JPS61209834A - 静圧スライドテ−ブル - Google Patents
静圧スライドテ−ブルInfo
- Publication number
- JPS61209834A JPS61209834A JP5151785A JP5151785A JPS61209834A JP S61209834 A JPS61209834 A JP S61209834A JP 5151785 A JP5151785 A JP 5151785A JP 5151785 A JP5151785 A JP 5151785A JP S61209834 A JPS61209834 A JP S61209834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- static pressure
- longitudinal direction
- reference guide
- joint
- pressure joint
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 title claims abstract description 76
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 claims description 18
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 5
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/38—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members using fluid bearings or fluid cushion supports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/601—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair followed parallelly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧積密送りに通した静圧スライドテーブル、特
にその送り装置に関する。
にその送り装置に関する。
（従来技術〕
この種の静圧スライドテーブルには、ベッドに一体的に
基準ガイドを設け、この基準ガイドにより第１静圧スラ
イド装置を介して長手方向に往復摺動可能にテーブルを
案内支持し、前記ベッドにより長手方向に往復摺動可能
に案内支持され前記テーブルに浮動的に結合された静圧
継手を介して同テーブルを送りねじにより往復駆動する
ものがある。このような技術によれば、静圧スライド装
置によりテーブルの案内支持部の摺動抵抗が少なくて剛
性が向上し、また浮動的に結合された静圧継手を介して
テーブルを往復駆動しているので送りねじの曲りや偏心
や基準ガイドに対する取付誤差等による送り分力以外の
力がテーブルに加わらず、従って送り精度を向上させる
ことができる。
基準ガイドを設け、この基準ガイドにより第１静圧スラ
イド装置を介して長手方向に往復摺動可能にテーブルを
案内支持し、前記ベッドにより長手方向に往復摺動可能
に案内支持され前記テーブルに浮動的に結合された静圧
継手を介して同テーブルを送りねじにより往復駆動する
ものがある。このような技術によれば、静圧スライド装
置によりテーブルの案内支持部の摺動抵抗が少なくて剛
性が向上し、また浮動的に結合された静圧継手を介して
テーブルを往復駆動しているので送りねじの曲りや偏心
や基準ガイドに対する取付誤差等による送り分力以外の
力がテーブルに加わらず、従って送り精度を向上させる
ことができる。
しかして、従来のこの種の静圧スライド装置においては
、例えば特開昭５８−１７７２４４号公報に示す如く、
テーブルを案内支持する基準ガイドとは別に静圧継手を
案内支持する案内レールをベッドに設け、また、静圧継
手をテーブルの長平方向の一例端の近くに設けていた。
、例えば特開昭５８−１７７２４４号公報に示す如く、
テーブルを案内支持する基準ガイドとは別に静圧継手を
案内支持する案内レールをベッドに設け、また、静圧継
手をテーブルの長平方向の一例端の近くに設けていた。
かかる従来技術は、静圧継手のための案内レールを基準
ガイドとは別に設けているので構造が複雑となって製造
コストが増大すると共に案内レールと基準ガイドの間の
相対的誤差により送り精度を低下させるおそれがあり、
また静圧継手をテーブルの一側端近くに設けているので
送り方向によって送り精度が相違するという問題があっ
