JPS61216211A - 真空バルブ - Google Patents
真空バルブInfo
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- JPS61216211A JPS61216211A JP5597585A JP5597585A JPS61216211A JP S61216211 A JPS61216211 A JP S61216211A JP 5597585 A JP5597585 A JP 5597585A JP 5597585 A JP5597585 A JP 5597585A JP S61216211 A JPS61216211 A JP S61216211A
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- JP
- Japan
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- current
- electrode
- arc
- electrodes
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- High-Tension Arc-Extinguishing Switches Without Spraying Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の技術分野]
本発明は、真空バルブに係り、特に低サージで大電流連
断が可能な電極の構造に関するものである。
断が可能な電極の構造に関するものである。
[発明の技術的背景とその問題々、]
周知のように、縦磁界を利用した真空迩断器は、真空中
におけるアーク拡散性を有効に利用して電流遮断を行わ
せるものである。この主要部をなす真壁バルブは、略同
筒状に形成された絶縁容器の両端を7ランジで閉止して
真空容器を形成し、この内部に接離自在とした固定′電
極と可動電極が配設されている。両電極は略同様の構成
であるから、可動電極を例にとって構成を説明する。第
5図において、主電極1は相手領主tiと対向する接触
子2と、これを保持するiar、極3がらなり、磁界を
形成してアークの集中を防き′、優れた遮断性能を発揮
させるため、主電極1上(二半径方向に伸びるスリット
4が形成されている。コイル111m5は、縦方向の磁
界を形成させるため通電軸6の細心と直交する平面で円
周方向に延びた構成となっている。
におけるアーク拡散性を有効に利用して電流遮断を行わ
せるものである。この主要部をなす真壁バルブは、略同
筒状に形成された絶縁容器の両端を7ランジで閉止して
真空容器を形成し、この内部に接離自在とした固定′電
極と可動電極が配設されている。両電極は略同様の構成
であるから、可動電極を例にとって構成を説明する。第
5図において、主電極1は相手領主tiと対向する接触
子2と、これを保持するiar、極3がらなり、磁界を
形成してアークの集中を防き′、優れた遮断性能を発揮
させるため、主電極1上(二半径方向に伸びるスリット
4が形成されている。コイル111m5は、縦方向の磁
界を形成させるため通電軸6の細心と直交する平面で円
周方向に延びた構成となっている。
ところで、近年、低サージ性を有しかつ大電流遮断可能
な真空バルブの要求が高まってきたが、低サージ性を確
保するために接触子材料(−低融点材料または高融点材
料等のアーク維持電流が低い材料を含む合金を用いると
、裁断レベルの低下、高周波遮断性能の1次下というよ
うなサージを低く抑える特性を示すが、同時に大電流遮
断能力も低下してしまう場合が多い。このため、大電流
遮断に有効な縦磁界を形成させるコイル電極と組合わせ
た場合においても、自ら電流遮断能力に限界が生じてい
た。
な真空バルブの要求が高まってきたが、低サージ性を確
保するために接触子材料(−低融点材料または高融点材
料等のアーク維持電流が低い材料を含む合金を用いると
、裁断レベルの低下、高周波遮断性能の1次下というよ
うなサージを低く抑える特性を示すが、同時に大電流遮
断能力も低下してしまう場合が多い。このため、大電流
遮断に有効な縦磁界を形成させるコイル電極と組合わせ
た場合においても、自ら電流遮断能力に限界が生じてい
た。
これ(一対して、電極を、低サージ性1ユ優れた材料か
ら成る負荷電流−閉型、極と、電流琳断(ユ適した材料
