JPS61232182A - 板状物用収納箱 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造に用いられるフォトマスクブラン
ク、マスク用ガラス基板等の収納に用いて好適な板状物
収納箱に関する。

〔従来の技術〕

従来、フォトマスクブランク等の基板を収納し運搬する
収納箱としては、第６図に示すものが知られている。す
なわち、１は複数枚のフォトマスクブランク２を略垂直
な状態で・その厚み方向に収納する収納箱で、この収納
箱１は対向する左右一対の側板３，４と、これらの側板
３，４會互いに連結する例えば４本の連結棒５，６，７
．８と、前記側板３，４間に支架され、各フォトマスク
ブランク２全その厚み方向に所定の間隔金おいて保持し
前後方向（幅方向）および左右方向（厚み方向）の移動
全規制する、例えば４本の保持兼移動規制部材９，１０
，１１．１２とを備え、前記４本の連結棒５，６，７．
８のうち下部に配置された前後一対の連結棒７，８は前
記各フォトマスクブランク２の下端全支持する支持部材
としての機能を有している。

前記各保持兼移動規制部材９．１０，１１．１２として
は、例えば第７図に示すように局面にＶ字状の溝１４が
多数形成されることによりソロパン玉全一連に並べた形
状の棒状体とカ、るるいはまた第８図に示すようにフォ
トマスクブランク２の前端面（または後端面）と対向す
る面に鋸歯状の凹凸１ｓｔ一連続的に形成した板体が使
用され、６溝１４に各フォトマスクブランク２が上方、
ｃりそれぞれ挿入されることにより、前後方向の移動を
規制すると同時に互いに隣り合うフォトマスクブランク
２間に一定の間隔を設け、厚み方向の移動を規制防止し
ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかし、このような収納箱においては、幅が異なるもの
はもとエフ幅が同一でろっても板厚が異なるものも収納
することができなかった。すなわち第８図鎖線で示すよ
うに幅が同一でも厚みが変ると、薄いものは溝１４に入
るが溝１４の斜面との間に隙間が生じるためガタ付き確
実に保持することができず、厚いものは溝１４に入らな
くなる。

特にフォトマスクブランク２やマスク基板のように形状
が同一で厚みのみが異なる板状物を納めるときには保持
兼移動規制部材９．１０，１１．１２を前後に動かすか
めるいは板厚に合ったものと交換しなければならないが
、その場合前後に動かす方式は通常止めねじを緩めて長
孔に沿って移動させているため、その移動調整作業が面
倒であるという不都合を有し、また交換する方式は各種
板厚に応じた保持兼移動規制部材を準備する必要がめる
上、その変換作業も面倒でめった。

この他板厚に応じた収納箱を準備しておく方式も採用し
ているが、このような方式では収納箱自体の種類が増加
し、その保管、管理が面倒である。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係る板状物用収納箱は、上述しｆｃような点に
鑑みてなされたもので、複数枚の板状物を略垂厘状悪で
その厚み方向に収納するケース本体と、このケース本体
内に配設されて前記各板状物をその厚み方向に所定の間
隔をおいて保持し、かつ前後、左右方向の移動を規制す
る少なくとも前　　・後一対の保持兼移動規制部材とを
備え、これら一対の保持兼移動規制部材のうち少なくと
もその一方が偏心カムを具備し、前記板状物の寸法サイ
ズに応じて前後方向に移動調整されるようにしたもので
るる。

〔作用〕

本発明においては偏心カムで保持兼移動規制部材を移動
調整するため、操作が簡単で板状物の各種寸法サイズに
適応でき、板状物を確実に固定保持する。

〔実施例〕

以下、本発明全図面に示ア実施例に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本考案に係る板状物用収納箱の主要槽底部材の
一部破断分解斜使図、第２図は同収納箱の外観斜視図、
第３図は第１図ｉｉ＋−１ｉｌ線拡大断面図、第４図は
第１図■−■線拡大断面図である。

第２図において、左右一対の側板３，４と、４本の連結
棒５，６，７．８とで板状物としての複数枚のフォトマ
スクブランク２を収納するケース本体２０會構成し、前
記側板３，４間に支架された４本の保護兼移動規制部材
９，１０，１１．１２で前記フォトマスクブランク２を
一定のピッチでその板厚方向に離間させ、前後、左右方
向の移動を規制防止する構造は従来とをく同様でるる。

ここで、第６図に示した従来の収納箱と異なる点は各保
持兼移動規制部材９．１０，１１．１２に偏心カムをそ
れぞれ組込み、前後方向に移動調整可能にした点にるり
、以下その構成全第１図。

