JPS6123431B2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6123431B2
JPS6123431B2 JP58170892A JP17089283A JPS6123431B2 JP S6123431 B2 JPS6123431 B2 JP S6123431B2 JP 58170892 A JP58170892 A JP 58170892A JP 17089283 A JP17089283 A JP 17089283A JP S6123431 B2 JPS6123431 B2 JP S6123431B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve seat
valve
rubber
reed
vent hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP58170892A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5973673A (ja
Inventor
Fumio Hiramatsu
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nok Corp
Original Assignee
Nok Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nok Corp filed Critical Nok Corp
Priority to JP17089283A priority Critical patent/JPS5973673A/ja
Publication of JPS5973673A publication Critical patent/JPS5973673A/ja
Publication of JPS6123431B2 publication Critical patent/JPS6123431B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K15/00Check valves
    • F16K15/14Check valves with flexible valve members
    • F16K15/16Check valves with flexible valve members with tongue-shaped laminae

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Check Valves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、通気孔を有するバルブシートとこの
通気孔を開閉させるリード弁との間の接触面の非
粘着性を十分に確保したリードバルブに関するも
のである。 本出願人は、先にバルブシートの通気孔の周縁
部に設けられたゴム状弾性体製弁座とそれに接触
するリード弁との間に、ポリテトラフルオロエチ
レンなどのフツ素樹脂層を設けることによりリー
ドバルブの前記接触面の非粘着性の確保を図るこ
とを提案している(実公昭54−45223号公報)。こ
の提案によつて、所期の目的を一応達成すること
ができたが、工業的にはなお解決されなければな
らないいくつかの問題点がみられる。 即ち、フツ素樹脂層は一般にリード弁に設けら
れるが、SUS材などの金属材料へのフツ素樹脂の
コーテイングは焼付けと必要とするなどコストア
ツプの要因となり、またフツ素樹脂層に金属材料
への密着性はアンカーコート剤などの使用によつ
ても、用いられる金属材料およびフツ素樹脂の種
類および組合せによつては十分に確保されない場
合もある。 本発明は、通気孔を有するバルブシート、該バ
ルブシートの一面側に固着され、前記通気孔を開
閉させるリード弁およびバルブシートの通気孔の
周縁部であつて、リード弁固着面側に装着された
ゴム状弾性体製弁座よりなるリードバルブにおい
て、前記弁座として表面が高周波スパツタエツチ
ングされたゴム状弾性体製弁座を用いることによ
り、究極的にバルブシートとリード弁との間の接
触面の非粘着性を十分に確保せんとするものであ
る。 図面の第1図は、本発明に係るリードバルブの
一態様の中心線縦断面図である。リードバルブ
は、ケース1内の吸気口2、吸気口側空室3と排
気口4、排気口側空室5との間の凹部に収容され
ており、通気孔6を有するバルブシート7、この
バルブシートの排気口側に固着され、前記通気孔
を開閉させるリード弁8、このリード弁のストツ
パーとして働く逆止弁9およびバルブシートの通
気孔の周縁部であつて、リード弁固着面側に装着
された高周波スパツタエツチングゴム状弾性体製
弁座10から構成されている。 ゴム状弾性体製弁座の高周波スパツタエツチン
グは、バルブシートへの取付け前にも行なうこと
ができるが、一般には取付け後にバルブシート全
体として行われる。図面の第2図は、高周波スパ
ツタエツチングを行なう方法の一態様を示すフロ
ーシートである。具体的には、 ベルジヤー型チヤンバー11内に設置された
一対の電極12,13の一方にゴム状弾性体製
弁座を装着したバルブシート14を適当な手段
で装着する。 油回転ポンプおよび油拡散ポンプ(いずれも
図示せず)に接続された排気ライン15によつ
て、チヤンバー内を10-7Torr(1.3×10-5Pa)
のオーダー迄減圧する。 ガス導入ライン16によつてアルゴンガスを
導入し、チヤンバー内の圧力を10-4Torr(1.3
×10-2Pa)とする。 次に、メインバルブを調節して、圧力を
10-1Torr(13Pa)とする。 高周波発振器17によつて発振させた高周波
を整合器18で、入射波と反射波の差が最大と
なるように調節する。なお、出力は可変であ
る。 放電はアルゴンによつて行われ、アルゴンの
プラスイオンがバルブシート側の電極を攻撃
し、このときにスパツタエツチングする。 一定時間放電してそれを止めた後リークさ
せ、表面処理されたゴム状弾性体製弁座装着バ
ルブシートを取り出す。 高周波スパツタエツチングでは、約10-2
10-1Torr(約1〜10Pa)という低圧条件下で、
高周波放電(周波数13.56KHz)が行われる。高
周波放電は、アルゴン、ネオン、クリプトンなど
の不活性ガスを使用して一般には行われるが、イ
オン化率やコストなどを考慮するとアルゴンの使
用が望ましい。この他にヘリウムや空気なども使
用でき、ほぼアルゴンを用いた場合と同様の処理
効果を与える。 ここで、実施例について本発明の効果を説明す
る。 実施例 下記のゴム加硫配合物をロール上で混練し、ア
ルミダイキヤスト製のバルブシートに加硫圧着成
形して弁座を装着させた。 フツ素ゴム(デユポン社製品 バイトンE−60C) 100重量部 MTカーボンブラツク 20 酸化マグネシウム 3 水酸化カルシウム 6 このようにして、ゴム状弾性体製弁座を装着さ
せたバルブシートを、前述のスパツタエツチング
装置を用い、出力90Wで高周波放電を1分間、25
分間または5分間行ない、それについて以下の方
法で粘着評価を行なつた。 (粘着評価方法) このような処理されたバルブシートにリード弁
を固着し、その上に荷重3Kgの重錘をのせ、200
℃の雰囲気中に20時間放置した。その後、重錘を
取除き、温度を室温迄房す。リード弁取付面と反
対のバルブシート面側に閉塞空気室を設け、そこ
に徐々に圧力を高めた空気を送り込み、リード弁
が全開した時点の空気圧を閉塞空気室に連結した
水性マノメーター(mmH2O)で読み取つて、バル
ブシートとリード弁間の粘着性を評価した。 得られた結果は次の表に示されるが、比較例1
は従来から行われているゴム状弾性体製弁座に接
触するリード弁にポリテトラフルオロエチレンコ
ーテイング樹脂層を設けた場合であり、比較例2
はゴム状弾性体製弁座に何らの処理も施さない場
合である。
【表】
【表】 これらの結果から、本発明のリードバルブにあ
つては、何らの処理を施さないものと比較して大
幅な粘着防止の効果が得られ、その粘着防止効果
の程度はフツ素樹脂コーテイング層を設けた場合
とほぼ同等である。しかしながら、本発明の場合
には、フツ素樹脂層を設ける場合のように、コス
ト要因となるコーテイング工程を設ける必要性が
なく、またコーテイング基材へのフツ素樹脂層の
不十分な密着性に原因するトラブルの発生の可能
性は全くなく、常に安定した一定品質のリードバ
ルブをより廉価に製造するという効果を奏する。 スパツタエツチングされる弁座用ゴム状弾性体
材料としては、耐熱性および耐ガソリン性などの
点から、この実施例で用いられたフツ素ゴムが特
に好ましいが、この他ニトリルゴム、アクリルゴ
ムなどの各種ゴムも単独であるいは混合物として
同様に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係るリードバルブの一態様
の中心線縦断面図である。第2図は、高周波スパ
ツタエツチングを行なう方法の一態様を示すフロ
ーシートである。 これらの図面で、符号6は通気孔、7はバルブ
シート、8はリード弁、そして10は高周波スパ
ツタエツチングゴム状弾性体製弁座をそれぞれ指
示する。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 通気孔を有するバルブシート、該バルブシー
    トの一面側に固着され、前記通気孔を開閉させる
    リード弁およびバルブシートの通気孔の周縁部で
    あつて、リード弁固着面側に装着されたゴム状弾
    性体製弁座よりなるリードバルブにおいて、前記
    弁座として表面が高周波スパツタエツチングされ
    たゴム状弾性体製弁座が用いられたリードバル
    ブ。
JP17089283A 1983-09-16 1983-09-16 リ−ドバルブ Granted JPS5973673A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17089283A JPS5973673A (ja) 1983-09-16 1983-09-16 リ−ドバルブ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17089283A JPS5973673A (ja) 1983-09-16 1983-09-16 リ−ドバルブ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5973673A JPS5973673A (ja) 1984-04-25
JPS6123431B2 true JPS6123431B2 (ja) 1986-06-05