た。本発明は、テーブルを案内支持する基準ガイドによ
り静圧継手を案内支持すると共に静圧継手をテーブルの
中心に対して対称的に配置してこれらの問題点を解決す
るものである。
ガイドとは別に設けているので構造が複雑となって製造
コストが増大すると共に案内レールと基準ガイドの間の
相対的誤差により送り精度を低下させるおそれがあり、
また静圧継手をテーブルの一側端近くに設けているので
送り方向によって送り精度が相違するという問題があっ
た。本発明は、テーブルを案内支持する基準ガイドによ
り静圧継手を案内支持すると共に静圧継手をテーブルの
中心に対して対称的に配置してこれらの問題点を解決す
るものである。
このために本発明による静圧スライドテーブルは、第１
図〜第４図に示す如く、ベッド１０に一体的に基準ガイ
ド１１を設け、この基準ガイド１１により第１静圧スラ
イド装置２５を介して長手方向に往復摺動可能にテーブ
ル２０を案内支持し、ベッド１０により長手方向に往復
摺動可能に案内支持されテーブル２０に浮動的に結合さ
れた静圧継手３０を介して同テーブル２０を送りねじ４
１により往復駆動してなる静圧スライドテーブルにおい
て、テーブル２０に長手方向と直交し同テーブル２０の
中心に対し対称的に配置された一対の静圧面２４．２４
を備えた切り欠き２３を設けて同テーブル２０内部にお
いて基準ガイド１１を露出せしめると共に第１静圧スラ
イド装置２５を同テーブル２０の少くとも長手方向両端
部に設け、切り欠き２３内に静圧継手３０を位置せしめ
て第２静圧スライド装置３２を介して基準ガイド１１に
より案内支持すると共に同静圧継手３０の長手
。
図〜第４図に示す如く、ベッド１０に一体的に基準ガイ
ド１１を設け、この基準ガイド１１により第１静圧スラ
イド装置２５を介して長手方向に往復摺動可能にテーブ
ル２０を案内支持し、ベッド１０により長手方向に往復
摺動可能に案内支持されテーブル２０に浮動的に結合さ
れた静圧継手３０を介して同テーブル２０を送りねじ４
１により往復駆動してなる静圧スライドテーブルにおい
て、テーブル２０に長手方向と直交し同テーブル２０の
中心に対し対称的に配置された一対の静圧面２４．２４
を備えた切り欠き２３を設けて同テーブル２０内部にお
いて基準ガイド１１を露出せしめると共に第１静圧スラ
イド装置２５を同テーブル２０の少くとも長手方向両端
部に設け、切り欠き２３内に静圧継手３０を位置せしめ
て第２静圧スライド装置３２を介して基準ガイド１１に
より案内支持すると共に同静圧継手３０の長手
。
方向両端面３６．３６と静圧面２４，２４の間に長手方
向の推力のみを伝達する静圧スラスト装置３５．３５を
形成したことを特徴とするものである。
向の推力のみを伝達する静圧スラスト装置３５．３５を
形成したことを特徴とするものである。
テーブル２０及び静圧継手３０は、それぞれ第１及び第
２静圧スライド装置２５．３２を介して共通の基準ガイ
ド１１により案内支持される。そして、切り欠き２３内
に位置して長手方向両端面３６．３６に設けた静圧スラ
スト装置３５．３５を介してテーブル２０に浮動的に結
合された静圧継手３０は、送りねじ４１により往復動し
てテーブル２０を往復駆動する。
２静圧スライド装置２５．３２を介して共通の基準ガイ
ド１１により案内支持される。そして、切り欠き２３内
に位置して長手方向両端面３６．３６に設けた静圧スラ
スト装置３５．３５を介してテーブル２０に浮動的に結
合された静圧継手３０は、送りねじ４１により往復動し
てテーブル２０を往復駆動する。
かかる本発明による静圧スライドテーブルは、テーブル
及び静圧継手の両者が共通の基準ガイドにより案内支持
されているのでこの両者の案内支持構造が簡単となり製
造コストを低下させることができると共に、摺動の際に
この両者の間に相対的誤差が生じないのでこれが原因と
なる送り精度の低下がない。また、テーブルと静圧継手
の間の長手方向推力を伝達する静圧スラスト装置をテー
ブルの中心に対して対称に設けであるので送り方向によ
り送り精度が相違することなく、安定した送り精度が得
られる。
及び静圧継手の両者が共通の基準ガイドにより案内支持
されているのでこの両者の案内支持構造が簡単となり製
造コストを低下させることができると共に、摺動の際に
この両者の間に相対的誤差が生じないのでこれが原因と
なる送り精度の低下がない。また、テーブルと静圧継手
の間の長手方向推力を伝達する静圧スラスト装置をテー
ブルの中心に対して対称に設けであるので送り方向によ
り送り精度が相違することなく、安定した送り精度が得
られる。
以下に、添付図面により実施例の説明をする。
図面に示す如く、細長いベッド１０の上部には、互いに
対向して長手方向に沿って平行に延びる一対の基準ガイ
