JPS61218908A - 光電式物体検知装置 - Google Patents
光電式物体検知装置Info
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- JPS61218908A JPS61218908A JP6000385A JP6000385A JPS61218908A JP S61218908 A JPS61218908 A JP S61218908A JP 6000385 A JP6000385 A JP 6000385A JP 6000385 A JP6000385 A JP 6000385A JP S61218908 A JPS61218908 A JP S61218908A
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、三角測量方式にて被検知物体を検出する光電
式物体検知装置に関するものである。
式物体検知装置に関するものである。
従来、三角測量方式にて被検知物体を検出するこの種の
光電式物体検知装置は、第1図および第2図に示すよう
に、被検知物体QQK対して光ビーム(P)を投光する
投光手段+11と、投光手段+11の側方に所定間隔4
゜をもって配設され、被検知物体閃による光ビーム(P
)の反射光(R)を集光する集光手段(3)と、集光手
段(3)の集光面に配設され集光スポットの移動により
相反する2種の検知信号を出力するラインイメージセン
サ(4)と、両検知信号のレベル比に基いて被検知物体
を判別する判別手段(5)とで構成されており、投光手
段(1)は投光タイ三ンジを設定する同期信号を発生す
る発振回路−と、ドライブ回路(11)と、発光タイオ
ード、レーザーダイオードなどの投光素子(1′4と、
光ビーム(P)を形成するコンデンサレンズよりなる投
光用光学系−とで形成されている。受光手段(2)は投
光手段11)から所定間隔!。をもって並置され、投、
受光手段+1) +2)は被検知物体(X)K対して三
角測量的に配置されている。この受光手段(2)は被検
知物体(X)Kよる反射光を集光するための凸レンズよ
りなる集光手段(3)と、集光手段(3)の集光面に配
設され集光スポット(S)の移動により相反する2種の
検知信号を出力するラインイメージセンサ(4)とで構
成されており、このラインイメージセンサ(4)は、凸
レンズよりなる集光手段(3)の集光面内に配設され、
集光スポット(S)の一方向の移動に際してその移動量
に応じて増加する第1の検知信号IAを出力するととも
に移動量に応じて減少する第2の検知信号IBを出力す
る。このラインイメージセンサ(4)は、例えばPIN
型ホトタイオードに属する半導体装置検知素子(以下B
SD(4)と称する)にて形成され、このPSD(4)
は第3図(a)に示すように、平破状シリ1ンtanの
表面にP層(31a)、裏面にN層(31b)、中間に
1層(31c)を形成したものであり、集光スポット(
S)の位置に対応した信号電流1人、IBが出力される
ようになっている。この信号電流IAは集光スポット(
S)の一方向の移動忙際してその移動量に比例して増加
する信号であり、信号電流IBは移動量に比例して減少
する信号である。もちろん、信号電流IA+IB が
光量に比例することは言うまでもない。第3図(b)は
上述のPSD(41の等価回路を示すもので、図中(P
i)は電流源、(Do)は理想的タイオード、(CO)
は接合容量、(Rt )は並列抵抗、(Ro)は電極間
抵抗である。なお、PSD(4)に代えて、距離!が変
化した場合における集光スポット(S)の移動に、応じ
て相反する信号電流Iム、IBが得られるものであれば
何でも良いことは言うまでもない。
光電式物体検知装置は、第1図および第2図に示すよう
に、被検知物体QQK対して光ビーム(P)を投光する
投光手段+11と、投光手段+11の側方に所定間隔4
゜をもって配設され、被検知物体閃による光ビーム(P
)の反射光(R)を集光する集光手段(3)と、集光手
段(3)の集光面に配設され集光スポットの移動により
相反する2種の検知信号を出力するラインイメージセン
サ(4)と、両検知信号のレベル比に基いて被検知物体
を判別する判別手段(5)とで構成されており、投光手
段(1)は投光タイ三ンジを設定する同期信号を発生す
る発振回路−と、ドライブ回路(11)と、発光タイオ
ード、レーザーダイオードなどの投光素子(1′4と、
光ビーム(P)を形成するコンデンサレンズよりなる投
光用光学系−とで形成されている。受光手段(2)は投