第３図および第４図に基づいて詳述する。保持兼移動規
制部材９は、第７図に示したものと同様、テフロン（商
標名）等によってソロパン玉全一連に並べ次ような棒状
体に形成されることにより、局面にＶ字状の溝１４が軸
線方向に多数形成され、また中心には軸孔２３が形成さ
れ、この軸孔２３に軸２２が挿通されている。前記軸２
２の両端には前記軸孔２３から突出する角棒状体２４．
２５がそれぞれ一体に突設されており、これらの角棒状
体２４．２５は前記各側板３，４に形成された透孔２６
．２７にそれぞれ貫通し、偏心カム２８．２９の角孔３
０，３１にそれぞれ挿入されている。前記偏心カム２８
は、円柱状に形成され、プロツク３３の孔３４に回転可
能に嵌合され、同面には複数個の小さな凹部３６が開方
向にずれて形成されている。前記角孔３０の中心Ｏ１は
、偏心カム２８の中心０からΔｄだけ変位し次位置に設
けられている゛。

前記ブロック３３は、例えば４本の止めねじ３８によっ
て前記側板３の外側面に固定されており、下面中央には
前記孔３４に連通するねじ孔３９が前記偏心カム２８の
凹部３６に対応して形成されている。ねじ孔３９には中
空状のねじ４０が螺入されており、このねじ４０の中心
孔４０ａには小さな鋼球４１と、この鋼球４１を上方に
付勢するスプリング４２と、中心孔４０ａ　の下端開口
部を塞ぐ橙４３が挿入されている。前記鋼球４１は回転
自在で前記中心孔４０ａの上端開口部に出没自在に配置
されてはいるが外部への抜けを防止されており、その突
出部が前記偏心カム２８に形成された複数個の凹部３６
のいずれか１つに通常嵌入することにより該カム２８の
回転を防止している。

そして、前記角棒状体２４の先端面には止めねじ４４が
ねじ込まれ、この止めねじ４４により前記角棒状体２４
の前記角孔３０からの抜けを防止している。

一方、前記角棒状体２５に対応して設けられた前記偏心
カム２９は、前記偏心カム２８と同一に形成されるもの
で、その局面には複数個の小さな凹部５０が周方向に形
成されている。また、該カム２９の角孔３１の中心０３
も偏心カム２９の中心０２からΔｄだけ変位した位置に
形成されている。そして、偏心カム２９は、ブロック５
２の孔５３に回転可能に嵌合され、前記偏心カム２８と
位相ｔそろえて前記角棒状体２５に嵌合される。

前記ブロック５２は前記ブロック３３と同一に形成され
、前記側板４の外側面に、例えば４本の止めねじ５５に
工っで固定されている。また、ブロック５２の下面にも
前記孔５３に連通するねじ孔５６が前記偏心カム２９の
凹部５０に対応して形成されており、このねじ孔５６に
は中空状のねじ５７が下方より２２し込まれている。ね
じ５７の中心孔５８には小さな鋼球５９と、この鋼球５
９を上方に付勢するスプリング６０と、中心孔５８の下
端開口部金塞ぐ橙６１が挿入されている。鋼球５９は回
転自在で、前記中心孔５Ｂの上端間ロ部エク抜けを防止
されているものの、その一部が外部に突出し通常前記偏
心カム２９に形成された複数個の凹部５０のうちのいず
れか一つに嵌入することにエフ、該カム２９の回転を防
止している。

そしてブロック５２０表面側、すなわち側壁４と対向す
る面とは反対側の面には前記軸２２を回動させるレバー
６２が配設されている。レバー６２は角棒状に形成され
て、その一端寄りに前記角棒状体２５の先端部が嵌合す
る角孔６４が形成されている。角孔６４の一端開口部、
丁なわちレバー６２の表面側開口部は、該角孔６４が内
接する円形の孔６５ｔ−形成し、この孔６５に止めねじ
６６が挿入され前記角棒状体２５の先端面に形成された
ねじ孔６７（第１図）にねじ込−まれることにより、該
角棒状体２５の前記角孔６４，３１からの抜けを防止し
ている。前記レバー６２の内側面には円板状の軸部６８
が一体に突設されており、この軸部６８は前記ブロック
５２の孔５３の表面側開口部に回転自在に嵌合されてい
る。

なお、残９３つの保持兼移動規制部材１０，１１゜１２
も上述したとをく同一に構成されているため、その説明
を省略する。

このような構成において、保持兼移動規制部材９のレバ
−６２ｔ−回転させると、偏心カム２８゜２９および軸
２２が該レバー６２と一体的に回転するため、軸２２の
中心を最大２Δｄだけ収納箱１の前後方向に移動させる
ことができる。

