JPS6032168A - 送り装置 - Google Patents

送り装置

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JPS6032168A
JPS6032168A JP14104583A JP14104583A JPS6032168A JP S6032168 A JPS6032168 A JP S6032168A JP 14104583 A JP14104583 A JP 14104583A JP 14104583 A JP14104583 A JP 14104583A JP S6032168 A JPS6032168 A JP S6032168A
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JP
Japan
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piezoelectric vibrator
air bearing
feeding device
linear motor
present
Prior art date
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JP14104583A
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English (en)
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JPH0516106B2 (ja
Inventor
Fumio Hara
文夫 原
Masuo Kasai
笠井　増雄
Toshimitsu Kaku
敏光 賀来
Atsushi Saito
温 斉藤
Takeshi Tajima
但馬　武
Fumio Imagawa
今川　文夫
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/08—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers
    • G11B7/085—Disposition or mounting of heads or light sources relatively to record carriers with provision for moving the light beam into, or out of, its operative position or across tracks, otherwise than during the transducing operation, e.g. for adjustment or preliminary positioning or track change or selection
    • G11B7/0857—Arrangements for mechanically moving the whole head
    • G11B7/08582—Sled-type positioners
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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    • G11B7/0857—Arrangements for mechanically moving the whole head

Landscapes

  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Moving Of Heads (AREA)
  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、送シ装置に係シ、特に光ディスクや磁気ディ
スク等のヘッドの一定間隔の微小送シに用いて好適な精
密送シ装置に関する。
〔発明の背景〕
従来、光デイスク装置や磁気ディスク装置においてヘッ
ド送シ装置として、第１図に示すようなりニヤモータ１
と静圧空気軸受スライド２が用いられている。光デイス
ク装置や磁気ディスク装置では記録容量を増大するため
に、リニヤモータの送ル量を微細に調整して同心円状の
微細な一定間隔のトラックに信号を記録する必要がある
。
静圧空気軸受スライドは、その構造上重量が大きくなシ
、微細なトラックピッチで送ると、ダンピング効果がな
いのでなかなか静定せず、信号の記録に時間を要する。
一方、リニヤモータを微細トラックピッチで送るには、
その不感帯を小さくするように設計する必要がある。
静圧空気軸受スライドは非接触なためステイクスリップ
がない滑らかな動龜を必要とする所に用いられている。
しかしながら、空気を用いているため空気の脈流等によ
ってスライド部に０．０１９ｍオーダの非常に微細な振
動を生ずる。
従って、１μｍ前後の微細な一定間隔のトラックピッチ
で精度に同心円状のトラックに信号を記録するのは従来
の装置では困難であった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、上述のような欠点をなくし、微細で精
密な一定のトラックピッチの信号を記録できる送＃）機
構を提供することにある。
〔発明の概要〕
かかる目的を達成するために、本発明は、リニヤモータ
で粗な位置決めを行い、更に密な送シを圧電振動子で行
なう二段階の位置決め機構を用いるものである。
〔゛発明め実施例〕
以下、本発明を実施例に従って説明する。説明は光ディ
スクの場合について行なうが、磁気ディスク装置や半導
体製造設備等の他の送シ装置にも、本発明の本質を損う
ことなく適用できるものである。
第２図は本発明の一実施例を示す側面図である。
リニヤモータ１は、レーザ測長器６等の位置センサによ
って現在場所をモニタしながら目的とする所まで送られ
る。本実施例では静圧空気軸受スライド２の軸１０が、
リニヤモータ１と接続されているので、空気供給用のホ
ース１１等の外乱が少い。軸１０の先端には、■ヘッド
３が取シ付けられ、その間に圧電振動子９が位置する。
光ヘッド３の位置はレーザ測長器８等の位置センサによ
って現在場所がモニタされ、リニヤモータ１で送られた
目標位置との差分だけ圧電振動子９が動いて目標位置に
来る。この構成によれば、圧電振動子９で動く部分の重
量は小さく、また圧電振動子９のストーロクも±５μｍ
程度と小さくてすむため正確で微細な位置決めを速く行
なうことが出来る。
なお、圧電振動子９で動く部分に設けたレーザ測長器８
等の位置センサの値は、先述した静圧空気軸受スライド
２の軸１０の振動によって微細に動く。そこで、この動
きに対応して圧電振動子９を動かして目標位置を正確に
キープする。従って、非常に高精度で一定間隔の同心円
状のトラックピッチで信号が記録できることになる。
第３図は本発明の他の実施例を示す側面図である。この
場合は、−静圧空気軸受２の軸１０を固定し、リニヤモ
ータ１では軸受部を動かすものである。軸受２の先端に
は圧電振動子９が設置され、第２図の場合と同様に正確
で微細な位置決めを行なうことが出来る。
〔発明の効果〕
以上述べたように、本発明によれば、正確で微細な位置
決めを速く行なうことが出来る機構を提供できる効果が
ある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、リニヤモータと静圧空気軸受スライドよシな
る従来の送シ装置の側面図、第２図、第３図は本発明の
一実施例を示す側面図である。 トリニヤモータ、２・・・静圧空気軸受、３・・・光ヘ
ッド、４・・・ディスク、５・・・スピンドル、６・・
・レーザ測長器、７・・・ミラー、８・・・レーザ測長
器、９・・・圧電振動子、１ｏ・・・軸、１１・・・ポ
ース◎第１頁の続き ０発　明　者　但　馬　武　国分寺市東恋央研究所内 ０発　明　者　今　川　文　夫　国分寺市東恋央研究所
内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. リニアモータと静圧空気軸受スライダにょシ所定物を所
    望の位置へ位置決めする送シ装置において、上記所定物
    を圧電振動子を介して上記静圧空気軸受スライダに接続
    し、該圧電振動子にょシ微細な送り制御を行なうことを
    特徴とする送シ装置。
JP14104583A 1983-08-03 1983-08-03 送り装置 Granted JPS6032168A (ja)

