JPS61200643A - マイクロ波管用電子銃の製造方法 - Google Patents

マイクロ波管用電子銃の製造方法

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JPS61200643A
JPS61200643A JP4050585A JP4050585A JPS61200643A JP S61200643 A JPS61200643 A JP S61200643A JP 4050585 A JP4050585 A JP 4050585A JP 4050585 A JP4050585 A JP 4050585A JP S61200643 A JPS61200643 A JP S61200643A
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JP
Japan
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grid
support
electron gun
microwave tube
cathode
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JP4050585A
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Masae Imaizumi
今泉 征恵
Toshio Okamura
敏雄 岡村
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/14Manufacture of electrodes or electrode systems of non-emitting electrodes
    • HELECTRICITY
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/18Assembling together the component parts of electrode systems

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microwave Tubes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は、マイクロ波管用電子銃の製造方法に関する
〔発明の技術的背景およびその問題点〕クライストロン
、進行波管のような電子ビーム直進形の電子管において
、ピアス形電子銃として凹面状カソード面の前方に目合
せされた複数の球面状グリッド電橋を配置する場合があ
る。
これは第5図乃至第7図に示すような構造のものである
。図中の符号3ノは凹面状の電子放射面をもつカソード
、32はヒータ、33はカソードスリーブ、34はコン
トロールグリッド電極、35はその円筒状グリッド支持
体、36は支持体フランジ部、37はシャドウグリッド
電極、38はそのリング状グリッド支持体、39はその
フランジ部ヲアられしている。
この構造の特徴は、コントロールグリッド電極34にカ
ソードに対し負又は正の電位を与えて電子ビーム放出1
を制御するものであるが、カソードからの放出電子がこ
のコントロールグリッド電極34に直接流入するのを防
止するため両者間にシャドウグリッド電極37を介在し
である。そしてこれらカソード3ノ、ンヤドクグリッド
電極37、コントロールグリッド電極34は、それぞれ
曲率半径R1,R2,R3で同心球面状に成形されると
ともに、夫々的0.2゜0、311程度の微小間隔g 
1 * g 2 t−保って配置されている。しかも両
グリッド電極は、カソード全面からの電子ビーム放出軌
道に沿りて完全に目合せされている。また各グリッド電
極は、モリブデン(MO)のような高融点金属の約0.
1鶴の厚さの素材薄板からなり、球面状に成形されると
ともに、約μ風程度の幅のグリッドワイヤ40で区画さ
れた多数の放射状スリット41からなるグリッドパター
ンを有している。
このような微細なグリッドノ4ターンのスリットをもつ
グリッド電極の形成、および両グリッド電極をカソード
の前方に目合せして位置決めし固定する方法は、従来一
般には第8図および第9図に示す方法によっている。す
なわち第8図(a)乃至(e)に示すようにコントロー