光手段11)から所定間隔!。をもって並置され、投、
受光手段+1) +2)は被検知物体(X)K対して三
角測量的に配置されている。この受光手段(2)は被検
知物体(X)Kよる反射光を集光するための凸レンズよ
りなる集光手段(3)と、集光手段(3)の集光面に配
設され集光スポット(S)の移動により相反する2種の
検知信号を出力するラインイメージセンサ(4)とで構
成されており、このラインイメージセンサ(4)は、凸
レンズよりなる集光手段(3)の集光面内に配設され、
集光スポット(S)の一方向の移動に際してその移動量
に応じて増加する第1の検知信号IAを出力するととも
に移動量に応じて減少する第2の検知信号IBを出力す
る。このラインイメージセンサ(4)は、例えばPIN
型ホトタイオードに属する半導体装置検知素子(以下B
SD(4)と称する)にて形成され、このPSD(4)
は第3図(a)に示すように、平破状シリ1ンtanの
表面にP層(31a)、裏面にN層(31b)、中間に
1層(31c)を形成したものであり、集光スポット(
S)の位置に対応した信号電流1人、IBが出力される
ようになっている。この信号電流IAは集光スポット(
S)の一方向の移動忙際してその移動量に比例して増加
する信号であり、信号電流IBは移動量に比例して減少
する信号である。もちろん、信号電流IA+IB が
光量に比例することは言うまでもない。第3図(b)は
上述のPSD(41の等価回路を示すもので、図中(P
i)は電流源、(Do)は理想的タイオード、(CO)
は接合容量、(Rt )は並列抵抗、(Ro)は電極間
抵抗である。なお、PSD(4)に代えて、距離!が変
化した場合における集光スポット(S)の移動に、応じ
て相反する信号電流Iム、IBが得られるものであれば
何でも良いことは言うまでもない。
判別手段(6)はP S D f41出力に基いて被検
知物体(3)が所定の検知エリア内に存在するかどうか
を判別して出力回路(6)および動作表示回路(7)を
制御するようになっている。この判別手段(5)は、P
SD(4)からの信号電流IA、IBを信号電圧vA
x VB K増巾変換する受光回路(21a)(21b
)と、対数増巾回路(22a)(22b)と、対数増巾
回路(22a)出力、anV人から対数増中回M(22
b)出力A n V Bを減算する減算回路(ハ)と、
減算回路の出力J3 n V A / V B と検知
エリア設定用ボリウム(24a)にて設定された動作レ
ベルVsとを比較して減算回路回出力13 n V人/
VB が動作レベルVs以下のときHレベルを出力す
る比較回路(241と、対数増巾回路(22b)出力f
f1nVnと基準レベルVslを比較して投光、受光レ
ベルが正常動作レベル以上かどうかを比較判別する比較
回路(ハ)と、比較回路c241(2り出力の論理硅を
とるアンド回路(至)と、投光素子(121からの光ビ
ーム(P)の投光タイミング(発振回路(10)からの
出力される同期信号)に同期してアンド回路(至)出力
をサンづリンクすることにより、被検知物体(X)が検
知エリア内に存在するかどうかを確実に判別するように
した信号処理回路罰とで形成され、信号処理回路(3)
出力にて負荷制御用のリレー、負荷制御用の半導体スイ
ッチ素子などよりなる出力回路(6)および動作表示回
路(7)を制御するようになっている。なお、受光回路
(21a)(21b)はパルス光信号のみを通し直流光
信号をカットしたり、特定の周波数のみを通すバンドパ
スフィルタ回路を含むものであるいま、被検知物体閃が
第4図(a)に示すように光電式物体検知装置(至)か
ら距M右、−e8.ノ、の位置に存在する場合において
、集光面内に配設されたPSD(4)に対する集光スポ
ット(S)の位置はそれぞれ第4図(b)のようになり
、被検知物体(3)の位置が光ビームCP)の投光方向
に変化すると、集光ビーム(S)が矢印M方向に移動し
てP S D (41から出力される信号電流IA、I
nは集光スポット(S)の位置に対応した位置信号とな
る。判別手段(5)では、受光回路(21a)(21b
)にてこの信号電流IA。
知物体(3)が所定の検知エリア内に存在するかどうか
を判別して出力回路(6)および動作表示回路(7)を
制御するようになっている。この判別手段(5)は、P
SD(4)からの信号電流IA、IBを信号電圧vA
x VB K増巾変換する受光回路(21a)(21b
)と、対数増巾回路(22a)(22b)と、対数増巾
回路(22a)出力、anV人から対数増中回M(22
b)出力A n V Bを減算する減算回路(ハ)と、
