JPS61224006A - 数値制御工作機械の位置決め装置 - Google Patents
数値制御工作機械の位置決め装置Info
- Publication number
- JPS61224006A JPS61224006A JP6805285A JP6805285A JPS61224006A JP S61224006 A JPS61224006 A JP S61224006A JP 6805285 A JP6805285 A JP 6805285A JP 6805285 A JP6805285 A JP 6805285A JP S61224006 A JPS61224006 A JP S61224006A
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- JP
- Japan
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- positioning
- servo motor
- signal
- feed
- control
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Program-control systems
- G05B19/02—Program-control systems electric
- G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form
- G05B19/416—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by control of velocity, acceleration or deceleration
- G05B19/4166—Controlling feed or in-feed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Numerical Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、数値制御工作機械の主軸等の軸の位置決めを
精度良く行なう位置決め装置に関する。
精度良く行なう位置決め装置に関する。
［従来の技術］
従来、数値制御工作機械にお゛け′る送り軸の送り制御
は、送り量を指令する信号に対して、送り軸の位置を検
出してこれを帰還信号とするフィードバック制御系によ
って行なわれている。そして、送り軸の位置決め完了時
には、指令信号と帰還信号との偏差が零となる状態に保
持されるように常時フィードバック系が作動しており、
いわば、動的な位置決め制御が行なわれている。
は、送り量を指令する信号に対して、送り軸の位置を検
出してこれを帰還信号とするフィードバック制御系によ
って行なわれている。そして、送り軸の位置決め完了時
には、指令信号と帰還信号との偏差が零となる状態に保
持されるように常時フィードバック系が作動しており、
いわば、動的な位置決め制御が行なわれている。
［発明の解決しようとする問題点］
動的な位置決め制御のため、クローズトループにおける
各種の内乱及び外乱条件によって、追随偏差が零に安定
しないのでサーボモータは駆動され位置決めは、微少幅
だけ不安定となる。又サーボモータは、位置決め完了後
においても動的制御のため追随偏差が零となるように常
時作動状態におかれるため発熱し、これが熱膨張等の原
因となり、加えて、送り軸の位置決め精度を低下させて
いた。特に送り軸の位置決め制御における動的な不安定
性は、シリコンウェハ等の表面研磨工作機械において大
きな問題である。
各種の内乱及び外乱条件によって、追随偏差が零に安定
しないのでサーボモータは駆動され位置決めは、微少幅
だけ不安定となる。又サーボモータは、位置決め完了後
においても動的制御のため追随偏差が零となるように常
時作動状態におかれるため発熱し、これが熱膨張等の原
因となり、加えて、送り軸の位置決め精度を低下させて
いた。特に送り軸の位置決め制御における動的な不安定
性は、シリコンウェハ等の表面研磨工作機械において大
きな問題である。
本発明は、従来のこのような欠点を改良し、数値制御工
作機械の送り軸の位置決め精度を向上させることを目的
とする。
作機械の送り軸の位置決め精度を向上させることを目的
とする。
［問題点を解決するための技術的手段］本発明は、サー
ボモータによって駆動される送り軸の送り量を指令する