ルグリッド構体を、また同図(f)乃至(j)に示すよ
うシャドウグリッド構体を組立てる。まず第8図(a)
および(b)の如(MO素材薄板5)をプレスにより所
定曲率半径の球面部52を形成する。次に同図GC)の
如く放電加工又はエツチングにより微細なグリッドワイ
ヤで区画された多数のスリットからなるグリッドパター
ン53t−形成する。このとき素材薄板5ノの周辺部の
2箇所に位置決め用の切欠き54を同時に形成する。こ
のように形成したコントロールグリッド電極34を、次
に同図(d)の如く予め形成しであるグリッド支持体3
5に接合する。グリッド支持体35には、グリッド電極
34の切欠き54と位置合せするための2個の孔55、
および2個のグリッド構体を目合せして位置決めする比
めの4個の透孔56が支持体フランジ部36の所定位置
に穿設されている。こうして同図(e)の如くコントロ
ールグリッド構体52を組立てる。同様にして同図(f
)および(g)の如く前記のグリッド構体よりもやや径
小なMO素材薄板58をプレスにより所定曲率半径の球
面部59を形成する。次に同図(h)の如く放電加工又
はエツチングにより微細なグリッドワイヤで区画された
多数のスリットからなるグリッドパターン60t−形成
する。このとき素材薄板58の周辺部の2箇所に同様に
位置決め用の切欠き61を同時に形成する。このように
形成したシャドウグリッド電極37を、次に同図(i)
の如く予め形成しであるグリッド支持体38に接合する
。このグリッド支持体38に接合する。このグリッド支
持体38には、グリッド電極37の切欠き6ノと位置合
せする求め02個の孔62.および2個のグリッド構体
を目合せして位置決めするための4個の透孔63が支持
体フランツ部39の所定位置に穿設されている。こうし
て同図(j)の如くンヤドゥグリッド構体64を組立て
る。そして第9図に示す如く両グリッド構体57,64
f、それぞれに形成しである位置決め用の透孔56,6
Bに1本の棒状治具65を挿通して各グリッド電極のグ
リッドワイヤのおよびスリットの目合せして組合せ、こ
れらグリッド構体を保持する電子銃構成部材(図示せず
)により両グリッド電極を相互固定する。
しかしながらこのような従来方法では、両グリッド電極
のとくに回転方向の目合せの精度が十分得にくいという
不都合がある。その理由は、各グリッド支持体に位置決
め用透孔56,63を形成することに加えて、各グリッ
ド支持体に既に形成されたグリッドノ4ターンをもつグ
リッド電極34.37fそれぞれ位置決めして固定する
際の精度の狂いの累積により、目合せ精度が低下するた
めである。
〔発明の目的〕 この発明は、以上の事情に鑑みてなされたもので複数の
グリッド電tit精度よく目合せしうるマイクロ波管用
電子銃の製造方法を提供するものでおる。
〔発明の概要〕
この発明は、まず各グリッド電極となるMOのような高
融点素材金属薄板をプレス成形機により球面状に成形し
て各グリッド支持体に固定し、次に放電加工又はエツチ
ングにより各素材金属薄板にグリッド・母ターンに対応
する多数のスリブ)1−穿設するとともにこれと同時に
各グリッド支持体部分の相対応する所定位置決め用孔を
形成し、次に各グリッド電極をカソードの前方に配置す
るとともに各グリッド支持体に穿設した各位置決め用孔
に位置規制用棒状治具を挿通して各グリッド電極のグリ
ッドワイヤを目合せし両グリッド電極を固定することを
特徴とするマイクロ波管用電子銃の製造方法である・〔
発明の実施例〕 以下図面を参照してその実施例を説明する。
なお同一部分は同一符号であられす。
この発明により完成する電子銃を第1図に示す0同図に
おいて符号11はウェネルト電極、ノ2はそれに形成さ
れ・た4個の透孔、13はセラミック絶縁支持棒、14
tdコントロー /L/ l” !Jフッド持リング、
15は外側第1支持筒、16は外側第2支持筒、17は
両支持筒のアーク溶a部、18Fi絶aス< −p s
 19 nコントロールグリッド支持筒のフランジ部に
穿設された4個の位置決め用孔、20はそれらに対応し
てシャドクグリッド支持リングに形成され九位置決め用
の1個の孔、2ノはリング状支持台、22は内側第1支
持筒、23は内側第2支持筒、24は熱シールド筒、2
5はヒータリード、26は内側支持枠、すはコントロー