から成る電流遮断電極に分け、小電流の開閉は負荷電流
開閉電極で行い、犬′…:流遮断は電流遮断電極で行う
2領域構造の電極が検討されている。しかし、同図に示
す縦磁界1!極構成においては、アークを安定化する縦
磁界は電極中央部で最も強いから、低サージ材料を電極
中央Sに配置しその周囲に電流遮断領域を設は私と、ア
ークは、低サージ材料間のアーク電圧が低いので低サー
ジ材料に集中し、電流遮断領域には殆ど点弧しないとい
う不具合がある。逆1−1低サージ材料を磁界の弱い周
囲に配置する方法も考えられるが、低サージ材料間のア
ーク維持電圧が電流遮断領域間のアーク維持電圧より低
いため、アークは低サージ材料間に主に漬弧し、アーク
を電流遮断領域のみで消滅拡散させることは困難であっ
た。
ら成る負荷電流−閉型、極と、電流琳断(ユ適した材料
から成る電流遮断電極に分け、小電流の開閉は負荷電流
開閉電極で行い、犬′…:流遮断は電流遮断電極で行う
2領域構造の電極が検討されている。しかし、同図に示
す縦磁界1!極構成においては、アークを安定化する縦
磁界は電極中央部で最も強いから、低サージ材料を電極
中央Sに配置しその周囲に電流遮断領域を設は私と、ア
ークは、低サージ材料間のアーク電圧が低いので低サー
ジ材料に集中し、電流遮断領域には殆ど点弧しないとい
う不具合がある。逆1−1低サージ材料を磁界の弱い周
囲に配置する方法も考えられるが、低サージ材料間のア
ーク維持電圧が電流遮断領域間のアーク維持電圧より低
いため、アークは低サージ材料間に主に漬弧し、アーク
を電流遮断領域のみで消滅拡散させることは困難であっ
た。
又、負荷電流は、コイル1!極を経由して負荷電流開閉
電極に流れるため、電流路抵抗が大きく発生熱量も大き
くなるので大電流通電が困難シーなるという不具合も生
じる。
電極に流れるため、電流路抵抗が大きく発生熱量も大き
くなるので大電流通電が困難シーなるという不具合も生
じる。
[発明の目的コ
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたもので、低サ
ージでかつ大電流遮断性能が優れ、大電流通電が可能な
真空バルブを提供することを目的とするものである。
ージでかつ大電流遮断性能が優れ、大電流通電が可能な
真空バルブを提供することを目的とするものである。
[発明の概要]
本発明は、真空容器と、この真空容器の内部(ユ接離自
在に配設した一対の電極と、この一対の電極の各裏面に
設けられ、電流遮断時に電極間に発生するアークに対し
略平行な磁界を発生するコイル電極を備えた真空バルブ
C−おいて、各電極を、低サージ性の材料で形成した第
1の遮断部の内側に耐電圧性を有する材料で形成した第
2の遮断部を設けて構成すると共に、磁界がこの第2の
遮断部C−作用するようにコイル電極を形成し、9荷電
流のような小電流は第1の遮断部で遮断し、大電流は縦
磁界によりアークを纂2の遮断部C二点弧させて遮断す
るようにしたものである。
在に配設した一対の電極と、この一対の電極の各裏面に
設けられ、電流遮断時に電極間に発生するアークに対し
略平行な磁界を発生するコイル電極を備えた真空バルブ
C−おいて、各電極を、低サージ性の材料で形成した第
1の遮断部の内側に耐電圧性を有する材料で形成した第
2の遮断部を設けて構成すると共に、磁界がこの第2の
遮断部C−作用するようにコイル電極を形成し、9荷電
流のような小電流は第1の遮断部で遮断し、大電流は縦
磁界によりアークを纂2の遮断部C二点弧させて遮断す
るようにしたものである。
「発明の実施例」
以下、本発明の真空バルブの一実施例を図面を門照して
説明する。@1図において、真空容器l]は絶縁円筒1
2の両端をフランジ13.14で閉止されて形成され、
この内部に接離自在とした同定電極15と可動電極16
が配設されている。ここで、固定電極15は、通電軸1
7の端部がフランジ13を気密(二貫通して同着されて
おり、可動電極16は、通電軸18がフランジ141ニ
ベローズ19を介して気密でかつ軸方向の移動を自在に
設けられている。又、電流雛断の際1ユ金属蒸気が絶縁
円筒12の内側面に付着して、真空バルブの耐圧低下を
防止するため電極部を囲むようにシールド19が設けら
れている。
説明する。@1図において、真空容器l]は絶縁円筒1
2の両端をフランジ13.14で閉止されて形成され、
この内部に接離自在とした同定電極15と可動電極16
が配設されている。ここで、固定電極15は、通電軸1
7の端部がフランジ13を気密(二貫通して同着されて
おり、可動電極16は、通電軸18がフランジ141ニ
ベローズ19を介して気密でかつ軸方向の移動を自在に
設けられている。又、電流雛断の際1ユ金属蒸気が絶縁
円筒12の内側面に付着して、真空バルブの耐圧低下を
防止するため電極部を囲むようにシールド19が設けら
れている。
次i−1上記した固定電極15及び可動電極16は、略
同様の構成であるから可動電極16(二ついて説明する
。この可動電極16の従来と異なる点は、電極を、低サ
ージ性の材料から形成された負荷電流開閉電極と、耐電
圧性の材料から形成された電流遮断電極に分割し、負荷
電流開閉電極を通電腕で通電軸C二接続した構造とした
ことである。即ち、第2図において、負荷電流開閉電極
20はAg合金または旧合金のような低サージ材料で環
状に形成され、適宜箇所に下方に伸びる突出部20aを
設ける。通電軸181−はこの突出部20mに対応して
通電腕21が設けられており、突出部20aとこの通電
腕21を接合する。又、環状とした負荷電流開閉電極2
0の内側には、Cu合金のような耐電圧性の材料で円板
状に形成しかつ表面高さを適宜低くした電流遮断電極2
2を設ける。この電流遮断電極22は、裏面側に段部な
有する突出部22aが設けられ、この段部22aで従来
と略同様の構造としたコイル電極部の基部(通電軸18
側)23aに接合する。さら(ユ、この電流遮断電極2
2の裏面側には、高抵抗材料で円板状に形成した補強板
Uが設けられる。この補強板24は、コイル電、極23
と電流遮断電極22、負荷電1流開閉電極20とコイル
甫1檜23のそJlそれの中間C二挿入され、■流遮断
市極22の補強をf−ると共に2、負荷電流開閉′紙積
20からコイル電極23へ流、ねる′由;流を抑制する
。六だし、上記した負荷電流開閉電極20の突出部20
aの部分には、Cの突出部20aか百通する穴が設けら
れている。通電軸]8の上端部には、簡抵抗材料で形成
したスペーサ25が設けられている。このスペーサ2b
は、通VL軛21の基部2]aとコイル電極23の基部
23Bにそねそれ設けた開口部に挿入される円筒状の基
部25aと、との基部25aの中間位置に設けられた円
板状のフランジ部25bから形成されており、通電腕2
1とコイル電極23.1′。
同様の構成であるから可動電極16(二ついて説明する
。この可動電極16の従来と異なる点は、電極を、低サ
ージ性の材料から形成された負荷電流開閉電極と、耐電
圧性の材料から形成された電流遮断電極に分割し、負荷
電流開閉電極を通電腕で通電軸C二接続した構造とした
ことである。即ち、第2図において、負荷電流開閉電極
20はAg合金または旧合金のような低サージ材料で環
状に形成され、適宜箇所に下方に伸びる突出部20aを
設ける。通電軸181−はこの突出部20mに対応して
通電腕21が設けられており、突出部20aとこの通電
腕21を接合する。又、環状とした負荷電流開閉電極2
0の内側には、Cu合金のような耐電圧性の材料で円板
状に形成しかつ表面高さを適宜低くした電流遮断電極2
2を設ける。この電流遮断電極22は、裏面側に段部な
有する突出部22aが設けられ、この段部22aで従来
と略同様の構造としたコイル電極部の基部(通電軸18
側)23aに接合する。さら(ユ、この電流遮断電極2
2の裏面側には、高抵抗材料で円板状に形成した補強板
Uが設けられる。この補強板24は、コイル電、極23
と電流遮断電極22、負荷電1流開閉電極20とコイル
甫1檜23のそJlそれの中間C二挿入され、■流遮断
市極22の補強をf−ると共に2、負荷電流開閉′紙積
20からコイル電極23へ流、ねる′由;流を抑制する
。六だし、上記した負荷電流開閉電極20の突出部20
aの部分には、Cの突出部20aか百通する穴が設けら
れている。通電軸]8の上端部には、簡抵抗材料で形成
したスペーサ25が設けられている。このスペーサ2b
は、通VL軛21の基部2]aとコイル電極23の基部
23Bにそねそれ設けた開口部に挿入される円筒状の基
部25aと、との基部25aの中間位置に設けられた円
板状のフランジ部25bから形成されており、通電腕2
1とコイル電極23.1′。
流辿Wr電極22と通電軸I8のそれぞれの間を流れる
電流を抑制する。なお、スペーサ25の基部25aとフ
ランジ部25bは、一体構造でなくてもよい。
電流を抑制する。なお、スペーサ25の基部25aとフ
ランジ部25bは、一体構造でなくてもよい。
次に、上記構成の作用を酸1明する。1ず、狛衝電流の
ような小電流の開閉時には、′電流は負・靭電流開閉電
極20から突出部20aをブrして辿′II′腕211
−流れ、この通電腕21から通電軸■8へ流れる。この
場合、コイル電極23と負荷電流開閉電極20の表面よ
り低い表面の電流通断電極22には、電流は流れない。
ような小電流の開閉時には、′電流は負・靭電流開閉電
極20から突出部20aをブrして辿′II′腕211
−流れ、この通電腕21から通電軸■8へ流れる。この
場合、コイル電極23と負荷電流開閉電極20の表面よ
り低い表面の電流通断電極22には、電流は流れない。
しかしながら、電流が増大してくると、負荷電流開閉電
極20間のアークが不安定になり、急速に荷電粒子が拡
散し、電流遮断電極4η22にもアークが臓弧するよう
C二なる。このときの電流路は、電流遮断電極22→コ
イル電極23→通電腕21→通電軸18となり、コイル
電極23では1周未満の円弧部を流れる。これ(二より
、固定電極15及び可kll電極16間に縦磁界が発生
するので、荷電粒子はこの磁界(ユ捕促され、さらに電
流遮断電極22間のアーク電流が増大してくる。この電
1流がさらに増大すると、負荷電流開閉電極20間のア
ーク維持電圧よりも電流遮断電極22間のアーク維持電
圧の方が高くなるので、アークは電流遮断電極22間(
ユ集中するよう(−なる。一般に、低サージ材料間心二
点弧したアークの維持電圧は、電流連断C−適した材料
間のアーク維持電圧よりも低く、アークは低サージ材料
間に停留する場合が多いが、上記した実施例の電極構成
(二おいては、縦磁界を電流遮断電極22間にのみ有効
に作用させることにより、大電流遮断時のアークを葡;
流迦断′電極22間に集中させることができる。
極20間のアークが不安定になり、急速に荷電粒子が拡
散し、電流遮断電極4η22にもアークが臓弧するよう
C二なる。このときの電流路は、電流遮断電極22→コ
イル電極23→通電腕21→通電軸18となり、コイル
電極23では1周未満の円弧部を流れる。これ(二より
、固定電極15及び可kll電極16間に縦磁界が発生
するので、荷電粒子はこの磁界(ユ捕促され、さらに電
流遮断電極22間のアーク電流が増大してくる。この電
1流がさらに増大すると、負荷電流開閉電極20間のア
ーク維持電圧よりも電流遮断電極22間のアーク維持電
圧の方が高くなるので、アークは電流遮断電極22間(
ユ集中するよう(−なる。一般に、低サージ材料間心二
点弧したアークの維持電圧は、電流連断C−適した材料
間のアーク維持電圧よりも低く、アークは低サージ材料
間に停留する場合が多いが、上記した実施例の電極構成
(二おいては、縦磁界を電流遮断電極22間にのみ有効
に作用させることにより、大電流遮断時のアークを葡;
流迦断′電極22間に集中させることができる。
一方、負荷電流開閉電極20と通′Φ′軸18は、コイ
ル’[f* 23を電流が流れl「いように煎實腕21
をブt−L。
ル’[f* 23を電流が流れl「いように煎實腕21
をブt−L。
て接続されているから、常時の大賢1流通電の除熱の発
生が少なくなる。
生が少なくなる。
なお、本93明は上記した実施例に限定されるものでは
なく、第3図に示すように電流迩er′醒極(二負侑電
流開閉極を設け、コイル電極を甫1#L辿断電極の外径
より小さくするよう(ユしてもよい。即ち、同図に示す
ように通電軸17から流れる′電流を、同定電極25の
コイル電&261″−導き、コイル分割数l二応じた円
周距離を流れた後電流辿断寛惚27に得き、さらに負荷
電流開閉電極28から可動電極29の負荷電流開閉電極
30、蜜1流辿断%極31及びコイル市、極32を介し
て通電軸18へ流れるように構成する。ここで、負荷電
流開閉電極28及び31Jは低サージ材料で形成されて
いる。電流越断時には負荷電流開閉電極28及び30間
(−アーク柱が発生する。このアーク柱(ユは、電極中
を流れる電流が発生する磁界との相互作用C二より、半
径方向外向きの力が作用する。この力はアーク電流値(
ユ比例して増大していくので、アーク柱は不安定になり
、負荷電流開閉電極面積と材料によって決捷るある電流
値以上ではアーク電圧が急上昇する。しかして、アーク
電流がさらに増大した場合シーは、負荷電流開閉電極2
8及び30の溶融が始まる。しかしながら、アーク電流
