JPS61249268A - ロツド両端面の高平行度加工法 - Google Patents
ロツド両端面の高平行度加工法Info
- Publication number
- JPS61249268A JPS61249268A JP60088478A JP8847885A JPS61249268A JP S61249268 A JPS61249268 A JP S61249268A JP 60088478 A JP60088478 A JP 60088478A JP 8847885 A JP8847885 A JP 8847885A JP S61249268 A JPS61249268 A JP S61249268A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- jig
- rod
- lapping
- parallelism
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、ロッド両端面のラッピングによる平行度加工
法に関する。
法に関する。
従来、この種の加工法として、第1図(、)および(b
λ又は第2図(、)および(b)に示すごとく、治具1
に被加工用のロッド2を接着剤3によシ熱接着し。
λ又は第2図(、)および(b)に示すごとく、治具1
に被加工用のロッド2を接着剤3によシ熱接着し。
ロッド2の上下の端面を第3図(、)および(b)K示
す如きラッピング用定盤4で片面づつラッピング加工す
る方法が一般によく知られている。なお、第3図(、)
はラッピング用定盤の上面図、(b)は側面図を示して
おシ、5は治具支持用のローラ、6はローラ保持具、7
は定盤回転軸、8はラッピング用砥粒、そして9は砥粒
供給口である。この例において、治具1は、一般に金属
性のものが使用されている。しかし、被加工物がセラミ
ックスやその他の酸化物単結晶のように治具と熱膨張係
数が異なる場合には、熱可塑性の接着剤の加熱によシ。
す如きラッピング用定盤4で片面づつラッピング加工す
る方法が一般によく知られている。なお、第3図(、)
はラッピング用定盤の上面図、(b)は側面図を示して
おシ、5は治具支持用のローラ、6はローラ保持具、7
は定盤回転軸、8はラッピング用砥粒、そして9は砥粒
供給口である。この例において、治具1は、一般に金属
性のものが使用されている。しかし、被加工物がセラミ
ックスやその他の酸化物単結晶のように治具と熱膨張係
数が異なる場合には、熱可塑性の接着剤の加熱によシ。
被加工物に次のような熱応力。
λ−E(TI −To )(α皿−α宜) ・・
・(1)が発生する。上記(1)式において、λは被加
工物の熱応力(Kg/IM?) 、 Eは被加工物のヤ
ング率(Kg/cyyy” ) t T oは室温(℃
)、Ttは加熱温度(℃)、α、は被加工物の熱膨張係
数、α重は治具の熱膨張係数である。但し、治具の大き
さは被加工物の大きさよ多数倍大きいとする。ラッピン
グ加工中は、この熱応力λが被加工物に作用している。
・(1)が発生する。上記(1)式において、λは被加
工物の熱応力(Kg/IM?) 、 Eは被加工物のヤ
ング率(Kg/cyyy” ) t T oは室温(℃
)、Ttは加熱温度(℃)、α、は被加工物の熱膨張係
数、α重は治具の熱膨張係数である。但し、治具の大き
さは被加工物の大きさよ多数倍大きいとする。ラッピン
グ加工中は、この熱応力λが被加工物に作用している。
このような状態では、被加工物の上下端面の平行度をよ
くしても、加工終了後、治具から被加工物を剥離した場
合、熱応力が解放されて変形し。
くしても、加工終了後、治具から被加工物を剥離した場
合、熱応力が解放されて変形し。
当初の平行度が保持比ないという欠点があった。
本発明の目的は、この欠点を′除去するため、被加工物
と同一系材質の治具を使用することによって、加工後の
変形を防止し、精度の高い平行度を得ることのできるロ
ッド両端面の高平行度加工法を提供することにある。
と同一系材質の治具を使用することによって、加工後の
変形を防止し、精度の高い平行度を得ることのできるロ
ッド両端面の高平行度加工法を提供することにある。
本発明によるロッド両端面の高平行度加工法は。
ロッド状の被加工物を該被加工物と同一系材質の治具に
熱接着させ、ラッピング用定盤のうえで片面づつラッピ
ング加工することを特徴とする。
熱接着させ、ラッピング用定盤のうえで片面づつラッピ
ング加工することを特徴とする。
次に2本発明による高平行度加工法について。
実施例を挙げて説明する。
ここでは、被加工物として外径3 m 、長さ60■の
棒状YAGレーザロッドの両端面を平行に加工する場合
を例にして説明する。まず、レーザロッドを第1図にお
ける治具1に約60℃の温度で加熱によシ接着する。こ