ルグリッド構体、2gはシャドウグリッド構体、eは電
子ビームをあられしている。内側第1支持筒22および
支持台21に保持されたシャドウグリッド37は、下方
の支持枠26t−介してカソード3ノに電気的に短絡さ
れている。これに対してコントロールグリッド電極34
は負又は正の電位が与えられる。
さてこの発明の製造方法は、第2図に示すように各グリ
ッド電極構体が組立てられる。第2図(a)および(b
)の如く・MO製の素材薄板51をプレスにより所定曲
率半径の球面部52t−形成する。次に同図(C)の如
くグリッド支持体35のフランジ部36に溶接あるいは
ろう接により接合する。この状態で次に同図(d)に示
す如く放電加工又はエツチングにより素材薄板に微細な
グリッドワイヤで区画された多数のスリットからなるグ
リッドパターン53を形成する。そしてこのとき同時に
グリッド支持体35のフランジ部36の所定位置に4個
の位置決め用孔19f放電加工又はエツチングにより穿
設する。これによってグリッドパターンと答礼19との
位置関係が定められる。こうしてコントロールグリッド
構体Eを組立てる。同様にして同図(elおよび(f)
の如く前記のコントロールグリッド構体よりもやや径小
なMO製素材薄板58をプレスにより所定曲率半径の球
面部59を形成する。同じく次に同図(glに示すよう
にリング状シャドウグリッド支持体38のフランジ部3
9に素材薄板58を溶接あるいはろう接により接合する
この状態で次に同図(h)に示す如く放電加工又はエツ
チングにより素材薄板58に微細なグリッドワイヤで区
画され九多数のスリットからなるシャドウグリッドノや
ターン60を形成する。そしてこのときやはり同時にグ
リッド支持体38の所定位置に4個の位置決め用孔20
を放電加工又はエツチングにより穿設する。これによっ
てグリッドパターンと答礼20との位置関係が定められ
る。こうしてシャドウグリッド構体2gを組立てる。両
グリッド構体の各位置決め用孔19,201d、それぞ
れ相対応した位置に形成されている。
そして第3図および第4図に示す如く両グリッド構体を
各グリッドパターンを目合せして組合せ、固定する。す
なわちまず、第3図の如く外側第1支持筒15の上にウ
ェネルト電極11を支えて接合された支持リング14に
、コントロールグリッド構体互1を溶接により固定する
このときフランジ部に形成されている位置決め用孔19
を、それより径大なウェネルト電極の孔12に略合致さ
せて固定する。一方、予め分離されている外側第2支持
筒16とともにカソード31と一体的に固定された支持
リング21の上に、シャドウグリッド構体28を固定す
る。
このときカソードに対してシャドウグリッド電極37が
所定間隔となるように、支持リング21の上面を位置決
めしておく。また支持体38に形成された位置決め用孔
20は、支持リング21の上に位置するようにしである
。そして第4図に示すように、両グリッド構体U。
υの位置決め用孔19.20に棒状治具30を挿通して
両者の相対位置を規定して、外側第1および第2文持簡
15,16の被溶接部15a。
16暑にアーク溶接電極Pを対向させて溶接する。棒状
治具30は、一端に径大N30mを有し、この一端径大
部の下端面から他端面までの軸方向寸法りにより両グリ
ッド電極の管軸方向間隔が規定されるようになっている
。こうして棒状治具を使用することにより、両グリッド
電極は回転方向および管軸方向の相対位置が規定され目
合せがなされる。外側叉持簡15,16の溶接固定によ
り両グリッド構体が位置決め固定された後は、棒状治具
30を除去する。このようにして第1図に示す構造の電
子銃を組立てる。
なお、シャrウグリッドは高温となるカソードに近いた
め高融点材料を使用すべきであるが、コントロールグリ
ッドはそれよりも融点の低い材料例えば硬質銅やステン
レス鋼、あるいはそれ以外の金属材料で形成してもよい
。また各グリッド構体に形成する位置決め用孔は、コン
トロールグリッド構体の孔よりもシャドウグリッド構体
の孔を小さく形成してもよい。そして直径の異なる段付
き位置規制用棒状治具1−2用して組立ててもよい。
〔発明の効果〕
以上説明したようにこの発明は、各グリッド電極となる
素材金属薄板をプレス成形機により球面状に成形して各
グリッド支持体に溶接あるいはろう接により固定し、次
に放電加工又はエツチングにより各素材金属薄板和グリ
