JPS61202467U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61202467U JPS61202467U JP8734085U JP8734085U JPS61202467U JP S61202467 U JPS61202467 U JP S61202467U JP 8734085 U JP8734085 U JP 8734085U JP 8734085 U JP8734085 U JP 8734085U JP S61202467 U JPS61202467 U JP S61202467U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- capillary die
- band
- crystal
- shaped silicon
- slit
- Prior art date
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- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 11
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- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部を示す斜視図
、第２図は本考案製造装置でダイ先端が破損した
場合の成長状態と成長後の帯状シリコン結晶断面
の一例を示す図、第３図は本考案製造装置でダイ
先端破損部を回転し、結晶成長領域から破損部を
はずして良好な結晶成長を行なつている状態と成
長した帯状シリコン結晶断面の一例を示す図、第
４図は従来の帯状シリコン結晶の製造装置の要部
を示す斜視図である。 １１……シリコン融液、１２……石英るつぼ、
１３，１３１，１３２……キヤピラリダイ、１３
０１……スリツト、１４……帯状シリコン結晶、
１５……ダイ破損部で成長した厚さが非常に薄い
部分、１６……ダイ回転軸、１７……ダイ破損部
。
、第２図は本考案製造装置でダイ先端が破損した
場合の成長状態と成長後の帯状シリコン結晶断面
の一例を示す図、第３図は本考案製造装置でダイ
先端破損部を回転し、結晶成長領域から破損部を
はずして良好な結晶成長を行なつている状態と成
長した帯状シリコン結晶断面の一例を示す図、第
４図は従来の帯状シリコン結晶の製造装置の要部
を示す斜視図である。 １１……シリコン融液、１２……石英るつぼ、
１３，１３１，１３２……キヤピラリダイ、１３
０１……スリツト、１４……帯状シリコン結晶、
１５……ダイ破損部で成長した厚さが非常に薄い
部分、１６……ダイ回転軸、１７……ダイ破損部
。
Claims (1)
- シリコン融液を収納したるつぼにスリツトを有
するキヤピラリダイを配置し、前記スリツト中に
上昇したシリコン融液に種結晶を接触させ、この
種結晶を引上げることにより帯状シリコン結晶を
引上げる帯状シリコン結晶の製造装置において、
前記キヤピラリダイ先端に上昇したシリコン融液
面に直交し、引上げられた帯状シリコン結晶面に
平行なキヤピラリダイ面の重心位置で、キヤピラ
リダイ面に直交する軸を中心にキヤピラリダイを
回転させる機構を設けたことを特徴とする帯状シ
リコン結晶の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8734085U JPS61202467U (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8734085U JPS61202467U (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61202467U true JPS61202467U (ja) | 1986-12-19 |
Family
ID=30639466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8734085U Pending JPS61202467U (ja) | 1985-06-10 | 1985-06-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61202467U (ja) |
-
1985
- 1985-06-10 JP JP8734085U patent/JPS61202467U/ja active Pending
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