送り量信号を偏差カウンタへ出力する数値制御装置と、 前記送り軸の送り曇を検出し、この検出された信号を帰
還信号として出力する位置検出器と、前記送り量信号と
前記帰還信号との間の偏差に応じて前記サーボモータを
駆動する駆動装置と、を有する数値制御工作機械の位置
決め装置に於いて、 前記サーボモータの回転を制御信号によりロックするブ
レーキ装置と、 前記数値制御装置からの制御信号を入力し、該制御信号
に応じて、前記ブレーキ装置を作動させて、前記サーボ
モータをロックし、前記駆動装置への給電を停止するシ
ーケンスと、前記サーボモータのロックを解除しｌ、前
記駆動装置への給電を開始するシーケンスとを行なうシ
ーケンス制御部とを、有し、 前記数値制御装置は、前記送り軸の位置決め完了後、前
記サーボモータをロックするロック制御信号を前記シー
ケンス制御部に出力し、その後の前記送り軸の位置決め
開始時には、前記サーボモータのロックを解除するロッ
ク解除制御信号を前記シーケンス制御部に出力すること
を特徴とする数値制御工作機械の位置決め装置である。
ボモータによって駆動される送り軸の送り量を指令する
送り量信号を偏差カウンタへ出力する数値制御装置と、 前記送り軸の送り曇を検出し、この検出された信号を帰
還信号として出力する位置検出器と、前記送り量信号と
前記帰還信号との間の偏差に応じて前記サーボモータを
駆動する駆動装置と、を有する数値制御工作機械の位置
決め装置に於いて、 前記サーボモータの回転を制御信号によりロックするブ
レーキ装置と、 前記数値制御装置からの制御信号を入力し、該制御信号
に応じて、前記ブレーキ装置を作動させて、前記サーボ
モータをロックし、前記駆動装置への給電を停止するシ
ーケンスと、前記サーボモータのロックを解除しｌ、前
記駆動装置への給電を開始するシーケンスとを行なうシ
ーケンス制御部とを、有し、 前記数値制御装置は、前記送り軸の位置決め完了後、前
記サーボモータをロックするロック制御信号を前記シー
ケンス制御部に出力し、その後の前記送り軸の位置決め
開始時には、前記サーボモータのロックを解除するロッ
ク解除制御信号を前記シーケンス制御部に出力すること
を特徴とする数値制御工作機械の位置決め装置である。
本発明の特徴は、送り軸の位置決め完了時に、サーボモ
ータを電気機械的にロックしてかつ、サーボモータへの
給電を停止するようにし、位置決め再開時には、サーボ
モータの電気機械的なロックを解除し、サーボモータへ
給電を行なう様にする装置を設けていることである。
ータを電気機械的にロックしてかつ、サーボモータへの
給電を停止するようにし、位置決め再開時には、サーボ
モータの電気機械的なロックを解除し、サーボモータへ
給電を行なう様にする装置を設けていることである。
［作用］
数値制御装置は、送り軸の位置決め完了後、サーボモー
タをロックするロック制御信号をシーケンス制御部に出
力する。シーケンス制御部は、数値制御装置からロック
制御信号を入力したときは。
タをロックするロック制御信号をシーケンス制御部に出
力する。シーケンス制御部は、数値制御装置からロック
制御信号を入力したときは。
ブレーキ装置を作動させて、サーボモータをロックする
と共に、駆動装置への給電を停止する。この過程によっ
て、送り軸は、制御系の内外孔に拘わらず、静的に停止
されるので、送り軸の制御精度が向上する。又、その後
の送り軸の位置決め開始時には、数値制御装置は、サー
ボモータのロックを解除するロック解除制御信号をシー
ケンス制御部に出力し、シーケンス制御部は、サーボモ
ータのロックを解除し、駆動装置への給電を開始する。
と共に、駆動装置への給電を停止する。この過程によっ
て、送り軸は、制御系の内外孔に拘わらず、静的に停止
されるので、送り軸の制御精度が向上する。又、その後
の送り軸の位置決め開始時には、数値制御装置は、サー
ボモータのロックを解除するロック解除制御信号をシー
ケンス制御部に出力し、シーケンス制御部は、サーボモ
ータのロックを解除し、駆動装置への給電を開始する。
このようにして次の位置決め制御が行なわれる。
［実施例］
以下、本発明を具体的な一実施例に基づいて説明する。
第１図は本実施例装置の構成を示したブロックダイヤグ
ラムである。ヘッド１０の上には垂直にサーボモータ３
０及びボールネジ３１を保持するコラム２０が設けられ
ている。コラム２０にはサーボモータ３０が配設されて
おり、サーボモータ３０の回転によりボールネジ３１が
回転する。ボールネジ３１の回転量はエンコーダ３２に
よって検出され、その信号は波形整形回路５６を介して