Priority Applications (1)

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JP14104583A JPS6032168A (ja) 1983-08-03 1983-08-03 送り装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP14104583A JPS6032168A (ja) 1983-08-03 1983-08-03 送り装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6032168A true JPS6032168A (ja) 1985-02-19
JPH0516106B2 JPH0516106B2 (ja) 1993-03-03

Family

ID=15282963

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JP14104583A Granted JPS6032168A (ja) 1983-08-03 1983-08-03 送り装置

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61236483A (ja) * 1985-04-12 1986-10-21 株式会社日立製作所 直交形位置決め装置
JPS63117376A (ja) * 1986-11-04 1988-05-21 Victor Co Of Japan Ltd 記録再生素子の駆動変位用アクチユエ−タの制御方式
US5012463A (en) * 1988-03-14 1991-04-30 Bernoulli Optical Systems Company Optical read/write storage system for flexible media having bernoulli stabilization at the optical head
JPH0462606A (ja) * 1990-07-02 1992-02-27 Canon Inc 微小位置調整方法及び装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3720924A (en) * 1972-03-09 1973-03-13 Honeywell Inc Optical mass memory
JPS5136924A (ja) * 1974-09-24 1976-03-29 Nippon Electric Co Jikihetsudoichigimesochi
JPS53107805A (en) * 1977-03-02 1978-09-20 Hitachi Ltd Magnetic head locator
JPS5471612A (en) * 1977-11-17 1979-06-08 Nec Corp Servo track writing device of magnetic disc memory device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3720924A (en) * 1972-03-09 1973-03-13 Honeywell Inc Optical mass memory
JPS5136924A (ja) * 1974-09-24 1976-03-29 Nippon Electric Co Jikihetsudoichigimesochi
JPS53107805A (en) * 1977-03-02 1978-09-20 Hitachi Ltd Magnetic head locator
JPS5471612A (en) * 1977-11-17 1979-06-08 Nec Corp Servo track writing device of magnetic disc memory device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61236483A (ja) * 1985-04-12 1986-10-21 株式会社日立製作所 直交形位置決め装置
JPS63117376A (ja) * 1986-11-04 1988-05-21 Victor Co Of Japan Ltd 記録再生素子の駆動変位用アクチユエ−タの制御方式
US5012463A (en) * 1988-03-14 1991-04-30 Bernoulli Optical Systems Company Optical read/write storage system for flexible media having bernoulli stabilization at the optical head
JPH0462606A (ja) * 1990-07-02 1992-02-27 Canon Inc 微小位置調整方法及び装置

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Publication number Publication date
JPH0516106B2 (ja) 1993-03-03

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