減算回路の出力J3 n V A / V B と検知
エリア設定用ボリウム(24a)にて設定された動作レ
ベルVsとを比較して減算回路回出力13 n V人/
VB が動作レベルVs以下のときHレベルを出力す
る比較回路(241と、対数増巾回路(22b)出力f
f1nVnと基準レベルVslを比較して投光、受光レ
ベルが正常動作レベル以上かどうかを比較判別する比較
回路(ハ)と、比較回路c241(2り出力の論理硅を
とるアンド回路(至)と、投光素子(121からの光ビ
ーム(P)の投光タイミング(発振回路(10)からの
出力される同期信号)に同期してアンド回路(至)出力
をサンづリンクすることにより、被検知物体(X)が検
知エリア内に存在するかどうかを確実に判別するように
した信号処理回路罰とで形成され、信号処理回路(3)
出力にて負荷制御用のリレー、負荷制御用の半導体スイ
ッチ素子などよりなる出力回路(6)および動作表示回
路(7)を制御するようになっている。なお、受光回路
(21a)(21b)はパルス光信号のみを通し直流光
信号をカットしたり、特定の周波数のみを通すバンドパ
スフィルタ回路を含むものであるいま、被検知物体閃が
第4図(a)に示すように光電式物体検知装置(至)か
ら距M右、−e8.ノ、の位置に存在する場合において
、集光面内に配設されたPSD(4)に対する集光スポ
ット(S)の位置はそれぞれ第4図(b)のようになり
、被検知物体(3)の位置が光ビームCP)の投光方向
に変化すると、集光ビーム(S)が矢印M方向に移動し
てP S D (41から出力される信号電流IA、I
nは集光スポット(S)の位置に対応した位置信号とな
る。判別手段(5)では、受光回路(21a)(21b
)にてこの信号電流IA。
Inに比例した信号電圧7人+ V Bを形成し、対数
増巾回路(22a)(22b)にて対数増巾した電圧A
n V人、ff1nVnを減算回路□□□にて減算す
ることにより、減算回路(ハ)から信号電圧V A e
vBのレベル比の対数値−13n V A / V
B が出力されることになる。この減算回路の出力f
f1nVA/Vn は被検知物体00までの距離Jに
応じて変化する。
増巾回路(22a)(22b)にて対数増巾した電圧A
n V人、ff1nVnを減算回路□□□にて減算す
ることにより、減算回路(ハ)から信号電圧V A e
vBのレベル比の対数値−13n V A / V
B が出力されることになる。この減算回路の出力f
f1nVA/Vn は被検知物体00までの距離Jに
応じて変化する。
したがって、比較回路C24の検知エリア設定ボリウム
(24a)にて動作しベルVsを適当に設定することに
より、正確な検知エリアが容易に設定でき、減算回路の
出力−e n V A / V B が動作レベル■
8以下となったとき比較回路(至)出力がHレベルとな
る。このとき、投光、受光レベルが正常動作範囲であっ
て対数増巾回路(22b)出力J n V nが基準レ
ベルVs、以上であれば比較回路(ハ)出力もHレベル
となり、アンド回路(ハ)出力がHレベルとなり信号処
理回路(5)を介して出力回路(6)および動作表示回
路(7)が作動されるようKなっている。
(24a)にて動作しベルVsを適当に設定することに
より、正確な検知エリアが容易に設定でき、減算回路の
出力−e n V A / V B が動作レベル■
8以下となったとき比較回路(至)出力がHレベルとな
る。このとき、投光、受光レベルが正常動作範囲であっ
て対数増巾回路(22b)出力J n V nが基準レ
ベルVs、以上であれば比較回路(ハ)出力もHレベル
となり、アンド回路(ハ)出力がHレベルとなり信号処
理回路(5)を介して出力回路(6)および動作表示回
路(7)が作動されるようKなっている。
而してこの従来例においては判別手段(5)はPSD(
4)から出力される信号電流IムtIBを増巾した信号
のレベル比の対数値を演算してその演算値が所定の検知
範囲か否かKよって被検知物体(3)が検知エリア内に
あるかどうかを判別して出力回路(6)を作動させてh
るので、被検知物体閃の光反射率に関係なく検知エリア
を設定でき、投、受光用光学系(Is (3)の汚れや
光軸のずれの影響を受けることがないようKなっている
。ところで、このような光電式物体検知装置において、
PSD(4)は集光スポットの重心位置に比例して出力
が変化するようKなっているが、被検知物体(3)が色
むらのある拡散面である場合には、この重心位置が必ず
しも距離Jに対応したものとならないことになり、測距
誤差が生じて被検知物体閃をa1夾に検知できなくなる