ド１１．１１を一体に設け、各基準ガイド１１は主とし
て第４図に示す如（、上案内面１２、下案内面１３及び
側室内面１４を有している。基準ガイド１１．１１によ
り長手方向に１１復摺動可能に案内支持されるテーブル
２０は本体２１とその下側にボルト止め等により一体結
合された保持部材２２よりなり、その両側には前記上。
対向して長手方向に沿って平行に延びる一対の基準ガイ
ド１１．１１を一体に設け、各基準ガイド１１は主とし
て第４図に示す如（、上案内面１２、下案内面１３及び
側室内面１４を有している。基準ガイド１１．１１によ
り長手方向に１１復摺動可能に案内支持されるテーブル
２０は本体２１とその下側にボルト止め等により一体結
合された保持部材２２よりなり、その両側には前記上。
下、側の各案内面１２．１３．１４とそれぞれわずかの
隙間を隔てて摺動可能に係合する摺動面２６．２６．２
６が形成されている。第１図及び第２図に示す如（、テ
ーブル２０の中央部には切り欠き２３が設けられ、切り
欠き２３は長手方向と直交し同テーブル２０の中心に対
し長手方向で対称的に配置された一対の互いに対向する
静圧面２４．２４を有している。この切り欠き２３の内
部においては摺動面２６，２６．２６は中断されて基準
ガイド１１．１１は露出されている。切り欠き２３の上
端内には取り外し可能な蓋板２９を設けてテーブル２０
の上面を平坦とする。
隙間を隔てて摺動可能に係合する摺動面２６．２６．２
６が形成されている。第１図及び第２図に示す如（、テ
ーブル２０の中央部には切り欠き２３が設けられ、切り
欠き２３は長手方向と直交し同テーブル２０の中心に対
し長手方向で対称的に配置された一対の互いに対向する
静圧面２４．２４を有している。この切り欠き２３の内
部においては摺動面２６，２６．２６は中断されて基準
ガイド１１．１１は露出されている。切り欠き２３の上
端内には取り外し可能な蓋板２９を設けてテーブル２０
の上面を平坦とする。
第２図に示す如く、テーブル２０の長手方向両端部の各
２箇所には第１静圧スライド装置２５を設ける。各第１
静圧スライド装置２５は、主として第４図に示す如く、
各摺動面２６，２６．２６とそれぞれに設けられた静圧
ポケット２７，２７゜２７よりなる。潤滑油供給装置５
０よりの加圧された潤滑油はフレキシブルホース５１及
び接続具５１ａを介してテーブル２０内に設けられた油
路５２に供給され、更にそれぞれ絞り５５，５５゜５５
を介して各静圧ポケッｌ−２７，２７，２７に供給され
てテーブル２０を基準ガイド１１．１１に対し摺動可能
に静圧支持している。
２箇所には第１静圧スライド装置２５を設ける。各第１
静圧スライド装置２５は、主として第４図に示す如く、
各摺動面２６，２６．２６とそれぞれに設けられた静圧
ポケット２７，２７゜２７よりなる。潤滑油供給装置５
０よりの加圧された潤滑油はフレキシブルホース５１及
び接続具５１ａを介してテーブル２０内に設けられた油
路５２に供給され、更にそれぞれ絞り５５，５５゜５５
を介して各静圧ポケッｌ−２７，２７，２７に供給され
てテーブル２０を基準ガイド１１．１１に対し摺動可能
に静圧支持している。
静圧継手３０は、第１図〜第３図に示す如く、切り火き
２３内に位置し、第２静圧スライド装置３２を介して基
準ガイド１１．１１の前記露出部分に長手方向に摺動可
能に案内支持されている。
２３内に位置し、第２静圧スライド装置３２を介して基
準ガイド１１．１１の前記露出部分に長手方向に摺動可
能に案内支持されている。
主として第３図に示す如く、静圧継手３０の両側には各
基準ガイド１１の上、下、開業内面１２゜１３．１４と
それぞれわずかの隙間を隔てて摺動係合する各摺動面３
３．３３．３３が形成され、この摺動面３３，３３．３
３とそれぞれに設けられた静圧ポケット３４，３４．３
４により第２静圧スライド装置３２は形成されている。
基準ガイド１１の上、下、開業内面１２゜１３．１４と
それぞれわずかの隙間を隔てて摺動係合する各摺動面３
３．３３．３３が形成され、この摺動面３３，３３．３
３とそれぞれに設けられた静圧ポケット３４，３４．３
４により第２静圧スライド装置３２は形成されている。
潤滑油供給装置５０からの加圧された潤滑油は油路５２
からフレキシブルホース５３及び接続具５３ａ、５３ｂ
を経て静圧継手３０内の油路５４に供給され、更にそれ
ぞれ絞り５６，５６．５６を介して各静圧ポケッ）３４
，３４．３４に供給されて静圧継手７０を基準ガイド１
１．１１に対して摺動可能に静圧支持している。
からフレキシブルホース５３及び接続具５３ａ、５３ｂ
を経て静圧継手３０内の油路５４に供給され、更にそれ
ぞれ絞り５６，５６．５６を介して各静圧ポケッ）３４
，３４．３４に供給されて静圧継手７０を基準ガイド１