Family

ID=15913249

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17089283A Granted JPS5973673A (ja) 1983-09-16 1983-09-16 リ−ドバルブ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5973673A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004232712A (ja) * 2003-01-30 2004-08-19 Arai Pump Mfg Co Ltd リードバルブ

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5247912A (en) * 1991-12-24 1993-09-28 Performance Industries, Inc. Reed valve mechanism and method for constructing same
JPH07174071A (ja) * 1993-08-10 1995-07-11 Sanden Corp 圧縮機の吐出機構
JP2002349730A (ja) * 2001-05-29 2002-12-04 Fujikura Rubber Ltd リードバルブ
JP2002349729A (ja) * 2001-05-29 2002-12-04 Fujikura Rubber Ltd リードバルブ
JP2002349731A (ja) * 2001-05-29 2002-12-04 Fujikura Rubber Ltd リードバルブ

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51119777A (en) * 1975-04-14 1976-10-20 Nitto Electric Ind Co Ltd Composite sheet
JPS5825091B2 (ja) * 1975-08-20 1983-05-25 東レ株式会社 ジユウゴウタイフイルムノヒヨウメンヘンセイホウ
JPS5445223U (ja) * 1977-09-02 1979-03-28

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004232712A (ja) * 2003-01-30 2004-08-19 Arai Pump Mfg Co Ltd リードバルブ

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5973673A (ja) 1984-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2023053973A5 (ja)
JPS6123431B2 (ja)
JP4085012B2 (ja) 真空排気系用バルブ
KR100793553B1 (ko) 밀봉 부품 및 기판 처리 장치
JPH11201288A (ja) ガスケット
AU6946398A (en) Intrinsic pump for vacuum sealing cast protectors
AU7558396A (en) Releasable mounting device
CN212643149U (zh) 用于离心泵的防塑料件变形自适应密封结构及塑料离心泵
CN211398567U (zh) 一种磁控溅射设备的真空腔体的密封装置
JP2004059038A (ja) 宇宙環境試験装置における扉の気密構造
JP3843677B2 (ja) 圧電ダイヤフラムポンプとその製造方法
JPS6329150B2 (ja)
JPH08145183A (ja) 真空シール用ガスケット及び真空シール構造
JPS6350589B2 (ja)
JP2001349437A (ja) シール材
JPS5747873A (en) Plasma etching method
JPH01188764A (ja) 高真空用ガスケツト
WO2003095388A1 (fr) Recipient de depressurisation pour panneau de verre
CN209245518U (zh) 法兰垫片及法兰组件
JP2571544B2 (ja) 管球のシール方法
JPH04262169A (ja) 真空フランジ用メタルガスケット
KR200233580Y1 (ko) 흡착판
JPS6236430A (ja) 真空連続処理装置
JPH05270277A (ja) 自動車用ガラスラン
JP2005315419A (ja) 金属ガスケット