JPS61236483A - 直交形位置決め装置 - Google Patents
直交形位置決め装置Info
- Publication number
- JPS61236483A JPS61236483A JP7637385A JP7637385A JPS61236483A JP S61236483 A JPS61236483 A JP S61236483A JP 7637385 A JP7637385 A JP 7637385A JP 7637385 A JP7637385 A JP 7637385A JP S61236483 A JPS61236483 A JP S61236483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable body
- positioning
- positioning device
- static pressure
- linear motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は直交形位置決め装置に係り、特に高精度な位置
決めが要求されるものに使用して好適な直交形位置決め
装置に関する。
決めが要求されるものに使用して好適な直交形位置決め
装置に関する。
従来の直交形位置決め装置は、特開昭５８−１９６９８
５号に記載のように、駆動手段として回転型ＤＣモータ
とボールねじの組み合わせたもの、案内手段としてリニ
アボールガイ゛ド１位置検出手段としてエンコーダを用
い、かつＸ軸方向に移動する可動体およびＹ軸内向に移
動する可動体がボールねじ部とリニアボールガイド部を
ころがり接触する構造となっている。しかるに、前記の
ころがり接触部には必らず摩擦力やバックラッシが存在
するため、繰り返し精度が±１０μｍ以下の位置決めを
実現することは困難である。高精度位置決めを実現する
ために、ころがり接触部のバックラッシを低減させる目
的で、ボールねじとりニアボールガイドに予圧をかける
方法があるが、この方法では摩擦が増加してしまい、±
１μｍの位置決め精度を得ることは難しい。また、描初
は高精度の位置決めが行えたとしても、摩擦力は経年変
化により変わるため、実質的に不可能である。
５号に記載のように、駆動手段として回転型ＤＣモータ
とボールねじの組み合わせたもの、案内手段としてリニ
アボールガイ゛ド１位置検出手段としてエンコーダを用
い、かつＸ軸方向に移動する可動体およびＹ軸内向に移
動する可動体がボールねじ部とリニアボールガイド部を
ころがり接触する構造となっている。しかるに、前記の
ころがり接触部には必らず摩擦力やバックラッシが存在
するため、繰り返し精度が±１０μｍ以下の位置決めを
実現することは困難である。高精度位置決めを実現する
ために、ころがり接触部のバックラッシを低減させる目
的で、ボールねじとりニアボールガイドに予圧をかける
方法があるが、この方法では摩擦が増加してしまい、±
１μｍの位置決め精度を得ることは難しい。また、描初
は高精度の位置決めが行えたとしても、摩擦力は経年変
化により変わるため、実質的に不可能である。
本発明の目的は、可動体の摩擦とバッ夛ラッシをなくて
、±１μｍ近くの高精度の位置形めを行うことができる
直交形位置決め装置を提供することにある。
、±１μｍ近くの高精度の位置形めを行うことができる
直交形位置決め装置を提供することにある。
本発明は、可動体の駆動手段としてリニアモータ、案内
手段として円筒形静圧空気案内、位置検出手段として光
学式リニアスケールを用いて可動体を完全に比接触とす
ることによシ、摩擦やバックラッシをなくして高精度の
位置決めを行うようにしたものである。
手段として円筒形静圧空気案内、位置検出手段として光
学式リニアスケールを用いて可動体を完全に比接触とす
ることによシ、摩擦やバックラッシをなくして高精度の
位置決めを行うようにしたものである。
以下、本発明の実施例を第１図、第２図に従って説明す
る。第１図は本発明による直交形位置決め装置の斜視図
、第２図は第１図０Ａ−Ａ矢視断面図を示している。こ
の直交形位置決め装置は、可動体１をＸ軸方向にて位置
決めする位置決め機構２と、可動体８をＹ軸方向にて位
置決めする位置決め機構４とからなっている。位置決め
機構２の駆動手段としてリニアモータ５、案内手段とし
て円筒形静圧空気案内６、位置拠出手段として光学式リ
ニアスケール７が用いられている。前記リニアモータ５
の可動子５ａけ可動体１に取付けられ、固定子６ｂおよ
び円筒形静圧空気案内６０両端部は支柱８に支持されて
いる。また円筒形静圧空気案内６はりニアモータ５の固
定子５ｂをはさんで上下に２本配慮されている。前記リ
ニアスケール７は＋７ ニアモータ固定子５ｂの背面に
取付けられている◇ また、位置決め機ＷＩ４も位置決め機構２と同様に、駆
動手段としてすニアモータ９．案内手段として円筒形静
圧空気案内１０、位置検出手段として光学式リニアケー
ス（図示せず）が用いられ、かつリニアモータ可動子９
ａが可動体８に取付けられ１円筒形静圧空気案内１０が
リニアモータ固定子９ｂをはさんで上下に２本配慮され
ると共に、リニアスケールがリニアモータ固定子９ｂの
背面に取付けられている。そして、位置決め機＄４全体
は可動体１に片持支持される、即ちリニアモータ固定子
９ｂおよび円筒形静圧空気案内１０の一端が可動体１に
取付けられている。
る。第１図は本発明による直交形位置決め装置の斜視図
、第２図は第１図０Ａ−Ａ矢視断面図を示している。こ
の直交形位置決め装置は、可動体１をＸ軸方向にて位置
決めする位置決め機構２と、可動体８をＹ軸方向にて位
置決めする位置決め機構４とからなっている。位置決め
機構２の駆動手段としてリニアモータ５、案内手段とし
て円筒形静圧空気案内６、位置拠出手段として光学式リ
ニアスケール７が用いられている。前記リニアモータ５
の可動子５ａけ可動体１に取付けられ、固定子６ｂおよ
び円筒形静圧空気案内６０両端部は支柱８に支持されて
いる。また円筒形静圧空気案内６はりニアモータ５の固
定子５ｂをはさんで上下に２本配慮されている。前記リ
ニアスケール７は＋７ ニアモータ固定子５ｂの背面に
取付けられている◇ また、位置決め機ＷＩ４も位置決め機構２と同様に、駆
動手段としてすニアモータ９．案内手段として円筒形静
圧空気案内１０、位置検出手段として光学式リニアケー
ス（図示せず）が用いられ、かつリニアモータ可動子９
ａが可動体８に取付けられ１円筒形静圧空気案内１０が
リニアモータ固定子９ｂをはさんで上下に２本配慮され
ると共に、リニアスケールがリニアモータ固定子９ｂの
背面に取付けられている。そして、位置決め機＄４全体
は可動体１に片持支持される、即ちリニアモータ固定子
９ｂおよび円筒形静圧空気案内１０の一端が可動体１に
取付けられている。
この直皮形位置決め装置において、リニアモータ５およ