の接着に際して、ステンレス製の治具を使用した場合と
アルミナ材による磁器製の治具を使用した場合との比較
結果を示すと下記のようになる。
棒状YAGレーザロッドの両端面を平行に加工する場合
を例にして説明する。まず、レーザロッドを第1図にお
ける治具1に約60℃の温度で加熱によシ接着する。こ
の接着に際して、ステンレス製の治具を使用した場合と
アルミナ材による磁器製の治具を使用した場合との比較
結果を示すと下記のようになる。
(1)ステンレス製治具の場合
ステンレス製治具の熱膨張係数α厘を
11XIO/C,YAGレーザロッドの熱膨張係数α2
を7.8 X 10−67’C,’r 7/”率Eを3
.15 X 106Kg/cr112.室温T。を20
℃、加熱温度(接着温度)1重を60℃としたときのY
AGに発生する熱応力λ8は。
を7.8 X 10−67’C,’r 7/”率Eを3
.15 X 106Kg/cr112.室温T。を20
℃、加熱温度(接着温度)1重を60℃としたときのY
AGに発生する熱応力λ8は。
λ、 =E(T鳳 −To )(α屋 −α!
)=3.15X10’(60−20)(11−7,8)
XIO″″6= 403.2 Kg/l となる。
)=3.15X10’(60−20)(11−7,8)
XIO″″6= 403.2 Kg/l となる。
(2)アルミナ磁器製治具の場合
アルミナ磁器製治具の熱膨張係数α□を7.9 X 1
0−6/Cとし、その他の値を上記(1)と同じにした
ときのYAGレーザロッドに発生する熱応力λは。
0−6/Cとし、その他の値を上記(1)と同じにした
ときのYAGレーザロッドに発生する熱応力λは。
λa =E (T l −To ) (α型−α2)=
3.15 XI O(60−20X7.9−7.8 )
Xl0−’= 12.6 Kg/art’ となる。
3.15 XI O(60−20X7.9−7.8 )
Xl0−’= 12.6 Kg/art’ となる。
上記(1)および(2)によfi YAGレーザロッド
の接着された治具をそれぞれ第3図に示すごときラッピ
ング用定盤4にセットし、レーデロッドの両端面を片面
ずつそれぞれ5秒以内で研摩してその両端面を加工する
。その後に、レーデロッドを治具から外したときの両者
の状“態について比較すると。
の接着された治具をそれぞれ第3図に示すごときラッピ
ング用定盤4にセットし、レーデロッドの両端面を片面
ずつそれぞれ5秒以内で研摩してその両端面を加工する
。その後に、レーデロッドを治具から外したときの両者
の状“態について比較すると。
(1)の場合には、レーデロッドの端面が当初の5秒時
点から20秒まで変形したのに対し、(2)の場合には
5秒時点から7秒まで変化しただけであった。
点から20秒まで変形したのに対し、(2)の場合には
5秒時点から7秒まで変化しただけであった。
以上の説明によシ明らかなように2本発明によれば、被
加工物と同一系材質の治具を使用するととによシ、加工
後の変形を防止し、平行精度を高めることかできる点に
おいて2品質を向上すべく得られる効果は大きい。
加工物と同一系材質の治具を使用するととによシ、加工
後の変形を防止し、平行精度を高めることかできる点に
おいて2品質を向上すべく得られる効果は大きい。
第1図(、)および(b)は、従来例として被加工物を
治具に熱接着した状態を示すそれぞれ上面図および側面
図、第2図(、)および(b)は、他の従来例として被
加工物を治具に熱接着した状態を示すそれぞれ上面図お
よび側面図、第3図(、)および(b)は、従来から使
用されているラッピング装置の構造例を示すそれぞれ上
面図および側面図である。 図において、1は治具、2は被加工用ロッド。 3は接着剤、4はラッピング用定盤、5は治具支持用の
ローラ、6はローラ保持具、7は定盤回転軸、8はラッ
ピング用砥粒、9は砥粒供給口である。 (α) (αジ 第1図 第2図 第3図
治具に熱接着した状態を示すそれぞれ上面図および側面
図、第2図(、)および(b)は、他の従来例として被
加工物を治具に熱接着した状態を示すそれぞれ上面図お
よび側面図、第3図(、)および(b)は、従来から使
用されているラッピング装置の構造例を示すそれぞれ上
面図および側面図である。 図において、1は治具、2は被加工用ロッド。 3は接着剤、4はラッピング用定盤、5は治具支持用の
ローラ、6はローラ保持具、7は定盤回転軸、8はラッ
ピング用砥粒、9は砥粒供給口である。 (α) (αジ 第1図 第2図 第3図
Claims (1)
- 1、ロッド状の被加工物を該被加工物と同一系材質の治
具に熱接着させ、ラッピング用定盤のうえで片面づつラ
ッピング加工することを特徴とするロッド両端面の高平