偏差カウンタ５３に入力している。又、ボールネジ３１
にはナツト４０が螺合しておりナツト４０は主軸ヘッド
４１に固設されている。従ってボールネジ３１の回転に
よって主軸ヘッド４１がＺ軸方向に移動することができ
る。
ラムである。ヘッド１０の上には垂直にサーボモータ３
０及びボールネジ３１を保持するコラム２０が設けられ
ている。コラム２０にはサーボモータ３０が配設されて
おり、サーボモータ３０の回転によりボールネジ３１が
回転する。ボールネジ３１の回転量はエンコーダ３２に
よって検出され、その信号は波形整形回路５６を介して
偏差カウンタ５３に入力している。又、ボールネジ３１
にはナツト４０が螺合しておりナツト４０は主軸ヘッド
４１に固設されている。従ってボールネジ３１の回転に
よって主軸ヘッド４１がＺ軸方向に移動することができ
る。
ここで２軸が上述の送り軸に相当し、本実施例では、ボ
ールネジの回転で送り軸の送り量を測定している。又、
位置検出器としては、エンコーダ３２と、波形整形回路
５６とで構成し、帰還信号には、波形整形回路５６の出
力ｖ１が対応する。
ールネジの回転で送り軸の送り量を測定している。又、
位置検出器としては、エンコーダ３２と、波形整形回路
５６とで構成し、帰還信号には、波形整形回路５６の出
力ｖ１が対応する。
主軸ヘッド４１には主軸モータ４２が配設されており、
主軸モータ４２は主軸４３を回転させ、主軸４３に配設
された砥石４４を回転させる。一方ヘッド１０には工作
物支持台１１が設けられており、その上に工作物１３を
載せる回転台１２が配設されている。主軸ヘッド４１が
サーボモータ３０によって２軸での所定の位置に位置決
めされた後、主軸４３と工作物１３との相互の回転によ
りウェハ状の工作物１３が研磨される。
主軸モータ４２は主軸４３を回転させ、主軸４３に配設
された砥石４４を回転させる。一方ヘッド１０には工作
物支持台１１が設けられており、その上に工作物１３を
載せる回転台１２が配設されている。主軸ヘッド４１が
サーボモータ３０によって２軸での所定の位置に位置決
めされた後、主軸４３と工作物１３との相互の回転によ
りウェハ状の工作物１３が研磨される。
又、サーボモータ３０にはブレーキ装［３３が取付けら
れておりシーケンス制御装置１５２からの制御信号■４
によりスイッチ５８が作動して、サーボモータ３０の回
転を電磁石によって停止させることができる。数値制御
装置５０にはデータ入力装置１ｆ５１が接続されており
制御データが入力される。
れておりシーケンス制御装置１５２からの制御信号■４
によりスイッチ５８が作動して、サーボモータ３０の回
転を電磁石によって停止させることができる。数値制御
装置５０にはデータ入力装置１ｆ５１が接続されており
制御データが入力される。
送り吊信号■２は、偏差カウンタ５３にパルス分配され
て出力される。偏差カウンタ５３にはエンコーダ３２、
波形整形回路５６から帰還パルスＶ１が入力して、所定
の位置決めが行なわれる。
て出力される。偏差カウンタ５３にはエンコーダ３２、
波形整形回路５６から帰還パルスＶ１が入力して、所定
の位置決めが行なわれる。
ａ差カウンタ５３の出力は増幅器５４によって増幅され
た後、駆動回路５５によってサーボモータ３ｏを所定の
速度で回転させる。又駆動回路５５は、シーケンス制御
装置１５２の制御信号■５によって作動するスイッチ５
７により給電される。
た後、駆動回路５５によってサーボモータ３ｏを所定の
速度で回転させる。又駆動回路５５は、シーケンス制御
装置１５２の制御信号■５によって作動するスイッチ５
７により給電される。
数値制御装ｗ１５０の制御信号Ｖ３はシーケンス制御装
置５２に入力しており、その制御信号に応じて、シーケ
ンス制御装置５２は、ブレーキ装置３３及び駆動回路５
５への給電を制御することができる。
置５２に入力しており、その制御信号に応じて、シーケ
ンス制御装置５２は、ブレーキ装置３３及び駆動回路５
５への給電を制御することができる。
第２図は数値制御装置ｉ５０の処理を示すフローチャー
トであり、第３図は、シーケンス制御装置の処理を示す
フローチャートであり、第４図は数値制御プログラムの
一例である。数値制御装置１５０はステップ１００から
実行を開始し、数値制御データの１ブロツクを読み込む
。次にステップ１０２に移行してＧコードがある場合、
即ち早送り、切削送り等の送りコードがある場合には、
通常の工作機械と同様にステップ１０４でＧコード処理
が行なわれる。ステップ１０８に移行して移動指令コー
