JPS6124876B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6124876B2 JPS6124876B2 JP52158868A JP15886877A JPS6124876B2 JP S6124876 B2 JPS6124876 B2 JP S6124876B2 JP 52158868 A JP52158868 A JP 52158868A JP 15886877 A JP15886877 A JP 15886877A JP S6124876 B2 JPS6124876 B2 JP S6124876B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- imaging
- state imaging
- imaging device
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、複数個の固体撮像体を所定の空間位
置に配設することによつて高解像度化を図るよう
にした固体撮像装置における固体撮像体のアライ
メント誤差を表示する方法に関する。
置に配設することによつて高解像度化を図るよう
にした固体撮像装置における固体撮像体のアライ
メント誤差を表示する方法に関する。
一般に、光学像を直接光学的にサンプリングし
て光電変換する電荷結合素子（Charge Coupled
Device）等の固体撮像体で構成された固体撮像
装置では、高解度の撮像画像を得るために、充分
に高いサンプリング周波数で固体撮像体を駆動さ
せるために、固体撮像体の素子寸法を小さくする
とともに素子数を多くする必要がある。しかし、
現在の半導体製造技術では、充分な解像度を得る
に必要な多数絵素の固体撮像体を製造するのが極
めて困難である。
て光電変換する電荷結合素子（Charge Coupled
Device）等の固体撮像体で構成された固体撮像
装置では、高解度の撮像画像を得るために、充分
に高いサンプリング周波数で固体撮像体を駆動さ
せるために、固体撮像体の素子寸法を小さくする
とともに素子数を多くする必要がある。しかし、
現在の半導体製造技術では、充分な解像度を得る
に必要な多数絵素の固体撮像体を製造するのが極
めて困難である。
そこで、本出願人は、製造が容易な少ない絵素
数の固体撮像体を複数個使用して、高解像度を実
現し得るようにした固体撮像装置を、先に特願昭
49−35277や特願昭50−56912等で提案している。
すなわち、例えば、第１図に示すように、緑用の
電荷結合素子（以下、単にCCDという。）１に対
して、赤および青の各CCD２，３を絵素ピツチ
τの1/2だけ横方向にずらして配置し、各CCD
１，２，３で得られる各撮像信号の信号レベル
を、 ＬG＝ＬR＋ＬB ………第１式 となるように調整しておき、上記の各撮像信号を
合成して高解度の撮像出力信号を得るようにした
固体撮像装置を提案している。ここで、上記の第
１式において、ＬGは緑用のCCD１で得られる撮
像信号の信号レベル、ＬRは赤用のCCD２で得ら
れる撮像信号の信号レベル、ＬBは青用のCCD３
で得られる撮像信号である。
数の固体撮像体を複数個使用して、高解像度を実
現し得るようにした固体撮像装置を、先に特願昭
49−35277や特願昭50−56912等で提案している。
すなわち、例えば、第１図に示すように、緑用の
電荷結合素子（以下、単にCCDという。）１に対
して、赤および青の各CCD２，３を絵素ピツチ
τの1/2だけ横方向にずらして配置し、各CCD
１，２，３で得られる各撮像信号の信号レベル
を、 ＬG＝ＬR＋ＬB ………第１式 となるように調整しておき、上記の各撮像信号を
合成して高解度の撮像出力信号を得るようにした
固体撮像装置を提案している。ここで、上記の第
１式において、ＬGは緑用のCCD１で得られる撮
像信号の信号レベル、ＬRは赤用のCCD２で得ら
れる撮像信号の信号レベル、ＬBは青用のCCD３
で得られる撮像信号である。
このような固体撮像装置では、各CCD１，
２，３から得られる各撮像信号について、基底帯
域信号が全て同相でサンプリングによる側帯波成
分が緑用のCCD１からの撮像信号と赤および青
用の各CCD２，３からの各撮像信号とで逆相と
なるような所定の相対的な空間位置に上記の各
CCD１，２，３を高精度に位置調整（いわゆる
レジストレーシヨン）しておく必要がある。とこ
ろで、上述の如き固体撮像装置を実動させた場合
には、衝撃、経時変化や温度変化等によつて各
CCD１，２，３が所定の空間位置より位置ずれ
して、アライメント誤差による折り返し歪を含ん
だ撮像出力信号を出力してしまうという問題を生
ずることがある。
２，３から得られる各撮像信号について、基底帯
域信号が全て同相でサンプリングによる側帯波成
分が緑用のCCD１からの撮像信号と赤および青
用の各CCD２，３からの各撮像信号とで逆相と
なるような所定の相対的な空間位置に上記の各
CCD１，２，３を高精度に位置調整（いわゆる
レジストレーシヨン）しておく必要がある。とこ
ろで、上述の如き固体撮像装置を実動させた場合
には、衝撃、経時変化や温度変化等によつて各
CCD１，２，３が所定の空間位置より位置ずれ
して、アライメント誤差による折り返し歪を含ん