１．１１に対して摺動可能に静圧支持している。
第１図及び第２図に示す如（、静圧継手３０の長手方向
両端面３６．３６は、それぞれわずかの隙間を隔てて、
切り欠き２３に設けられた一対の静圧面２４．２４と対
向せしめると共にその面方向の相対移動は自由とし、両
端面３６．３６と静圧面２４，２４の間にはそれぞれ長
手方向の推力のみを伝達する静圧スラスト装置３５．３
５を設ける。各静圧スラスト装置３５は静圧継手３０の
端面３６とこれに設けられた静圧ポケット３７よりなり
、この静圧ポケット３７には油路５４内の加圧された潤
滑油が絞り５７を介して供給されている。これにより、
静圧スラスト装置３５．３５はテーブル２０の中心に対
し長手方向で対称的に設けられ、静圧継手３０はテーブ
ル２０に浮動的に結合される。
両端面３６．３６は、それぞれわずかの隙間を隔てて、
切り欠き２３に設けられた一対の静圧面２４．２４と対
向せしめると共にその面方向の相対移動は自由とし、両
端面３６．３６と静圧面２４，２４の間にはそれぞれ長
手方向の推力のみを伝達する静圧スラスト装置３５．３
５を設ける。各静圧スラスト装置３５は静圧継手３０の
端面３６とこれに設けられた静圧ポケット３７よりなり
、この静圧ポケット３７には油路５４内の加圧された潤
滑油が絞り５７を介して供給されている。これにより、
静圧スラスト装置３５．３５はテーブル２０の中心に対
し長手方向で対称的に設けられ、静圧継手３０はテーブ
ル２０に浮動的に結合される。
第１図に示す如く、ベッド１０には基準ガイド１１と平
行に延びる送りねじ４１が軸受４３により軸支され、こ
の送りねじ４１は静圧継手３０に固定されたナツト４２
と螺合している。ベッド１０と共通のベース４０に支持
されたブラケット４４には、フレキシブルカップリング
４６を介して送りねじ４１を回転駆動するサーボモータ
４５が設けられている。
行に延びる送りねじ４１が軸受４３により軸支され、こ
の送りねじ４１は静圧継手３０に固定されたナツト４２
と螺合している。ベッド１０と共通のベース４０に支持
されたブラケット４４には、フレキシブルカップリング
４６を介して送りねじ４１を回転駆動するサーボモータ
４５が設けられている。
サーボモータ４５が作動すれば、送りねし４１が回転駆
動され、基準ガイド４１に静圧支持された静圧継手３０
はナツト４２を介して往復駆動され、同じく基準ガイド
４１に静圧支持されたテーブル２０は静圧スラスト装置
３５．３５を介して静圧継手３０により往復駆動される
。しかして、静圧スラスト装置３５．３５は静圧継手３
０の長手方向の推力のみを伝達するようにテーブル２０
に浮動的に結合され、これと直角方向の力は伝達しない
ので、送りねじ４１の曲りや偏心や基準ガイド１１に対
する取付誤差あるいはす、ト４２の取付誤差等により静
圧継手３０に加わる送り方向以外の不規則な力はテーブ
ル２０には作用せず、またテーブル２０と静圧継手３０
の両者は共通の基準ガイド１１により案内支持されてい
るので摺動の際に此等両者２０．３０の間に相対的に位
置の誤差が生じることなく、従って送り精度は大幅に向
上する。また、テーブル２０と静圧継手３０の間の静圧
スラスト装置３５．３５はテーブル２０の中心に対して
対称に設けであるので往復両送り方向において同一の送
り精度が得られる。なお、静圧継手３０は第２静圧スラ
スト装置３２により送り方向以外の動きを精度よく拘束
しているので、送りねじ４１を軸支する軸受４３はサー
ボモータ４５例のみで足り、反対側にも軸受（図示せず
）を設ける必要は必ずしもない。
動され、基準ガイド４１に静圧支持された静圧継手３０
はナツト４２を介して往復駆動され、同じく基準ガイド
４１に静圧支持されたテーブル２０は静圧スラスト装置
３５．３５を介して静圧継手３０により往復駆動される
。しかして、静圧スラスト装置３５．３５は静圧継手３
０の長手方向の推力のみを伝達するようにテーブル２０
に浮動的に結合され、これと直角方向の力は伝達しない
ので、送りねじ４１の曲りや偏心や基準ガイド１１に対
する取付誤差あるいはす、ト４２の取付誤差等により静
圧継手３０に加わる送り方向以外の不規則な力はテーブ
ル２０には作用せず、またテーブル２０と静圧継手３０
の両者は共通の基準ガイド１１により案内支持されてい
るので摺動の際に此等両者２０．３０の間に相対的に位
置の誤差が生じることなく、従って送り精度は大幅に向
上する。また、テーブル２０と静圧継手３０の間の静圧
スラスト装置３５．３５はテーブル２０の中心に対して
対称に設けであるので往復両送り方向において同一の送
り精度が得られる。なお、静圧継手３０は第２静圧スラ
スト装置３２により送り方向以外の動きを精度よく拘束
しているので、送りねじ４１を軸支する軸受４３はサー