という問題があった。すなわち、投光手段(1)から投
光される実際の投光ビーム(P)は第7図に示すよう忙
一定の面積−人を被検知物体面Xaに投光されており、
この被検知物体面Xaが色むらのない均一な拡散面であ
れば、PSD(4)上には、集光手段(3)の受光レン
ズの像倍率をmとすると、−mAの集光ビームSが第8
図(a)に示すように結像され、その重心位置に対する
信号電流Iム、よりの比は距1111!JK正確に対応
している。一方、色むらのある被検知物体面xbで投光
ビーム(P)が反射された場合には、PSD(4)上の
集光ビームSは第8図(b)に示すように結像され、そ
の重心位置はΔXだけ左方くずれることになり、重心位
置に対する信号電流I A p I Bの比は距離!に
正確に対応しなくなり、測距誤差が発生することになる
。また、集光手段(3)の受光レンズには収差があるの
で、実際の集光ビームSの径は−mAよりも大きくなっ
ており、測距誤差はより大きくなる。この測距誤差は、
投光ビーム(P)の径φAを小さくすることにより軽減
できるが、それにも限度があり、受光レンズの収差を小
さくする必要が生じる。ところで、レンズの収差は、一
般にレンズ口径と焦点距離の比(FNO)を大きくする
程良くなるが、口径を小さくすればPSD(4)の受光
量が減少するという問題があった。
4)から出力される信号電流IムtIBを増巾した信号
のレベル比の対数値を演算してその演算値が所定の検知
範囲か否かKよって被検知物体(3)が検知エリア内に
あるかどうかを判別して出力回路(6)を作動させてh
るので、被検知物体閃の光反射率に関係なく検知エリア
を設定でき、投、受光用光学系(Is (3)の汚れや
光軸のずれの影響を受けることがないようKなっている
。ところで、このような光電式物体検知装置において、
PSD(4)は集光スポットの重心位置に比例して出力
が変化するようKなっているが、被検知物体(3)が色
むらのある拡散面である場合には、この重心位置が必ず
しも距離Jに対応したものとならないことになり、測距
誤差が生じて被検知物体閃をa1夾に検知できなくなる
という問題があった。すなわち、投光手段(1)から投
光される実際の投光ビーム(P)は第7図に示すよう忙
一定の面積−人を被検知物体面Xaに投光されており、
この被検知物体面Xaが色むらのない均一な拡散面であ
れば、PSD(4)上には、集光手段(3)の受光レン
ズの像倍率をmとすると、−mAの集光ビームSが第8
図(a)に示すように結像され、その重心位置に対する
信号電流Iム、よりの比は距1111!JK正確に対応
している。一方、色むらのある被検知物体面xbで投光
ビーム(P)が反射された場合には、PSD(4)上の
集光ビームSは第8図(b)に示すように結像され、そ
の重心位置はΔXだけ左方くずれることになり、重心位
置に対する信号電流I A p I Bの比は距離!に
正確に対応しなくなり、測距誤差が発生することになる
。また、集光手段(3)の受光レンズには収差があるの
で、実際の集光ビームSの径は−mAよりも大きくなっ
ており、測距誤差はより大きくなる。この測距誤差は、
投光ビーム(P)の径φAを小さくすることにより軽減
できるが、それにも限度があり、受光レンズの収差を小
さくする必要が生じる。ところで、レンズの収差は、一
般にレンズ口径と焦点距離の比(FNO)を大きくする
程良くなるが、口径を小さくすればPSD(4)の受光
量が減少するという問題があった。
本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、その目
的とするところは、ラインイメージセンサの受光量をあ
まり減少させることなく、集光手段による収差を少なく
して測距誤差を少なくすることにより、被検知物体を確
実に検出できるようにした光電式物体検知装置を提供す
ることKある〔発明の開示〕 (実施例1) 第5図は本発明一実施例を示すもので、前記従来例と同
様の光電式物体検知装置において、集光手段(3)を構
成する受光レンズ(3a)を縦長の矩形状凸レンズにて
形成し、PSD(4)の長手方向の収差のみが小さくな
るような光学系としたものである。なお、実施例にあっ
ては、この受光レンズ(3a)の左右に突設した嵌合突
1片鴎をハウジング@lに設けたガイド溝部にスライド
係合して取付けるようにしである。
的とするところは、ラインイメージセンサの受光量をあ
まり減少させることなく、集光手段による収差を少なく
して測距誤差を少なくすることにより、被検知物体を確