行度加工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60088478A JPS61249268A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | ロツド両端面の高平行度加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60088478A JPS61249268A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | ロツド両端面の高平行度加工法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61249268A true JPS61249268A (ja) | 1986-11-06 |
Family
ID=13943892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60088478A Pending JPS61249268A (ja) | 1985-04-26 | 1985-04-26 | ロツド両端面の高平行度加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61249268A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597561A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-14 | Hoya Corp | 多数個同時加工治具 |
| JPS59129661A (ja) * | 1983-01-11 | 1984-07-26 | Hitachi Metals Ltd | 研磨用プレ−ト |
-
1985
- 1985-04-26 JP JP60088478A patent/JPS61249268A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS597561A (ja) * | 1982-06-30 | 1984-01-14 | Hoya Corp | 多数個同時加工治具 |
| JPS59129661A (ja) * | 1983-01-11 | 1984-07-26 | Hitachi Metals Ltd | 研磨用プレ−ト |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0426982B2 (ja) | ||
| JP2024141069A (ja) | SiC延長インゴットの製造方法 | |
| US3868750A (en) | Method of joining diamond to metal | |
| JPS61249268A (ja) | ロツド両端面の高平行度加工法 | |
| JPS6331886Y2 (ja) | ||
| JPS6210779B2 (ja) | ||
| JP2001334444A (ja) | 薄板の曲面加工方法 | |
| JPS6476418A (en) | Production of thin film magnetic head | |
| JPH06103679B2 (ja) | 半導体ウェーハの研磨用ホルダー | |
| JPS61152365A (ja) | 薄物素材の鏡面加工方法 | |
| JPH03228568A (ja) | 極薄ウェーハの製造方法 | |
| JP2000176830A (ja) | ワークの研磨方法 | |
| JPH1110632A (ja) | ワイヤーソーによる切断方法 | |
| JPS6352966A (ja) | 両面研磨方法 | |
| JPH0310810A (ja) | リン化ガリウム単結晶のスライシング方法 | |
| JPS61142074A (ja) | 砥石装置 | |
| JPH01153265A (ja) | ヘッドピース集合体の研磨方法 | |
| JP2795980B2 (ja) | 高精度平面の加工方法 | |
| JPS5856252B2 (ja) | 脆い部材の剪断方法 | |
| WO2024176485A1 (ja) | 半導体結晶の研削加工方法および当該研削加工方法を用いたSiC延長インゴットの製造方法 | |
| JP2895503B2 (ja) | 超砥粒ホイールの製造方法 | |
| JPS55135320A (en) | Manufacture of magnetic head | |
| JPH0158001B2 (ja) | ||
| JPS58132458A (ja) | 硬脆材料基板の平面研磨方法及び研磨装置 | |
| JPS6331720A (ja) | ガリウム砒素単結晶のスライシング方法 |