きいことに起因しているものと考えられる
。
に較べて高出力となる傾向にあり、特に磁気ギャップ幅
が狭小化するほど上記傾向が強くなることがわかる。こ
の傾向は、磁気ギャップを構成する非晶質磁性合金の磁
束密度Ｂが大きいことに起因しているものと考えられる
。
したがって、本実施例の複合磁気ヘッドは、磁気ギャッ
プの狭小化に通することから、記録信号の高密度化や高
周波数化に有用な磁気ヘッドであると言える。
プの狭小化に通することから、記録信号の高密度化や高
周波数化に有用な磁気ヘッドであると言える。
さらに、本実施例の複合磁気ヘッドでは、クロマ信号の
出力が従来のものに較べて２〜３ｄＢ高く、画質の向上
にも有効であることがわかった。
出力が従来のものに較べて２〜３ｄＢ高く、画質の向上
にも有効であることがわかった。
〔発明の効果〕
以上の説明からも明らかなように、本発明の複合磁気ヘ
ッドにおいては、磁気ギヤツブを構成する非晶質磁性合
金として金属（Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ）−半金属（Ｓｉ、Ｂ
）系非晶質磁性合金のＳｔ。
ッドにおいては、磁気ギヤツブを構成する非晶質磁性合
金として金属（Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅ）−半金属（Ｓｉ、Ｂ
）系非晶質磁性合金のＳｔ。
Ｂの一部を所定範囲のＣｒで置換したものを使用してい
るので、磁束密度が向上し、透磁率や耐蝕性も確保され
る。したがって、本発明に係る複合磁気ヘッドは、記録
飽和が無く、再生出力の高いものとなり、また、磁気ギ
ャップの狭小化によっても高い出力を得ることができる
ので、記録信号の高密度化や高周波数化に対応すること
が可能である。
るので、磁束密度が向上し、透磁率や耐蝕性も確保され
る。したがって、本発明に係る複合磁気ヘッドは、記録
飽和が無く、再生出力の高いものとなり、また、磁気ギ
ャップの狭小化によっても高い出力を得ることができる
ので、記録信号の高密度化や高周波数化に対応すること
が可能である。
第１図は本発明の複合磁気ヘッドの構成例を示す概略的
な斜視図であり、第２図は本発明の他の構成例を示す概
略的な斜視図である。 第３図は非晶質磁性合金試料の陽極分極曲線を並列的に
示す特性図である。 第４図は本発明の一実施例と比較例について磁気ギャッ
プ幅を変えたときの再生出力の変化を示す特性図である
。 １．１１・・・非晶質磁性合金薄帯 ３、１２・・・酸化物磁性材
な斜視図であり、第２図は本発明の他の構成例を示す概
略的な斜視図である。 第３図は非晶質磁性合金試料の陽極分極曲線を並列的に
示す特性図である。 第４図は本発明の一実施例と比較例について磁気ギャッ
プ幅を変えたときの再生出力の変化を示す特性図である
。 １．１１・・・非晶質磁性合金薄帯 ３、１２・・・酸化物磁性材
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 酸化物磁性材料と非晶質磁性合金よりなる複合磁気ヘッ
ドであって、前記非晶質磁性合金がＭａＳｉｂＢｃＣｒ
ｄ （ただし、ＭはＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅのうち１種または２種
以上を表す。） なる組成式で表され、その組成範囲が原子％で１９≦ｂ
＋ｃ＋ｄ≦２６ ４≦ｃ≦９．５ １．５≦ｄ≦５ ａ＋ｂ＋ｃ＋ｄ＝１００ であることを特徴とする複合磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3352885A JPS61194609A (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 | 複合磁気ヘツド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3352885A JPS61194609A (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 | 複合磁気ヘツド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61194609A true JPS61194609A (ja) | 1986-08-29 |
Family
ID=12389046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3352885A Pending JPS61194609A (ja) | 1985-02-21 | 1985-02-21 | 複合磁気ヘツド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61194609A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61243144A (ja) * | 1985-04-20 | 1986-10-29 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘツド用非晶質合金 |
| JPS62270741A (ja) * | 1986-05-19 | 1987-11-25 | Alps Electric Co Ltd | 磁気ヘツド用非晶質合金 |
| JPH02290995A (ja) * | 1989-04-28 | 1990-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 高磁束密度４元系合金電着薄膜の製造方法 |
| US5338376A (en) * | 1992-06-05 | 1994-08-16 | Central Iron And Steel Research Institute | Iron-nickel based high permeability amorphous alloy |
| JP2002252115A (ja) * | 2001-02-26 | 2002-09-06 | Alps Electric Co Ltd | インピーダンス素子及びその製造方法 |
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| JPS5713137A (en) * | 1980-06-24 | 1982-01-23 | Toshiba Corp | Amorphous alloy for magnetic head |
| JPS5719361A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-01 | Hitachi Ltd | Amorphous alloy for core of magnetic head and magnetic head for video using it |
-
1985
- 1985-02-21 JP JP3352885A patent/JPS61194609A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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