ドがあるかが判定され、ある場合には、ステップ１１０
に移行して偏差カウンタ５３に対してパルス分配処理を
行ない所定の送り制御を行なう。パ火ス分配後、ステッ
プ１００に戻り、同様な処理を繰り返して、ステップ１
０６でＭコードがある場合には、ステップ１１２に移行
してＭコードの種類が判定される。ＭＯ２コードの場合
には処理を終了し、その他の場合にはステップ１１４へ
移行して、シーケンス制御装置５２へＭコードの制御信
号ｖ３を出力する。。
トであり、第３図は、シーケンス制御装置の処理を示す
フローチャートであり、第４図は数値制御プログラムの
一例である。数値制御装置１５０はステップ１００から
実行を開始し、数値制御データの１ブロツクを読み込む
。次にステップ１０２に移行してＧコードがある場合、
即ち早送り、切削送り等の送りコードがある場合には、
通常の工作機械と同様にステップ１０４でＧコード処理
が行なわれる。ステップ１０８に移行して移動指令コー
ドがあるかが判定され、ある場合には、ステップ１１０
に移行して偏差カウンタ５３に対してパルス分配処理を
行ない所定の送り制御を行なう。パ火ス分配後、ステッ
プ１００に戻り、同様な処理を繰り返して、ステップ１
０６でＭコードがある場合には、ステップ１１２に移行
してＭコードの種類が判定される。ＭＯ２コードの場合
には処理を終了し、その他の場合にはステップ１１４へ
移行して、シーケンス制御装置５２へＭコードの制御信
号ｖ３を出力する。。
シーケンス制御装置５２は第３図に示す処理を行なう。
ステップ２００でコードがＭ２Ｏでない場合にはステッ
プ２０２へ移行してコードがＭＢ２かが判定される。そ
の結果ＹＥＳの場合にはステップ２０４へ移行してブレ
ーキ装Ｗ１３３をオンにするための制御信号ｖ４を出力
してブレーキ装Ｖ！１３３を作動させると共に、制御信
号Ｖ５を出力して、スイッチ５７をオフにして、駆動回
路５５の出力を停止して、サーボモータ３ｏの電源をオ
フにする。ステップ２０２でコードがＭＢ２でない場合
にはステップ２０６に移行してその他のＭコード処理が
行なわれる。ステップ２００でコードがＭ２Ｏと判定さ
れた時にはステップ２０８に移行して、制御信号ｖ４に
より、スイッチ５８をオフにしてブレーキ装置３３の作
動を解除すると共に、制御信号ｖ５によりスイッチ５７
をオンにして駆動回路５５を動作可能状態とする。
プ２０２へ移行してコードがＭＢ２かが判定される。そ
の結果ＹＥＳの場合にはステップ２０４へ移行してブレ
ーキ装Ｗ１３３をオンにするための制御信号ｖ４を出力
してブレーキ装Ｖ！１３３を作動させると共に、制御信
号Ｖ５を出力して、スイッチ５７をオフにして、駆動回
路５５の出力を停止して、サーボモータ３ｏの電源をオ
フにする。ステップ２０２でコードがＭＢ２でない場合
にはステップ２０６に移行してその他のＭコード処理が
行なわれる。ステップ２００でコードがＭ２Ｏと判定さ
れた時にはステップ２０８に移行して、制御信号ｖ４に
より、スイッチ５８をオフにしてブレーキ装置３３の作
動を解除すると共に、制御信号ｖ５によりスイッチ５７
をオンにして駆動回路５５を動作可能状態とする。
この以上の処理によりＭ８１コード即ちロック制御信号
の場合には位置決めが完了した時にブレーキ装置を作動
させサーボモータの電源をオフにすることができ送り軸
を静的に停止させることが出来る。このような送り軸の
完全な停止状態において、ウェハ状の工作物の表面を研
磨できるので研磨精度を向上させることができる。この
ような停止状態に於いても、位置検出器は、作動してい
るので、偏差カウンタ５３には、送り軸の変位が入力さ
れているので、次の送り制御のときにこの値を補正量と
して考慮することが出来る。
の場合には位置決めが完了した時にブレーキ装置を作動
させサーボモータの電源をオフにすることができ送り軸
を静的に停止させることが出来る。このような送り軸の
完全な停止状態において、ウェハ状の工作物の表面を研
磨できるので研磨精度を向上させることができる。この
ような停止状態に於いても、位置検出器は、作動してい
るので、偏差カウンタ５３には、送り軸の変位が入力さ
れているので、次の送り制御のときにこの値を補正量と
して考慮することが出来る。
次に送り軸を所定量送る場合には、Ｍ８０コード即ちロ
ック解除制御信号を用いて位置決め制御の開始時にブレ
ーキ装置を解除しサーボモータの電源を入力すればよい
。このような送り制御、静的停止、研磨、送り制御、の
繰り返しによって精度良く表面研磨を継続させることが