び９に指令信号が与えられると、可動体１．８は円筒形
静圧空気案内６．１０で案内されながらＸ軸方向、Ｙ軸
方向にそれぞれ移動する。
び９に指令信号が与えられると、可動体１．８は円筒形
静圧空気案内６．１０で案内されながらＸ軸方向、Ｙ軸
方向にそれぞれ移動する。
各可動体１．８の移動量はリニアスケールで検出され、
その検出信号がフィードバックされて各可動体の位置決
めがなされる。この位置決め動作において、各可動体は
完全に非接触であるため、摺動部に摩擦やバックラッシ
がなくなり、±１μｍ近くま・での高精度の位置決めが
可能となる。ま九、位置決め機ｌ１ｌ１４が可動体１に
片持支持されている関係上、第２図に示したように、可
動体１にモーメントＭが発生するが、このモーメントＭ
ｅ−１２本の円筒形静圧９気案内６０反力？により支え
られる。従って、前記モーメントＭによる可動体１のた
わみを低減させることができる。また円筒形静圧空気案
内６への併給圧力を高くすることにより、反力Ｆｔ−大
きくできるので、モーメントＭによるたわみを微少にす
ることができる。
その検出信号がフィードバックされて各可動体の位置決
めがなされる。この位置決め動作において、各可動体は
完全に非接触であるため、摺動部に摩擦やバックラッシ
がなくなり、±１μｍ近くま・での高精度の位置決めが
可能となる。ま九、位置決め機ｌ１ｌ１４が可動体１に
片持支持されている関係上、第２図に示したように、可
動体１にモーメントＭが発生するが、このモーメントＭ
ｅ−１２本の円筒形静圧９気案内６０反力？により支え
られる。従って、前記モーメントＭによる可動体１のた
わみを低減させることができる。また円筒形静圧空気案
内６への併給圧力を高くすることにより、反力Ｆｔ−大
きくできるので、モーメントＭによるたわみを微少にす
ることができる。
以上の如く、本発明によれば、±１μｍの高精度の位置
決めを行うことができる。
決めを行うことができる。
第１図は本発明の直皮形位置決め装置を示す斜視図、第
２図は第１図のＡ−人矢視断面図である１．８・・・可
動体 ２．４・・・位置決め機１１１６．９・・・リニ
アモータ ６．１０・・・円筒形静圧空気案内７・・・
光学式リニアスケール。
２図は第１図のＡ−人矢視断面図である１．８・・・可
動体 ２．４・・・位置決め機１１１６．９・・・リニ
アモータ ６．１０・・・円筒形静圧空気案内７・・・
光学式リニアスケール。
Claims (1)
- 第１可動体を一軸方向にて位置決めする第１位置決め機
構と、第２可動体を第１可動体と直交する軸方向にて位
置決めする第２位置決め機構とを備え、第１、第２の位
置決め機構の駆動手段としてリニアモータ、案内手段と
して円筒形静圧空気案内、位置検出手段として光学式リ
ニアスケールで構成し、かつ前記第２位置決め機構全体
を第１可動体に片持支持させ、第１、第２の位置決め機
構の各円筒形静圧空気案内をリニアモータをはさんで上
下に２本づつ配慮したことを特徴とする直交形位置決め
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60076373A JPH0675834B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 直交形位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60076373A JPH0675834B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 直交形位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61236483A true JPS61236483A (ja) | 1986-10-21 |
| JPH0675834B2 JPH0675834B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=13603538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60076373A Expired - Fee Related JPH0675834B2 (ja) | 1985-04-12 | 1985-04-12 | 直交形位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0675834B2 (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5748520A (en) * | 1980-09-03 | 1982-03-19 | Shinko Electric Co Ltd | Stop method for carrier in conveyor |
| JPS57149179A (en) * | 1981-03-13 | 1982-09-14 | Nippon Electric Co | Rectangular coordinate type robot |
| JPS58196984A (ja) * | 1982-05-12 | 1983-11-16 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
| JPS6032168A (ja) * | 1983-08-03 | 1985-02-19 | Hitachi Ltd | 送り装置 |
-
1985
- 1985-04-12 JP JP60076373A patent/JPH0675834B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5748520A (en) * | 1980-09-03 | 1982-03-19 | Shinko Electric Co Ltd | Stop method for carrier in conveyor |
| JPS57149179A (en) * | 1981-03-13 | 1982-09-14 | Nippon Electric Co | Rectangular coordinate type robot |
| JPS58196984A (ja) * | 1982-05-12 | 1983-11-16 | 松下電器産業株式会社 | 工業用ロボツト |
| JPS6032168A (ja) * | 1983-08-03 | 1985-02-19 | Hitachi Ltd | 送り装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0675834B2 (ja) | 1994-09-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |