JPS61234910A - フイルタ固定装置 - Google Patents
フイルタ固定装置Info
- Publication number
- JPS61234910A JPS61234910A JP7766685A JP7766685A JPS61234910A JP S61234910 A JPS61234910 A JP S61234910A JP 7766685 A JP7766685 A JP 7766685A JP 7766685 A JP7766685 A JP 7766685A JP S61234910 A JPS61234910 A JP S61234910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- receiver
- packing
- frame
- projections
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000006835 compression Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、半導体製造などに必要な無塵空間を作り出す
ためのフィルタの固定装置に関するものである。
ためのフィルタの固定装置に関するものである。
従来の技術
従来のフィルタ固定装置の代表的な例を第６図。
第７図に示す。第６図、第７図において、１はフィルタ
、２はフィルタ１の外周に設けられたフィルタ枠、３は
フィルタ枠２の下面に取り付けられたパツキン、４はフ
ィルタ１を載せるだめのフィルタ受け、６はフィルタ受
け４に垂直に固定されたボルトで、上側にはねじが切っ
である。６はボルト６の上側に取付けられ前記フィルタ
受け４とによりフィルタ１を挾持するフィルタ押え、７
はフィルタ押え６に下方向へ締付力を加える締付はナツ
ト、８はフィルタ受け４が固定されている外装体、矢印
は空気の流れである。
、２はフィルタ１の外周に設けられたフィルタ枠、３は
フィルタ枠２の下面に取り付けられたパツキン、４はフ
ィルタ１を載せるだめのフィルタ受け、６はフィルタ受
け４に垂直に固定されたボルトで、上側にはねじが切っ
である。６はボルト６の上側に取付けられ前記フィルタ
受け４とによりフィルタ１を挾持するフィルタ押え、７
はフィルタ押え６に下方向へ締付力を加える締付はナツ
ト、８はフィルタ受け４が固定されている外装体、矢印
は空気の流れである。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら従来の構成では、締付はナツト７を回し、
フィルタ押え６を介して下方向への締付力を加えた場合
、フィルタ枠２とフィルタ受け４とがパツキン３を介し
て面で接しているため、パツキン３に十分な圧縮力が加
わらず、パツキン３より空気の漏れが発生することがあ
る。また、締付はナツト７の締付はトルクにばらつきの
ある場合、パツキン３には弾性があるので、パツキン３
が一様に圧縮されず、圧縮性の悪い場所から空気の漏れ
が発生するという問題点を有していた。
フィルタ押え６を介して下方向への締付力を加えた場合
、フィルタ枠２とフィルタ受け４とがパツキン３を介し
て面で接しているため、パツキン３に十分な圧縮力が加
わらず、パツキン３より空気の漏れが発生することがあ
る。また、締付はナツト７の締付はトルクにばらつきの
ある場合、パツキン３には弾性があるので、パツキン３
が一様に圧縮されず、圧縮性の悪い場所から空気の漏れ
が発生するという問題点を有していた。
本発明はこのような問題点を解決するもので、フィルタ
枠とフィルタ受けがパツキンを介して線状に接触するこ
とＫより、パツキンからの空気の漏れを防止させること
を目的とするものである。
枠とフィルタ受けがパツキンを介して線状に接触するこ
とＫより、パツキンからの空気の漏れを防止させること
を目的とするものである。
問題点を解決するだめの手段
この問題点を解決するために本発明は、フィルタとフィ
ルタの外周に設けられたフィルタ枠と、フィルタ下部に
位置するフィルタ受けと、このフィルタ受けと、フィル
タ枠の間に設けられたパツキンと、フィルタ受け外周に
フィルタ受けと垂直に固定されたボルトと、ボルトの上
側に取り付けられたフィルタ押えを備え、前記フィルタ
枠と接触するフィルタ受けの上面に、先端が凸状になっ
た突起を設けたものである。
ルタの外周に設けられたフィルタ枠と、フィルタ下部に
位置するフィルタ受けと、このフィルタ受けと、フィル
タ枠の間に設けられたパツキンと、フィルタ受け外周に
フィルタ受けと垂直に固定されたボルトと、ボルトの上
側に取り付けられたフィルタ押えを備え、前記フィルタ
枠と接触するフィルタ受けの上面に、先端が凸状になっ
た突起を設けたものである。
作 用
この構成により、フィルタ押えによる押圧力が突起先端
の凸部に作用するために、パツキンに十分な圧縮力が作
用し、枠とフィルタ受けがパツキンを介して完全に密着
する。
の凸部に作用するために、パツキンに十分な圧縮力が作
用し、枠とフィルタ受けがパツキンを介して完全に密着
する。
実施例
以下、本発明の一実施例について第１図、第２図、およ
び第３図を参照して説明する。なお、従来例と同じ構成
の部分には同一の符号を用い、説明は省略する。図にお
いて、９はフィルタ受け４上に設けられた先端が凸状に
なった突起で、フィルタ枠２の下部のパツキン３と接触
している。１０は同様にフィルタ受け４上において、フ
ィルタ枠２の外周とわずかのすき間をおいて取り付けら
れたフィルタ固定金具である。
び第３図を参照して説明する。なお、従来例と同じ構成
の部分には同一の符号を用い、説明は省略する。図にお
いて、９はフィルタ受け４上に設けられた先端が凸状に
なった突起で、フィルタ枠２の下部のパツキン３と接触
している。１０は同様にフィルタ受け４上において、フ
ィルタ枠２の外周とわずかのすき間をおいて取り付けら
れたフィルタ固定金具である。
上記の構成において、締付はナツト７を回し、フィルタ
押え６を介して下方向への締付力を加えた場合、フィル
タ枠２とフィルタ受け４とがパツキン３を介して、突起
９の凸部先端で接しているため、締付力が突起９の凸部
先端部に集中して加わるため、パツキン３は十分に圧縮
される。この結果、パツキン３の圧縮不足による空気の
漏れを解消することができる。
押え６を介して下方向への締付力を加えた場合、フィル
タ枠２とフィルタ受け４とがパツキン３を介して、突起
９の凸部先端で接しているため、締付力が突起９の凸部
先端部に集中して加わるため、パツキン３は十分に圧縮
される。この結果、パツキン３の圧縮不足による空気の
漏れを解消することができる。
さらに本実施例においては、フィルタ固定金具１０を設
けており、突起９の凸部先端が、確実にパツキン３の中
央にくるようにフィルタ１をフィルタ受け４上でセット
できる。
けており、突起９の凸部先端が、確実にパツキン３の中
央にくるようにフィルタ１をフィルタ受け４上でセット
できる。
次に第４図、および第６図に他の実施例を示す。
第４図における突起９は逆Ｔ字形、第６図における突起
９はＵ字形となっている。この突起９は、先端の凸部が
２ケ所あるためパツキン３も２ケ所で圧縮されるので、
より空気漏れ防止性能を向上させることができる。
９はＵ字形となっている。この突起９は、先端の凸部が
２ケ所あるためパツキン３も２ケ所で圧縮されるので、
より空気漏れ防止性能を向上させることができる。
発明の効果
以上、実施例から明らかなように本発明によれば、フィ
ルタ受け上に先端が凸状になった突起を取り付けている
ため、圧縮力が突起先端凸部に集中し、パツキンが十分
に圧縮され、パツキンを通しての空気漏れを完全に防止
することができる。
ルタ受け上に先端が凸状になった突起を取り付けている
ため、圧縮力が突起先端凸部に集中し、パツキンが十分
に圧縮され、パツキンを通しての空気漏れを完全に防止
することができる。
また、フィルタ押えの押圧力のばらつきによる若干の圧
縮力の差が生じた場合でも、突起先端凸部への圧縮力集
中が相当大きいため、空気漏れは発生しない。さらに従
来よりも小さな押圧力でよいため、ボルト、フィルタ押
えを従来よりも小型化することができる。
縮力の差が生じた場合でも、突起先端凸部への圧縮力集
中が相当大きいため、空気漏れは発生しない。さらに従
来よりも小さな押圧力でよいため、ボルト、フィルタ押
えを従来よりも小型化することができる。
第１図は本発明の一実施例によるフィルタ固定装置を示
す縦断面図、第２図は同平面図、第３図は同要部拡大縦
断面図、第４図および第５図は本発明の他の実施例のフ
ィルタ固定装置の要部拡大縦断面図、第６図は従来のフ
ィルタ固定装置を示す縦断面図、第７図は同平面図であ
る。 １・・・・・・フィルタ、２・・・・・・フィルタ枠、
３・・・・・・パツキン、４・・・・−・フィルタ受け
、６・・・・・・ボルト、６・・・・・・フィルタ押え
、９・・・・・・突起。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名−つ
じ ■ンリ 第５図 箔６図
す縦断面図、第２図は同平面図、第３図は同要部拡大縦
断面図、第４図および第５図は本発明の他の実施例のフ
ィルタ固定装置の要部拡大縦断面図、第６図は従来のフ
ィルタ固定装置を示す縦断面図、第７図は同平面図であ
る。 １・・・・・・フィルタ、２・・・・・・フィルタ枠、
３・・・・・・パツキン、４・・・・−・フィルタ受け
、６・・・・・・ボルト、６・・・・・・フィルタ押え
、９・・・・・・突起。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名−つ
じ ■ンリ 第５図 箔６図
Claims (1)
- フィルタとフィルタの外周に設けられたフィルタ枠と、
フィルタ下部に位置するフィルタ受けと、このフィルタ
受けと前記フィルタ枠の間に設けられたパッキンと、前
記フィルタ受け外周にフィルタ受けと垂直に固定された
ボルトと、ボルトの上側に取り付けられたフィルタ押え
を備え、前記フィルタ枠と接触するフィルタ受けの上面
に、先端が凸状になった突起を設けたフィルタ固定装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7766685A JPS61234910A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | フイルタ固定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7766685A JPS61234910A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | フイルタ固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61234910A true JPS61234910A (ja) | 1986-10-20 |
Family
ID=13640200
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7766685A Pending JPS61234910A (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | フイルタ固定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61234910A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020058513A (ja) * | 2018-10-09 | 2020-04-16 | 三菱電機株式会社 | 脱臭装置 |
-
1985
- 1985-04-12 JP JP7766685A patent/JPS61234910A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020058513A (ja) * | 2018-10-09 | 2020-04-16 | 三菱電機株式会社 | 脱臭装置 |
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