だ撮像出力信号を出力してしまうという問題を生
ずることがある。
上記の実動状態の固体撮像装置におけるアライ
メント誤差を検出して、改めて再レジストレーシ
ヨンを行う作業は従来極めて困難であつた。
メント誤差を検出して、改めて再レジストレーシ
ヨンを行う作業は従来極めて困難であつた。
そこで、本発明は実動状態にある固体撮像装置
における各固体撮像体のアライメント誤差をサン
プリングによる側帯波成分の有無より検出し、そ
の検出出力信号をアライメント誤差の有無を表示
部に表示させるようにして、各固体撮像体の再レ
ジストレーシヨンを簡単に行い得るようにしよう
とするものである。
における各固体撮像体のアライメント誤差をサン
プリングによる側帯波成分の有無より検出し、そ
の検出出力信号をアライメント誤差の有無を表示
部に表示させるようにして、各固体撮像体の再レ
ジストレーシヨンを簡単に行い得るようにしよう
とするものである。
以下、本発明について、上述の第１図に示した
固体撮像装置に本発明方法を適用するようにした
一実施例を用いて、図面を参照しながら詳細に説
明する。
固体撮像装置に本発明方法を適用するようにした
一実施例を用いて、図面を参照しながら詳細に説
明する。
本発明方法では、複数個の固体撮像体を所定の
空間位置に配設して高解像度化を図るようにし
た、上述の第１図に示した如きの固体撮像装置に
おいて、所定の縞数を有する縞模様パターンを撮
像して得られる撮像信号中のサンプリングによる
側帯波成分を検出し、その検出出力信号で表示部
を駆動することによつて、上記の固体撮像体のア
ライメント誤差の表示を行う。
空間位置に配設して高解像度化を図るようにし
た、上述の第１図に示した如きの固体撮像装置に
おいて、所定の縞数を有する縞模様パターンを撮
像して得られる撮像信号中のサンプリングによる
側帯波成分を検出し、その検出出力信号で表示部
を駆動することによつて、上記の固体撮像体のア
ライメント誤差の表示を行う。
ここで、上記の所定の縞数を有する縞模様パタ
ーンは、例えば、第２図に示すような縦縞模様の
白黒パターン４が用いられ、その縞数によつて、
撮像信号に基底帯域成分を与える。すなわち、上
記の白黒パターン４を固体撮像装置で画面一ぱい
に撮像した場合に、水平方向の有効画面巾は通常
52.7μｓ程度であるから、上記の白黒パターン４
として50本の縦縞が等間隔に描かれていれば、固
体撮像装置の各CCD１，２，３で各々得られる
各撮像信号には約1MHzの基底帯域成分が含まれ
ることになる。上記の白黒パターン４の縞数が25
本であれば約0.5MHz、100本であれば約2MHzの
基底帯域成分が各撮像信号に含まれることにな
る。なお、この実施例では、上記の白黒パターン
４の縞数を50本とする。
ーンは、例えば、第２図に示すような縦縞模様の
白黒パターン４が用いられ、その縞数によつて、
撮像信号に基底帯域成分を与える。すなわち、上
記の白黒パターン４を固体撮像装置で画面一ぱい
に撮像した場合に、水平方向の有効画面巾は通常
52.7μｓ程度であるから、上記の白黒パターン４
として50本の縦縞が等間隔に描かれていれば、固
体撮像装置の各CCD１，２，３で各々得られる
各撮像信号には約1MHzの基底帯域成分が含まれ
ることになる。上記の白黒パターン４の縞数が25
本であれば約0.5MHz、100本であれば約2MHzの
基底帯域成分が各撮像信号に含まれることにな
る。なお、この実施例では、上記の白黒パターン
４の縞数を50本とする。
そして、このような白黒パターン４を上述の固
体撮像装置で撮像して、各CCD１，２，３に得
られる各撮像信号は、第３図のブロツク図で示さ
れる如きのアライメント誤差検出表示装置の第１
ないし第３の入力端子５，６，７より各々プロセ
ス処理回路８，９，１０を介してマトリクス回路
１１に供給される。
体撮像装置で撮像して、各CCD１，２，３に得
られる各撮像信号は、第３図のブロツク図で示さ
れる如きのアライメント誤差検出表示装置の第１
ないし第３の入力端子５，６，７より各々プロセ
ス処理回路８，９，１０を介してマトリクス回路
１１に供給される。
さらに、上記のマトリクス回路１１において、
各撮像信号を信号合成して得られる撮像出力信号
中の輝度信号が帯域通過フイルタ１２を介して表
示部駆動回路１３に供給され、この表示部駆動回
路１３の出力信号によつて表示部１４を駆動す
る。
各撮像信号を信号合成して得られる撮像出力信号
中の輝度信号が帯域通過フイルタ１２を介して表
示部駆動回路１３に供給され、この表示部駆動回
路１３の出力信号によつて表示部１４を駆動す
る。
ここで、この実施例では、上記の固体撮像装置
の各CCD１，２，３による撮像動作のサンプリ
ング周波数を5MHzとすれば、上記の帯域通過フ
イルタ１２の中心周波数を4MHzに定める。
の各CCD１，２，３による撮像動作のサンプリ
ング周波数を5MHzとすれば、上記の帯域通過フ
イルタ１２の中心周波数を4MHzに定める。
そこで、上述の如き実施例において、固体撮像
装置の各CCD１，２，３が何等かの原因で所定
の空間位置よりずれてアライメント誤差を生じて
いる場合に上記の固体撮像装置で白黒パターン４
を撮像して得られる撮像出力信号は、周波数が
1MHzの基底帯域成分に対する5MHzのサンプリ
ング周波数でのサンプリングによる下側帯波成分
を生じ、上記の下側帯波成分が折返し歪となつて
輝度信号中に含まれてしまうことになる。第４図
は、上記の輝度信号中に含まれる信号成分の周波
数分布を示している。そして、上記の下側帯波成
分の信号レベルは折返し歪の量に比例するので、
上記の輝度信号を中心周波数が4MHzの帯域通過
フイルタ１２を通過させることによつて上記の下
側帯波成分を検出し、その検出出力信号に応じて
表示部駆動回路１３を作動させることによつて表
示部１４で上記の折返し歪の有無すなわちアライ
メント誤差の有無を表示することができる。
装置の各CCD１，２，３が何等かの原因で所定
の空間位置よりずれてアライメント誤差を生じて
いる場合に上記の固体撮像装置で白黒パターン４
を撮像して得られる撮像出力信号は、周波数が
1MHzの基底帯域成分に対する5MHzのサンプリ
ング周波数でのサンプリングによる下側帯波成分
を生じ、上記の下側帯波成分が折返し歪となつて
輝度信号中に含まれてしまうことになる。第４図
は、上記の輝度信号中に含まれる信号成分の周波
数分布を示している。そして、上記の下側帯波成
分の信号レベルは折返し歪の量に比例するので、
上記の輝度信号を中心周波数が4MHzの帯域通過
フイルタ１２を通過させることによつて上記の下
側帯波成分を検出し、その検出出力信号に応じて
表示部駆動回路１３を作動させることによつて表
示部１４で上記の折返し歪の有無すなわちアライ
メント誤差の有無を表示することができる。
従つて、上記の表示部１４としてランプやメー
タ等を用いて撮像装置のビユーフアインダ内等に
上記のアライメント誤差を表示するようにしてお
けば、実動状態にある撮像装置においても、操作
者がアライメント誤差の有無を確認して、この表
示を見ながら上記のアライメント誤差が零となる
ように各CCD１，２，３の再レジストレーシヨ
ンを簡単に行うことができるようになる。
タ等を用いて撮像装置のビユーフアインダ内等に
上記のアライメント誤差を表示するようにしてお
けば、実動状態にある撮像装置においても、操作
者がアライメント誤差の有無を確認して、この表
示を見ながら上記のアライメント誤差が零となる
ように各CCD１，２，３の再レジストレーシヨ
ンを簡単に行うことができるようになる。
なお、上述の実施例において使用した白黒パタ
ーン４では、撮像出力信号中の輝度信号が第５図
に示すように方形波状となるので、基底帯域成分
に対する高調波成分を含んでしまうので、第６図
に示すように白黒パターン４′の濃淡が漸次増減
するようにして、撮像信号中の輝度信号が正弦波
状となるようにしておいた方が良い。
ーン４では、撮像出力信号中の輝度信号が第５図
に示すように方形波状となるので、基底帯域成分
に対する高調波成分を含んでしまうので、第６図
に示すように白黒パターン４′の濃淡が漸次増減
するようにして、撮像信号中の輝度信号が正弦波
状となるようにしておいた方が良い。
上述の如く、本発明によれば、複数個の固体撮
像体を所定の空間位置に配すると共に各固体撮像
体の出力を合成し撮像信号を得て高解像度化を図
るようにした固体撮像装置において、所定の縞数
を有する縞模様パターンを撮像して得られる上記
撮像信号中のサンプリングによる側帯波成分を検
出し、その検出出力で表示部を駆動して、上記複
数の固体撮像体間のアライメント誤差を表示する
ようにしたことを特徴とする固体撮像装置におけ
るアライメント誤差表示方法とすることによつ
て、実動状態にある固体撮像装置の固体撮像体の
アライメント誤差を表示することができ、上記の
固体撮像体を簡単に再レジストレーシヨンするこ
とが可能になる。
像体を所定の空間位置に配すると共に各固体撮像
体の出力を合成し撮像信号を得て高解像度化を図
るようにした固体撮像装置において、所定の縞数
を有する縞模様パターンを撮像して得られる上記
撮像信号中のサンプリングによる側帯波成分を検
出し、その検出出力で表示部を駆動して、上記複
数の固体撮像体間のアライメント誤差を表示する
ようにしたことを特徴とする固体撮像装置におけ
るアライメント誤差表示方法とすることによつ
て、実動状態にある固体撮像装置の固体撮像体の
アライメント誤差を表示することができ、上記の
固体撮像体を簡単に再レジストレーシヨンするこ
とが可能になる。
なお、本発明は、上述の実施例にのみ適用し得
るものでなく、２枚以上の固体撮像体を所定の空
間位置に配設するようにした固体撮像装置に適用
することによつて、充分な効果を得ることができ
る。
るものでなく、２枚以上の固体撮像体を所定の空
間位置に配設するようにした固体撮像装置に適用
することによつて、充分な効果を得ることができ
る。
第１図は本発明が適用される固体撮像装置の各
固体撮像体の配設空間位置を示す平面図である。
第２図は本発明の実施に用いられる縞模様パター
ンの一例を示す平面図である。第３図は本発明を
適用して構成したアライメント誤差検出表示装置
の一実施例を示すブロツク図である。第４図は上
記の実施例における撮像出力信号中の輝度信号に
含まれる信号成分の周波数分布を示す分布図であ
る。第５図は上記の第２図の縞模様パターンを撮
像して得られる輝度信号の波形図である。第６図
は本発明の実施に用いられる縞模様パターンの他
の例を示す平面図である。 １，２，３……固体撮像体、４，４′……縞模
様パターン、５，６，７……信号入力端子、８，
９，１０……プロセス回路、１１……マトリクス
回路、１２……帯域通過フイルタ、１３……表示
部駆動回路、１４……表示部。
固体撮像体の配設空間位置を示す平面図である。
第２図は本発明の実施に用いられる縞模様パター
ンの一例を示す平面図である。第３図は本発明を
適用して構成したアライメント誤差検出表示装置
の一実施例を示すブロツク図である。第４図は上
記の実施例における撮像出力信号中の輝度信号に
含まれる信号成分の周波数分布を示す分布図であ
る。第５図は上記の第２図の縞模様パターンを撮
像して得られる輝度信号の波形図である。第６図
は本発明の実施に用いられる縞模様パターンの他
の例を示す平面図である。 １，２，３……固体撮像体、４，４′……縞模
様パターン、５，６，７……信号入力端子、８，
９，１０……プロセス回路、１１……マトリクス
回路、１２……帯域通過フイルタ、１３……表示
部駆動回路、１４……表示部。
Claims (1)
- １ 複数個の固体撮像体を所定の空間位置に配す
ると共に各固体撮像体の出力を合成し撮像信号を
得て高解像度化を図るようにした固体撮像装置に
おいて、所定の縞数を有する縞模様パターンを撮
像して得られる上記撮像信号中のサンプリングに
よる側帯波成分を検出し、その検出出力で表示部
を駆動して、上記複数の固体撮像体間のアライメ
ント誤差を表示するようにしたことを特徴とする
固体撮像装置におけるアライメント誤差表示方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15886877A JPS5492014A (en) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | Alignment-error display method in solid image pick-up device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15886877A JPS5492014A (en) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | Alignment-error display method in solid image pick-up device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5492014A JPS5492014A (en) | 1979-07-20 |
| JPS6124876B2 true JPS6124876B2 (ja) | 1986-06-12 |
Family
ID=15681149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15886877A Granted JPS5492014A (en) | 1977-12-29 | 1977-12-29 | Alignment-error display method in solid image pick-up device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5492014A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9726145B2 (en) | 2013-12-31 | 2017-08-08 | General Electric Company | System and method for protection of a wind turbine battery backup pitch control system |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2606185B2 (ja) * | 1985-06-17 | 1997-04-30 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子のレジストレーション測定方法 |
| JP6947204B2 (ja) * | 2015-03-24 | 2021-10-13 | ソニーグループ株式会社 | 撮像装置とその製造方法 |
-
1977
- 1977-12-29 JP JP15886877A patent/JPS5492014A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9726145B2 (en) | 2013-12-31 | 2017-08-08 | General Electric Company | System and method for protection of a wind turbine battery backup pitch control system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5492014A (en) | 1979-07-20 |
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