JPS6127818A - 対象物の搬送装置 - Google Patents
対象物の搬送装置Info
- Publication number
- JPS6127818A JPS6127818A JP13580985A JP13580985A JPS6127818A JP S6127818 A JPS6127818 A JP S6127818A JP 13580985 A JP13580985 A JP 13580985A JP 13580985 A JP13580985 A JP 13580985A JP S6127818 A JPS6127818 A JP S6127818A
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- JP
- Japan
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- support arm
- guide roller
- unit
- shaft
- cylinder
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
- H10P72/30—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations
- H10P72/32—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H10P72/3202—Mechanical details, e.g. rollers or belts
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10P72/3212—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrates to be conveyed not being semiconductor wafers or large planar substrates, e.g. chips or lead frames
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H7/00—Gearings for conveying rotary motion by endless flexible members
- F16H7/18—Means for guiding or supporting belts, ropes, or chains
- F16H2007/185—Means for guiding or supporting belts, ropes, or chains the guiding surface in contact with the belt, rope or chain having particular shapes, structures or materials
Landscapes
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
- Devices For Conveying Motion By Means Of Endless Flexible Members (AREA)
- Registering, Tensioning, Guiding Webs, And Rollers Therefor (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は対象物の搬送装置に関するものであり、更に
詳しくはシリコンウェファ−などの対象物を工場内の作
業ステーション間で搬送する装置の改良に関するもので
ある。
詳しくはシリコンウェファ−などの対象物を工場内の作
業ステーション間で搬送する装置の改良に関するもので
ある。
（従来技術）
アメリカ国特許出願第８１３，１０８号ｒユニット式処
理装置とそれに用いるユニットｊ （１９８４年５月
２３日出願）には柔軟性を有した支持アームを備えた独
創的なユニットが開示されている。この支持アームは硬
鋼からなりしかも凹状の横断面を有している。この支持
アームを曲げかつ導くために一群のガイドローラーが用
いられてなり、支持アームはシリコンウェファ−などの
対象物の搬送中に伸縮する。この内１個のガイドローラ
ーは支持アームを一定の高さに水平に保つのに用いられ
ている。
理装置とそれに用いるユニットｊ （１９８４年５月
２３日出願）には柔軟性を有した支持アームを備えた独
創的なユニットが開示されている。この支持アームは硬
鋼からなりしかも凹状の横断面を有している。この支持
アームを曲げかつ導くために一群のガイドローラーが用
いられてなり、支持アームはシリコンウェファ−などの
対象物の搬送中に伸縮する。この内１個のガイドローラ
ーは支持アームを一定の高さに水平に保つのに用いられ
ている。
支持アームは薄くてしかも金属製なのでその側端は鋭く
、これが常にガイドローラーと接触するが、特に伸縮動
作中にガイドローラーに対して支持アームが横断する°
と支持アームがガイドローラーに食い込む。このような
食い込みが起きるとガイドローラーの寿命が短くなりそ
の頻繁な取換えが必要となり非常に好ましくない。
、これが常にガイドローラーと接触するが、特に伸縮動
作中にガイドローラーに対して支持アームが横断する°
と支持アームがガイドローラーに食い込む。このような
食い込みが起きるとガイドローラーの寿命が短くなりそ
の頻繁な取換えが必要となり非常に好ましくない。
（発明の目的）
この発明の目的は上記のような支持アームとガイドロー
ラーとを有した搬送装置における支持アームのガイドロ
ーラーに対する食い込みを防止することにある。
ラーとを有した搬送装置における支持アームのガイドロ
ーラーに対する食い込みを防止することにある。
（発明の基本的構成）
この発明においては、凹状の横断面を有した伸縮可能な
支持アームとこれを導くガイドローラーを備えた対象物
の搬送装置において、ガイドローラーを支持アームと共
に横動するように構成した （ものであ
る、 ・ （発明の作用） ガイドローラーが支持アームと共に横断するようになっ
ているから、支持アームに対して相対的に横動すること
がない。
支持アームとこれを導くガイドローラーを備えた対象物
の搬送装置において、ガイドローラーを支持アームと共
に横動するように構成した （ものであ
る、 ・ （発明の作用） ガイドローラーが支持アームと共に横断するようになっ
ているから、支持アームに対して相対的に横動すること
がない。
（実施態様）
第１図に示すのはこの発明の搬送装置の一例であるが、
この搬送装置１０は大別してシリンダーユニット１２と
、ガイドローラーユニット１４と支持アームユニット１
６の３組のユニットから構成されている。
この搬送装置１０は大別してシリンダーユニット１２と
、ガイドローラーユニット１４と支持アームユニット１
６の３組のユニットから構成されている。
シリンターユニット１２は固定シリンター１８と可動シ
リンダー２０とを有しており、固定シリンダー１８は隅
柱２２と搬送装置のためのシャシ２６のビーム２４に付
設されている。可動シリンダー２０は固定シリンダー１
８のピストン３０に螺合する板２８に付設されてピスト
ン３２を備えている。
リンダー２０とを有しており、固定シリンダー１８は隅
柱２２と搬送装置のためのシャシ２６のビーム２４に付
設されている。可動シリンダー２０は固定シリンダー１
８のピストン３０に螺合する板２８に付設されてピスト
ン３２を備えている。
シリンダー１８．２０の協働により対象物であるウェフ
ァ−はカセットからチャックユニット（いずれも図示せ
ず）へと移送される。即ちウェファ−は可動シリンダー
２０によってカセットから熱板ユニット（図示せず）へ
、更に固定シリンダー１８によってそこからチャックユ
ニットへそれぞれ移送される。
ァ−はカセットからチャックユニット（いずれも図示せ
ず）へと移送される。即ちウェファ−は可動シリンダー
２０によってカセットから熱板ユニット（図示せず）へ
、更に固定シリンダー１８によってそこからチャックユ
ニットへそれぞれ移送される。
シリンダー１８．２０の端部に設けられたブラケッ）３
４．３６にはセンサー（図示せず）が設けられており、
可動シリンダー２０を保持する板２８にもセンサーが設
けられており、これらが励起されると支持アーム ユニ
ット１６の支持アーム３８に働く真空が断たれて、支持
アーム３８によって搬送されたウェファ−がカセット中
に落込む。
４．３６にはセンサー（図示せず）が設けられており、
可動シリンダー２０を保持する板２８にもセンサーが設
けられており、これらが励起されると支持アーム ユニ
ット１６の支持アーム３８に働く真空が断たれて、支持
アーム３８によって搬送されたウェファ−がカセット中
に落込む。
シリンダーユニット１２はまたスタンド４０とアダプタ
ースライド４２とを有しており、このスタンド４０は可
動シリンダー２０のピストン３２に取付けられ、スライ
ド４２はスタンド４０に取付けられている。スライド４
２は対象物たるウェファ−の寸法に合わせて上下に調節
できる。
ースライド４２とを有しており、このスタンド４０は可
動シリンダー２０のピストン３２に取付けられ、スライ
ド４２はスタンド４０に取付けられている。スライド４
２は対象物たるウェファ−の寸法に合わせて上下に調節
できる。
ガイドローラーシリンダーはナイロンなどのプラスチッ
ク材からなるローラー４４．４６．４８．５０．５２．
５４を有しており、これらはそれぞれ軸５６．５８．６
０．６２．６４．６６を有している。２枚のガイドロー
ラー板６８゛（図中一方のみを示す）が協働してその間
にローラー４４．４６．４８．５０．５２．５４を挟持
しており、これらのガイドローラー板６８は軸５６゜５
８．６０．６２．６４．６６を受ける軸受を備えている
。軸５６．５８．６０．６２．６４．６６の端部にはス
ナップリング（図示せず）が設けられて軸５６．５８．
６０．６２．６４．６６を正しい位置に保持している。
ク材からなるローラー４４．４６．４８．５０．５２．
５４を有しており、これらはそれぞれ軸５６．５８．６
０．６２．６４．６６を有している。２枚のガイドロー
ラー板６８゛（図中一方のみを示す）が協働してその間
にローラー４４．４６．４８．５０．５２．５４を挟持
しており、これらのガイドローラー板６８は軸５６゜５
８．６０．６２．６４．６６を受ける軸受を備えている
。軸５６．５８．６０．６２．６４．６６の端部にはス
ナップリング（図示せず）が設けられて軸５６．５８．
６０．６２．６４．６６を正しい位置に保持している。
ガイドローラーユニツ）１４を保持するためにガイドロ
ーラー板６８の間には図示しない３組のスタンドが設け
られている。フランジ付ガイドローラー４４の周りには
浮ローラー４６．４８が配設されて支持アーム３８の折
曲点で支持アーム３８を保持している。ガイド−ローラ
ー５０．５２は支持アーム３８を導きかつ水平に保つも
ので、特にガイドローラー５０が水平保持を行っている
。ガイドローラー５４は補助支えである。ガイドローラ
ーユニットはピン７０により一線状にビーム２４に螺着
されている。
ーラー板６８の間には図示しない３組のスタンドが設け
られている。フランジ付ガイドローラー４４の周りには
浮ローラー４６．４８が配設されて支持アーム３８の折
曲点で支持アーム３８を保持している。ガイド−ローラ