値が増大すると、これ1ユよって形成される縦磁界33
もその強度が増大してくるので、アーク柱 □より
拡散してくる荷電粒子は縦磁界に捕促され、アーク柱が
電流遮断電極27及び311ffi l−形成されるよ
うになる。電流遮断電極27及び31間(二おけるアー
ク電圧は、縦磁界強度、磁界分布、電極材料等及びアー
ク電流恒等によって決まり、又、負荷電流開閉′vt極
28及び30間のアーク電圧は、接触子材料とアーク電
流値で決まるが、アーク電流がある値以上ではアーク柱
が不安定(二なり、さらに横方向磁界との相互作用によ
り半径方向の外側(二向う力を付加されるので、極めて
大きい値となる。−般(ユ、低サージ材料間に点弧した
アーク電圧は低いため、アークはこの材料間に停留する
場合が多いが、この実施例の構成(−おいては、上記し
たように負荷電流開閉電極28及び30間のアーク電圧
は、電流遮断電極27及び31間のアーク電圧より高く
、アークは電流遮断電極27及び31間にのみ点弧する
ようになる。
なく、第3図に示すように電流迩er′醒極(二負侑電
流開閉極を設け、コイル電極を甫1#L辿断電極の外径
より小さくするよう(ユしてもよい。即ち、同図に示す
ように通電軸17から流れる′電流を、同定電極25の
コイル電&261″−導き、コイル分割数l二応じた円
周距離を流れた後電流辿断寛惚27に得き、さらに負荷
電流開閉電極28から可動電極29の負荷電流開閉電極
30、蜜1流辿断%極31及びコイル市、極32を介し
て通電軸18へ流れるように構成する。ここで、負荷電
流開閉電極28及び31Jは低サージ材料で形成されて
いる。電流越断時には負荷電流開閉電極28及び30間
(−アーク柱が発生する。このアーク柱(ユは、電極中
を流れる電流が発生する磁界との相互作用C二より、半
径方向外向きの力が作用する。この力はアーク電流値(
ユ比例して増大していくので、アーク柱は不安定になり
、負荷電流開閉電極面積と材料によって決捷るある電流
値以上ではアーク電圧が急上昇する。しかして、アーク
電流がさらに増大した場合シーは、負荷電流開閉電極2
8及び30の溶融が始まる。しかしながら、アーク電流
値が増大すると、これ1ユよって形成される縦磁界33
もその強度が増大してくるので、アーク柱 □より
拡散してくる荷電粒子は縦磁界に捕促され、アーク柱が
電流遮断電極27及び311ffi l−形成されるよ
うになる。電流遮断電極27及び31間(二おけるアー
ク電圧は、縦磁界強度、磁界分布、電極材料等及びアー
ク電流恒等によって決まり、又、負荷電流開閉′vt極
28及び30間のアーク電圧は、接触子材料とアーク電
流値で決まるが、アーク電流がある値以上ではアーク柱
が不安定(二なり、さらに横方向磁界との相互作用によ
り半径方向の外側(二向う力を付加されるので、極めて
大きい値となる。−般(ユ、低サージ材料間に点弧した
アーク電圧は低いため、アークはこの材料間に停留する
場合が多いが、この実施例の構成(−おいては、上記し
たように負荷電流開閉電極28及び30間のアーク電圧
は、電流遮断電極27及び31間のアーク電圧より高く
、アークは電流遮断電極27及び31間にのみ点弧する
ようになる。
又、第4図に示す実施例は、コイル電極と電流遮断!極
を電極中心部で電気的に接続するようC二したものであ
る。即ち、同図に示すように通電軸17から流れる電流
を、固定電極35の通電腕36からコイル電極37の円
弧部C電流した後中央部に導き、さら1:電流遮断電極
38から負荷電流開閉i&、極39(−導き、この後可
動電極40の負荷電流開閉電極41から電流遮断電極4
2の中央部(ユ導さ、コイル電極43から通電腕44を
介して通電軸18へ流れるようC−構成する。ここで、
負荷電流開閉電極39及び41は、低サージ材料で構成
される。この実施例も第3図と同じ作用をするが、特C
二電流遮断電極38及び42を流れる電流路A−B、C
−Dが長いので、横方向磁界を有効に発生させることが
できると共に、コイル電流を電極中央(−集めてから電
流遮断t′JfMC二流れるようにするため、分割方式
のコイル電極を用いても均一な縦方向磁界を発生するこ
とができる利点がある。
を電極中心部で電気的に接続するようC二したものであ
る。即ち、同図に示すように通電軸17から流れる電流
を、固定電極35の通電腕36からコイル電極37の円
弧部C電流した後中央部に導き、さら1:電流遮断電極
38から負荷電流開閉i&、極39(−導き、この後可