ボモータ４５例のみで足り、反対側にも軸受（図示せず
）を設ける必要は必ずしもない。
図面は本発明による静圧スライドテーブルの一実施例を
示し、第１図は長手方向に沿った縦断面図、第２図は蓋
板を除いた平面図、第３図は第１図の■−■断面図、第
４図は第１図のＩＶ−ＩＶ断面図である。 符号の説明 １０・ ・ ・ベッド、１１・ ・ ・基準ガイド、２
０・・・テーブル、２３・・・切り欠き、２４・・・静
圧面、２５・・・第１静圧スライド装置、３０・・・静
圧継手、３２・・・第２静圧スライド装置、３５・・・
静圧スラスト装置、３６・・・端面、４１・・・送りね
じ。 第３１Ａ Ｊｌｃ４ 図
示し、第１図は長手方向に沿った縦断面図、第２図は蓋
板を除いた平面図、第３図は第１図の■−■断面図、第
４図は第１図のＩＶ−ＩＶ断面図である。 符号の説明 １０・ ・ ・ベッド、１１・ ・ ・基準ガイド、２
０・・・テーブル、２３・・・切り欠き、２４・・・静
圧面、２５・・・第１静圧スライド装置、３０・・・静
圧継手、３２・・・第２静圧スライド装置、３５・・・
静圧スラスト装置、３６・・・端面、４１・・・送りね
じ。 第３１Ａ Ｊｌｃ４ 図
Claims (1)
- ベッドに一体的に基準ガイドを設け、この基準ガイドに
より第１静圧スライド装置を介して長手方向に往復摺動
可能にテーブルを案内支持し、前記ベッドにより長手方
向に往復摺動可能に案内支持され前記テーブルに浮動的
に結合された静圧継手を介して同テーブルを送りねじに
より往復駆動してなる静圧スライドテーブルにおいて、
前記テーブルに長手方向と直交し同テーブルの中心に対
し対称的に配置された一対の静圧面を備えた切り欠きを
設けて同テーブル内部において前記基準ガイドを露出せ
しめると共に前記第１静圧スライド装置を同テーブルの
少くとも長手方向両端部に設け、前記切り欠き内に前記
静圧継手を位置せしめて第２静圧スライド装置を介して
前記基準ガイドにより案内支持すると共に同静圧継手の
長手方向両端面と前記静圧面の間に前記長手方向の推力
のみを伝達する静圧スラスト装置を形成したことを特徴
とする静圧スライドテーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5151785A JPS61209834A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 静圧スライドテ−ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5151785A JPS61209834A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 静圧スライドテ−ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61209834A true JPS61209834A (ja) | 1986-09-18 |
| JPH0555264B2 JPH0555264B2 (ja) | 1993-08-16 |
Family
ID=12889199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5151785A Granted JPS61209834A (ja) | 1985-03-14 | 1985-03-14 | 静圧スライドテ−ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61209834A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63110413U (ja) * | 1987-01-05 | 1988-07-15 | ||
| JPH01135960A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-29 | Toyoda Mach Works Ltd | テーブル駆動装置 |
| US4865465A (en) * | 1987-08-20 | 1989-09-12 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Hydrostatically supporting device for slide |
| CN106181529A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-07 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 传动装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6165736A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-04 | Citizen Watch Co Ltd | テ−ブル機構 |