できる。なお、数値制御装置５０の内部に、シーケンス
制御部５０を設け、シーケンス制御装置５２が行ってい
る動作を数値制御装ｆ［５０の内部で行なうようにして
もよい。
ック解除制御信号を用いて位置決め制御の開始時にブレ
ーキ装置を解除しサーボモータの電源を入力すればよい
。このような送り制御、静的停止、研磨、送り制御、の
繰り返しによって精度良く表面研磨を継続させることが
できる。なお、数値制御装置５０の内部に、シーケンス
制御部５０を設け、シーケンス制御装置５２が行ってい
る動作を数値制御装ｆ［５０の内部で行なうようにして
もよい。
［発明の効果］
本発明は、サーボモータの回転を制御信号によりロック
するブレーキ装置と、 数値制御装置からの制御信号を入力し、該制御信号相応
じて、前記ブレーキ装置を作動させて、前記サーボモー
タをロックし、駆動装置への給電を停止するシーケンス
と、サーボモータのロックを解除し、前記駆動装置への
給電を開始するシーケンスとを行なうシーケンス制御部
とを設けたことを特徴としている。そして、数値制御装
置は、送り軸の位置決め完了後、サーボモータをロック
するロック制御信号を前記シーケンス制御部に出力し、
その後の前記送り軸の位置決め開始時には、前記サーボ
モータのロックを解除するロック解除制御信号を前記シ
ーケンス制御部に出力するようにしている。
するブレーキ装置と、 数値制御装置からの制御信号を入力し、該制御信号相応
じて、前記ブレーキ装置を作動させて、前記サーボモー
タをロックし、駆動装置への給電を停止するシーケンス
と、サーボモータのロックを解除し、前記駆動装置への
給電を開始するシーケンスとを行なうシーケンス制御部
とを設けたことを特徴としている。そして、数値制御装
置は、送り軸の位置決め完了後、サーボモータをロック
するロック制御信号を前記シーケンス制御部に出力し、
その後の前記送り軸の位置決め開始時には、前記サーボ
モータのロックを解除するロック解除制御信号を前記シ
ーケンス制御部に出力するようにしている。
従って、従来のフィードバック制御系による指令信号と
帰還信号との偏差が零となる状態に保持する動的な位置
決め制御と異なり、クローズトループにおける各種の内
乱及び外乱に無関係に送り軸を静的に停止出来るので位
置決め精度が向上する。
帰還信号との偏差が零となる状態に保持する動的な位置
決め制御と異なり、クローズトループにおける各種の内
乱及び外乱に無関係に送り軸を静的に停止出来るので位
置決め精度が向上する。
又、サーボモータの発熱が防止できるので、加えて熱膨
張による位置決め偏差を減少させることができる。さら
に、位置検出器は、作動させているので、継続して次の
送り制御が可゛能となる。
張による位置決め偏差を減少させることができる。さら
に、位置検出器は、作動させているので、継続して次の
送り制御が可゛能となる。
第１図は、本発明の実施例装置の構成を示したブロック
ダイヤグラムである。第２図は、実施例装置の数値制御
装置の処理を示したフローチャート、第３図は、同実施
例装置のシーケンス制御装置の処理を示したフローチャ
ート、第４図は、数値制御プログラムの一例を示したコ
ード図である。 １０・・・ベット １１・・・工作物支持台１２
・・・回転台 １３・・・工作物２０・・・コラ
ム ３０・・・サーボモータ３２・・・エンコー
ダ ３１・・・ボールネジ、 ４０・・・ナツト
４１・・・主軸ヘッド４２・・・主軸モータ ４
３・・・主軸４４・・・砥石
ダイヤグラムである。第２図は、実施例装置の数値制御
装置の処理を示したフローチャート、第３図は、同実施
例装置のシーケンス制御装置の処理を示したフローチャ
ート、第４図は、数値制御プログラムの一例を示したコ
ード図である。 １０・・・ベット １１・・・工作物支持台１２
・・・回転台 １３・・・工作物２０・・・コラ
ム ３０・・・サーボモータ３２・・・エンコー
ダ ３１・・・ボールネジ、 ４０・・・ナツト
４１・・・主軸ヘッド４２・・・主軸モータ ４
３・・・主軸４４・・・砥石
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 サーボモータによって駆動される送り軸の送り量を指令
する送り量信号を出力する数値制御装置と、 前記送り軸の送り量を検出し、この検出された信号を帰
還信号として出力する位置検出器と、前記送り量信号と
前記帰還信号との間の偏差に応じて前記サーボモータを
駆動する駆動装置と、を有する数値制御工作機械の位置
決め装置に於いて、 前記サーボモータの回転を制御信号によりロックするブ