動電極40の負荷電流開閉電極41から電流遮断電極4
2の中央部(ユ導さ、コイル電極43から通電腕44を
介して通電軸18へ流れるようC−構成する。ここで、
負荷電流開閉電極39及び41は、低サージ材料で構成
される。この実施例も第3図と同じ作用をするが、特C
二電流遮断電極38及び42を流れる電流路A−B、C
−Dが長いので、横方向磁界を有効に発生させることが
できると共に、コイル電流を電極中央(−集めてから電
流遮断t′JfMC二流れるようにするため、分割方式
のコイル電極を用いても均一な縦方向磁界を発生するこ
とができる利点がある。
[発明の効果]
本発明は、以上のようI:構成されているから、低サー
ジでかつ大電流遮断性能が優れ、大電流通電を可能とす
る真空バルブを提供することができる。
ジでかつ大電流遮断性能が優れ、大電流通電を可能とす
る真空バルブを提供することができる。
第1図は本発明の真空バルブの一実施例を示す断面図、
第2図は本発゛明の一実施例の要部を示す断面図、第3
図をま本発明の他の実施例の要部を示す断面図、第4図
は本発明のさらC:異なる他の実施例の要部を示す断面
図、第5図は従来の真空バルブの電極構成を示す斜視図
である。 11・・・真空容器 15,25.35・・・固定
電極16.29.40・・・可動電極 17.18・・
・通電軸20、28.30.39.41・・・負荷電流
開閉電極22、27.31 、38.42・・・電流遮
断電極23、26.32.37.43・・・コイル電極
代理人 弁理士 猪 股 祥 晃(ほか1名)第1図 第 21!! 第 3 図 /S 第 4 図 第 5 図 n
第2図は本発゛明の一実施例の要部を示す断面図、第3
図をま本発明の他の実施例の要部を示す断面図、第4図
は本発明のさらC:異なる他の実施例の要部を示す断面
図、第5図は従来の真空バルブの電極構成を示す斜視図
である。 11・・・真空容器 15,25.35・・・固定
電極16.29.40・・・可動電極 17.18・・
・通電軸20、28.30.39.41・・・負荷電流
開閉電極22、27.31 、38.42・・・電流遮
断電極23、26.32.37.43・・・コイル電極
代理人 弁理士 猪 股 祥 晃(ほか1名)第1図 第 21!! 第 3 図 /S 第 4 図 第 5 図 n
Claims (1)
- 真空容器と、この真空容器の内部に接離自在に配設した
一対の電極と、この一対の電極の各裏面側に設けられ、
電流遮断時に前記電極間に発生するアークに対し略平行
な磁界を発生するコイル電極を備えた真空バルブにおい
て、前記各電極を、低サージ性の材料で形成した第1の
遮断部の内側に耐電圧性の材料で形成した第2の遮断部
を設けて構成すると共に、前記磁界がこの第2の遮断部
に作用するように前記コイル電極を形成したことを特徴
とする真空バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5597585A JPS61216211A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 真空バルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5597585A JPS61216211A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 真空バルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61216211A true JPS61216211A (ja) | 1986-09-25 |
Family
ID=13014074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5597585A Pending JPS61216211A (ja) | 1985-03-22 | 1985-03-22 | 真空バルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61216211A (ja) |
-
1985
- 1985-03-22 JP JP5597585A patent/JPS61216211A/ja active Pending
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