-
1985
- 1985-03-14 JP JP5151785A patent/JPS61209834A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6165736A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-04 | Citizen Watch Co Ltd | テ−ブル機構 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63110413U (ja) * | 1987-01-05 | 1988-07-15 | ||
| US4865465A (en) * | 1987-08-20 | 1989-09-12 | Toyoda Koki Kabushiki Kaisha | Hydrostatically supporting device for slide |
| JPH01135960A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-29 | Toyoda Mach Works Ltd | テーブル駆動装置 |
| CN106181529A (zh) * | 2016-08-31 | 2016-12-07 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 传动装置 |
| CN106181529B (zh) * | 2016-08-31 | 2018-06-26 | 北京海普瑞森科技发展有限公司 | 传动装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555264B2 (ja) | 1993-08-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4615515A (en) | Precise movement device | |
| JPS645976B2 (ja) | ||
| CN105531505B (zh) | 浮动螺母和滑架组件 | |
| WO2025001964A1 (zh) | 一种直线导向模组和可用于机床进给轴的直线电机模组 | |
| KR100395631B1 (ko) | 가이드기구 | |
| JPS61209834A (ja) | 静圧スライドテ−ブル | |
| EP0562362A1 (en) | Drive apparatus and drive XY apparatus on which it is equipped | |
| JPS63235755A (ja) | 直線方向位置調整装置 | |
| JPH0555265B2 (ja) | ||
| JP2727368B2 (ja) | Ｘｙテーブル | |
| JP2566744Y2 (ja) | 自走式リニアガイド装置 | |
| US6504648B2 (en) | Compensation mechanism for component and assembly deviation in a component precision positioning stage | |
| CN116494216B (zh) | 一种y轴和z轴精确运行的运动模组 | |
| CN111571252A (zh) | 一种双偏心曲轴车削夹具 | |
| JP2586451Y2 (ja) | 流体圧アクチュエータ | |
| CN121017625B (zh) | 一种用于金属阀门配件加工的切削装置 | |
| CN222523482U (zh) | 一种变位组件及龙门搬运机构 | |
| JPH022506B2 (ja) | ||
| KR101738437B1 (ko) | 벨트 구동 선형 액추에이터 | |
| JPH0317054Y2 (ja) | ||
| JP2516015Y2 (ja) | 金属ベルトを用いた記録装置の摺動機構 | |
| JPS61230835A (ja) | 工作機械の送り装置 | |
| JPH06185594A (ja) | 被駆動部材を駆動部材に接続する空気カップリング | |
| JP3461968B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
| JPS6029385Y2 (ja) | Ｘｙ移動テ−ブル |