ッドノ辛ターンに対応する多数のスリットヲ穿設すると
ともにこれと同時に各グリッド支持体部分の相対応する
所定位置に各々位置決め用孔を形成し、次に各グリッド
電極をカソードの前方に配置するとともに各グリッド支
持体に穿設した各位置決め用孔に位置規制用棒状治具を
挿通して各グリッド電極のグリッドワイヤを目合せし両
グリッド電極を固定する方法である。これによって各グ
リッドパターンと位置決め用孔との位置関係は放電加工
又はエツチング時に同時に形成するので高精度に形成で
き、両グリッド支持体の位置決め用孔の関係さえ精度よ
く定めておけば両グリッド構体の組合せの際の位置の規
定は前述の通り棒状軸の使用で自から回転方向も管軸方
向も高精度に目合せできる。したがって全体として高精
度のグリッド目金せをして電子銃を組立てることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例の完成した状態の電子銃構
造を示す要部紋所面図、第2図(a)乃至(h)はこの
発明の実施例の各工程での部品状態を示す要部斜視図、
pJ3図および第4図は同じくその後工程での状態を示
す要部縦断面図、第5図は電子銃構造を示す要部縦断面
斜視図、第6図はその要部断面図、第7図はそのグリッ
ドの要部上面図、第8図(al乃至(j)は従来の製造
方法を示す各工程での部品状態図、第9図はその後工程
での組立て斜視図である。 27・・・コントロールグリッド構体、28・・・シャ
ドウグリッド構体、31・・・凹面状カソード、34・
・・コントロールグリッド電極、37・・・ンヤドウグ
リッド電極、35.38・・・グリッド支持体、51.
58・・・素材金属薄板、53.60・・・グリッドパ
ターン、40・・・グリッドワイヤ、41・・・スリッ
ト、19.20・・・位置決め用孔、30・・・位置規
制用棒状治具。 出願人代理人  弁理士 鈴 江 武 彦第2図 第3図 乙     l!b 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数のグリッド支持体にそれぞれ固定された球面状の複
    数のグリッド電極を、凹面状カソードの前方に各グリッ
    ドワイヤを目合せし且つ所定間隔を保って配置固定する
    マイクロ波管用電子銃の製造方法において、 上記各グリッド電極の素材金属薄板をプレス成形機によ
    り球面状に成形し、且つ各グリッド支持体に固定し、 次に放電加工又はエッチングにより上記各素材金属薄板
    にグリッドパターンに対応する多数のスリットを穿設す
    るとともにこれと同時に上記各グリッド支持体部分の相
    対応する所定位置に各々位置決め用孔を形成し、 次に上記各グリッド電極をカソードの前方に配置すると
    ともに、各グリッド支持体に穿設した上記各位置決め用
    孔に位置規制用棒状治具を挿通して各グリッド電極のグ
    リッドワイヤを目合せし両グリッド電極を固定すること
    を特徴とするマイクロ波管用電子銃の製造方法。
JP4050585A 1985-03-01 1985-03-01 マイクロ波管用電子銃の製造方法 Granted JPS61200643A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002343289A (ja) * 2001-05-16 2002-11-29 Hamamatsu Photonics Kk カソードユニット及び開放型x線発生装置
CN111328176A (zh) * 2018-12-13 2020-06-23 陕西利友百辉科技发展有限公司 悬浮栅阴极结构、电子枪、电子加速器及辐照装置

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JP2002343289A (ja) * 2001-05-16 2002-11-29 Hamamatsu Photonics Kk カソードユニット及び開放型x線発生装置
CN111328176A (zh) * 2018-12-13 2020-06-23 陕西利友百辉科技发展有限公司 悬浮栅阴极结构、电子枪、电子加速器及辐照装置

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