すなわち、第５図（ａ）に示す工うに角孔３０（３１）
の中心０１が偏心カム２８の中心Ｏの上方に位置してい
る状態において、軸２２はその中心が前記中心０１と一
致している几め上方にΔｄだけ変位しているだけで、前
後方向に対する変位量は零でおる。この状態からレバ−
６２全第５図（ａ）反時計方向に略９０°回動させると
、角孔３０の中心０１は偏心カム２８の中心０を中心と
して同図（ｂ）に示すように反時計方向に９０’回転す
る。すると、角孔３０の中心Ｏ１は該カム２８の中心Ｏ
からΔｄだけ図中左方（例えば前方）に移動し、更に９
０゜回転させると同図（ｃ）に示すように角孔３０の中
心０１がカム２Ｂの中心Ｏの下方に移動するため、前後
方向の変位は零となり、この状態からさらに９０°回転
させ同図（ｄ）の状態にすると、角孔３０の中心Ｏ！は
カム２８の中心ＯからΔｄだけ右方（後方）に移動する
。つまり、角孔３０の中心Ｏ！は偏心カム２８の中心０
のまわ９で牛径Δｄの円周上を移動することになる。こ
の結果、偏心カム２８の１回転にエフ軸２２ｔｌ；を前
後方向に２Δｄだけ移動する。なお、破線で示す保持兼
移動規制部材９も軸２２に配設されている次め、角孔３
０と同様に移動する。

そこで、収納箱１に収納されるフォトマスクブランク２
の各種寸法サイズ（特に板厚と幅）に応じて偏心カム２
８．２９の回転角全便えてやれば、その回転角に応じた
前後方向の移動量が２Δｄの範囲内で得られるので、寸
法サイズの変更にかかわらず各種サイズのフォトマスク
ブランク２を同一の収納箱１で前後、左右方向にガタ付
くことなく確実に収納することができる。

この場合、各偏心カム２８．２９の局面に設けられる凹
部３６，５（ｌ各種寸法サイズの回転角に応じた位置に
設けておけば、その位置で鋼球４１．５９が嵌入係合す
るため、偏心カム２８゜２９’ｄ−確実に固定すること
ができる。また、偏心量Δｄ’に大きく設定しておけば
、前後方向の移動量が大きくなるため、幅寸法が大きい
ものがら小さいものまで各種のフォトマスクブランク２
に対応でき、ま７’Ｃ幅寸法が同じで板厚のみが異なる
ものの収納を対象とした場合には偏心量Δｄが少なくて
もよいことは容易に理解されるでろろう。

なお、上記実施例は４本の保持兼移動規制部材９．１０
，１ｆ、１２’に用い几場合について説明したが、本発
明はこれに何ら特定されるものではない。例えば一対の
保持兼移動規制部材を前後に配設してフォトマスクブラ
ンク２０前後、左右方向の移動を規制し、その一方のみ
全寸法サイズの変更に応じて前後方向、すなわち他方の
移動規制部材に対して接近離間する方向に偏心カムで移
動調整するようにしてもよいことは勿論でるる。但し、
実用上は歳低３本用い、そのうち２本Ｚ前後方向に対向
配置し、残９１本全フォトマスクブランク２の下端全党
は止めるようにするとよい。

また、上記実施例はケース本体２０を左右一対の側板３
，４と連結棒５，６，７．８とで構成したが、これに限
らず上面のみが開放した箱状のものでろっでもよい。

さらに、上記゛実施例は半導体製造に使用されるフォト
マスクブランク２に適用したが、寸法サイズの異なる各
種板状物にそのまま実姉し得ることは勿論でるる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る板状物用収納箱は、複
数枚の板状物音その厚み方向に離間させて保持したつそ
の前後、左右方向の移動全規制防止する保持兼移動規制
部材金、偏心カム部材後方向に移動調整自在としたので
、幅、板厚等が異なる各種寸法サイズの板状物に対して
共通使用でき、従来のように保持兼移動規制部材を寸法
サイズに応じて交換した！Ｉｌｌるいは収納箱自体を交
換する必要がなく、その経済的効果は大でめる。また、
偏心カムによる移動調整も容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る板状物用収納箱の主要構成部材を
示す一部破断分解斜視図、第２図は同収納箱の外観斜視
図、第３図は第１図ＩＩＩ−ＩＩＩ線拡大断面図、第４
図は第１図ＩＶ−Ｆ／線拡犬断面図、第５図は偏心量？
説明するための図、第６図は収納箱の従来例を示す斜視
図、第７図および第８図は保持兼移動規制部材の一例を
それぞれ示す図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　複数枚の板状物を略垂直状態でその厚み方向に収納す
   るケース本体と、このケース本体内に配設されて前記各
   板状物をその厚み方向に所定の間隔をおいて保持し前後
   方向および左右方向の移動を規制する少なくとも前後一
   対の保持兼移動規制部材とを備え、これら一対の保持兼
   移動規制部材のうち少なくともその一方は偏心カムを具
   備し前記板状物の寸法サイズに応じて前後方向に移動調
   整されることを特徴とする板状物用収納箱。