実に検出できるようにした光電式物体検知装置を提供す
ることKある〔発明の開示〕 (実施例1) 第5図は本発明一実施例を示すもので、前記従来例と同
様の光電式物体検知装置において、集光手段(3)を構
成する受光レンズ(3a)を縦長の矩形状凸レンズにて
形成し、PSD(4)の長手方向の収差のみが小さくな
るような光学系としたものである。なお、実施例にあっ
ては、この受光レンズ(3a)の左右に突設した嵌合突
1片鴎をハウジング@lに設けたガイド溝部にスライド
係合して取付けるようにしである。
いま、実施例にあっては集光手段(3)はPSD(4)
の長手方向の収差のみが小さくなるような横寸法の小さ
い光学系となっており、収差による測距誤差が少くなる
ようになっている。また、この場合、測距誤差に関与し
な一縦寸法を小さくしていないので、PSD(4)の受
光量があまり減少せず、被検知物体面をa!実に検出で
きるようになっている。すなわち、円形のアパーチャを
設けてレンズ口径を小さくした場合に比べて大きな受光
量が確保でき、反射率の小さい被検知物体閃であっても
確実に検出できるようになっている。
の長手方向の収差のみが小さくなるような横寸法の小さ
い光学系となっており、収差による測距誤差が少くなる
ようになっている。また、この場合、測距誤差に関与し
な一縦寸法を小さくしていないので、PSD(4)の受
光量があまり減少せず、被検知物体面をa!実に検出で
きるようになっている。すなわち、円形のアパーチャを
設けてレンズ口径を小さくした場合に比べて大きな受光
量が確保でき、反射率の小さい被検知物体閃であっても
確実に検出できるようになっている。
(実施例2)
第6図は他の実施例を示すもので、縦長のスリット日が
?投されたスリット板(441を受光レンズ(縦長凸レ
ンズを形成したものであり、動作は実施例1と全く同様
である。
?投されたスリット板(441を受光レンズ(縦長凸レ
ンズを形成したものであり、動作は実施例1と全く同様
である。
本発明は上述のように、被検知物体に対して光ビームを
投光する投光手段と、投光手段の側方に所定間隔をもっ
て配設され、被検知物体による光ビームの反射光を集光
する集光手段と、集光手段の集光面に配設され集光スポ
ットの移動により相反する2種の検知信号を出力するラ
インイメージセンサと、両検知信号のレベル比に基いて
被検知物体を判別する判別手段とよりなる光電式物体検
知装置において、集光手段をラインイメージセンサの長
手方向の収差のみが小さくなるような光学系にて形成し
たものであるので、ラインイメージセンサの受光量をあ
まり減少させることなく、集光手段による収差を少なく
して測距誤差を少なくしており、被検知物体を確実に検
出できるという効果がある。
投光する投光手段と、投光手段の側方に所定間隔をもっ
て配設され、被検知物体による光ビームの反射光を集光
する集光手段と、集光手段の集光面に配設され集光スポ
ットの移動により相反する2種の検知信号を出力するラ
インイメージセンサと、両検知信号のレベル比に基いて
被検知物体を判別する判別手段とよりなる光電式物体検
知装置において、集光手段をラインイメージセンサの長
手方向の収差のみが小さくなるような光学系にて形成し
たものであるので、ラインイメージセンサの受光量をあ
まり減少させることなく、集光手段による収差を少なく
して測距誤差を少なくしており、被検知物体を確実に検
出できるという効果がある。
第1図は本発明に係る光電式物体検知装置の概略構成図
、第2図は同上の回路図、第3図(a)は同上の要部断
面図、第3図(b)は同上の要部等価回路図、第4図は
同上の動作説明図、第5図は本発明一実施例の要部分解
斜視図、第6図は同上の他の実施例の要部分解斜視図、
47J!17図および第8図は従来例の問題点の説明図
である。 +1)は投光手段、(3)は集光手段、(4)はライン
イメージセンサ、(5)は判別手段である。 代理人 弁理士 石 1)長 七 第3図 (G) (b) 第4図 第7図 118図 (G) (b) 手続補正書(自発) 昭和60年5月j3 日
、第2図は同上の回路図、第3図(a)は同上の要部断
面図、第3図(b)は同上の要部等価回路図、第4図は
同上の動作説明図、第5図は本発明一実施例の要部分解
斜視図、第6図は同上の他の実施例の要部分解斜視図、
47J!17図および第8図は従来例の問題点の説明図
である。 +1)は投光手段、(3)は集光手段、(4)はライン
イメージセンサ、(5)は判別手段である。 代理人 弁理士 石 1)長 七 第3図 (G) (b) 第4図 第7図 118図 (G) (b) 手続補正書(自発) 昭和60年5月j3 日