レーキ装置と、 前記数値制御装置からの制御信号を入力し、該制御信号
に応じて、前記ブレーキ装置を作動させて、前記サーボ
モータをロックし、前記駆動装置への給電を停止するシ
ーケンスと、前記サーボモータのロックを解除し、前記
駆動装置への給電を開始するシーケンスとを行なうシー
ケンス制御部とを、有し、 前記数値制御装置は、前記送り軸の位置決め完了後、前
記サーボモータをロックするロック制御信号を前記シー
ケンス制御部に出力し、その後の前記送り軸の位置決め
開始時には、前記サーボモータのロックを解除するロッ
ク解除制御信号を前記シーケンス制御部に出力すること
を特徴とする数値制御工作機械の位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6805285A JPS61224006A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 数値制御工作機械の位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6805285A JPS61224006A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 数値制御工作機械の位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61224006A true JPS61224006A (ja) | 1986-10-04 |
Family
ID=13362626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6805285A Pending JPS61224006A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 数値制御工作機械の位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61224006A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990007737A1 (fr) * | 1988-12-28 | 1990-07-12 | Fanuc Ltd | Systeme de commande de freinage pour broches |
| WO1998018594A1 (en) * | 1996-10-29 | 1998-05-07 | Washi Kosan Co., Ltd. | Double column-type machine tool, and fall prevention device for vertical feed device in planer-type machine tool |
| JP7727863B1 (ja) * | 2024-10-08 | 2025-08-21 | ファナック株式会社 | 数値制御装置及び工作機械 |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP6805285A patent/JPS61224006A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990007737A1 (fr) * | 1988-12-28 | 1990-07-12 | Fanuc Ltd | Systeme de commande de freinage pour broches |
| WO1998018594A1 (en) * | 1996-10-29 | 1998-05-07 | Washi Kosan Co., Ltd. | Double column-type machine tool, and fall prevention device for vertical feed device in planer-type machine tool |
| JP7727863B1 (ja) * | 2024-10-08 | 2025-08-21 | ファナック株式会社 | 数値制御装置及び工作機械 |
| WO2026078766A1 (ja) * | 2024-10-08 | 2026-04-16 | ファナック株式会社 | 数値制御装置及び工作機械 |
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