Claims (1)
- (1)被検知物体に対して光ビームを投光する投光手段
と、投光手段の側方に所定間隔をもつて配設され、被検
知物体による光ビームの反射光を集光する集光手段と、
集光手段の集光面に配設され集光スポットの移動により
相反する2種の検知信号を出力するラインイメージセン
サと、両検知信号のレベル比に基いて被検知物体を判別
する判別手段とよりなる光電式物体検知装置において、
集光手段をラインイメージセンサの長手方向の収差のみ
が小さくなるような光学系にて形成したことを特徴とす
る光電式物体検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60060003A JPH065165B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 光電式物体検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60060003A JPH065165B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 光電式物体検知装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61218908A true JPS61218908A (ja) | 1986-09-29 |
| JPH065165B2 JPH065165B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=13129483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60060003A Expired - Lifetime JPH065165B2 (ja) | 1985-03-25 | 1985-03-25 | 光電式物体検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065165B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63225116A (ja) * | 1987-03-14 | 1988-09-20 | Matsushita Electric Works Ltd | 光学式変位測定装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622910A (en) * | 1979-08-02 | 1981-03-04 | West Electric Co Ltd | Distance detector |
| JPS5834313A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-02-28 | Canon Inc | 能動型測距装置 |
| JPS5835410A (ja) * | 1981-08-27 | 1983-03-02 | Canon Inc | 距離検出装置 |
-
1985
- 1985-03-25 JP JP60060003A patent/JPH065165B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5622910A (en) * | 1979-08-02 | 1981-03-04 | West Electric Co Ltd | Distance detector |
| JPS5834313A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-02-28 | Canon Inc | 能動型測距装置 |
| JPS5835410A (ja) * | 1981-08-27 | 1983-03-02 | Canon Inc | 距離検出装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63225116A (ja) * | 1987-03-14 | 1988-09-20 | Matsushita Electric Works Ltd | 光学式変位測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH065165B2 (ja) | 1994-01-19 |
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