ー５０．５２は支持アーム３８を導きかつ水平に保つも
ので、特にガイドローラー５０が水平保持を行っている
。ガイドローラー５４は補助支えである。ガイドローラ
ーユニットはピン７０により一線状にビーム２４に螺着
されている。
支持アームユニッ）１６の支持アーム３８は凹状の横断
面を有した３組の硬鋼片７２．７４．７６とヘッド７８
とを有している。これら硬鋼片７２．７４．７６ば上下
に重ねられており、支持アーム３８の端部に設けられた
材片８０は真空管８２を受けるためのものである。支持
アーム３８はローラー４４．４６．４８．５０．５２．
５４間に供給されてスライド４２に至り、ここでクラン
プ８４が支持アーム３８をスライド４２に接触させる。
面を有した３組の硬鋼片７２．７４．７６とヘッド７８
とを有している。これら硬鋼片７２．７４．７６ば上下
に重ねられており、支持アーム３８の端部に設けられた
材片８０は真空管８２を受けるためのものである。支持
アーム３８はローラー４４．４６．４８．５０．５２．
５４間に供給されてスライド４２に至り、ここでクラン
プ８４が支持アーム３８をスライド４２に接触させる。
シリンダー１８．２０のピストン３０．３２が上下する
に従い支持アーム３８はローラー４４．４６．４８．５
０．５２．５４を通って前後に摺動する。なお、真空管
８２はスライド４２を介して図示しない真空源に接続さ
れている。
に従い支持アーム３８はローラー４４．４６．４８．５
０．５２．５４を通って前後に摺動する。なお、真空管
８２はスライド４２を介して図示しない真空源に接続さ
れている。
第２図においてガイドローラー５０は両端に傾斜端部８
６を有してかつ軸６２にラジアル軸受８８を介して回転
可能に架設されている。また軸６２は孔９４に収受され
たリニア軸受９２とスリーブ９０を介してガイドローラ
ー板６８に架設されている。リニア軸受９２はスナップ
リング９６に保持されてかつ軸６２とガイドローラー５
０をしてガイドローラー板６８に対して横動させる働き
をしている。ガイドローラー５０をして軸６２とは独立
に横動できるようにしてもよい。
６を有してかつ軸６２にラジアル軸受８８を介して回転
可能に架設されている。また軸６２は孔９４に収受され
たリニア軸受９２とスリーブ９０を介してガイドローラ
ー板６８に架設されている。リニア軸受９２はスナップ
リング９６に保持されてかつ軸６２とガイドローラー５
０をしてガイドローラー板６８に対して横動させる働き
をしている。ガイドローラー５０をして軸６２とは独立
に横動できるようにしてもよい。
支持アーム３８の側端９８は薄いことと金属製であるこ
とが原因でその平滑な上面１００に比べて鋭くなってい
る。支持アームの伸縮に際してガイドローラー５０の傾
斜端部８６は支持アーム３８の平滑な上面１００と滑り
接触しているので支持アーム３８がガイドローラー５０
に食い込むことはない、リニア軸受９２がガイドローラ
ー５０をして支持アーム３８と共に横動させていること
もこれに預って力ある。
とが原因でその平滑な上面１００に比べて鋭くなってい
る。支持アームの伸縮に際してガイドローラー５０の傾
斜端部８６は支持アーム３８の平滑な上面１００と滑り
接触しているので支持アーム３８がガイドローラー５０
に食い込むことはない、リニア軸受９２がガイドローラ
ー５０をして支持アーム３８と共に横動させていること
もこれに預って力ある。
（発明の効果）
支持アームがその伸縮に当たってガイドローラーに食い
込まないから、ガイドローラーの寿命もそれだけ伸び、
交換の手間と労力が省かれる。
込まないから、ガイドローラーの寿命もそれだけ伸び、
交換の手間と労力が省かれる。
第１図はこの発明の搬送装置の一例を示す分解斜視図、
第２図は第１図中線ＩＩ−ＩＩに沿ってとった断面図で
ある。 １２川シリンダーユニツト １４・・・ガイドローラーユニット １６川支持アームユニツト １８．２０・・・シリンダー ３８・・・支持アーム ４４．４６，４８，５０，５２．５４ ・・・ガイドローラー 特許出願人 マシン テクノロジー インコーホレイテッド
第２図は第１図中線ＩＩ−ＩＩに沿ってとった断面図で
ある。 １２川シリンダーユニツト １４・・・ガイドローラーユニット １６川支持アームユニツト １８．２０・・・シリンダー ３８・・・支持アーム ４４．４６，４８，５０，５２．５４ ・・・ガイドローラー 特許出願人 マシン テクノロジー インコーホレイテッド
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ［１］伸縮可能でかつ凹状横断面を有した支持アームと
これを伸縮時に導くガイドローラーとを備えてなり、か
つ、 上記ガイドローラーをして支持アームと共に横断させる
如き架設機構を備えている ことを特徴とする対象物の搬送装置。 ［２］前記のガイドローラーがプラスチック製である ことを特徴とする特許請求の範囲第［１］項に記載の装
置。 ［３］前記の支持アームが鋭い側端（９８）を有した金
属バンド（３８）である ことを特徴とする特許請求の範囲第［２］項に記載の装
置。 ［４］前記のガイドローラーが支持アームの平滑な上面
（１００）に接触する傾斜端部（８６）を備えている ことを特徴とする特許請求の範囲第［１］、［２］もし
くは［３］項に記載の装置。 ［５］前記の架設機構が１対のリニア軸受（９）を有し
ている ことを特徴とする特許請求の範囲第［１］〜［４］のい
ずれかの項に記載の装置。 ［６］前記の架設機構がガイドローラーがそれについて
回転する軸（６２）を有している ことを特徴とする特許請求の範囲第［５］項に記載の装
置。 ［７］前記のガイドローラーが軸と共に横動することを
特徴とする特許請求の範囲第［６］項に記載の装置。 ［８］前記のガイドローラーが軸とは独立に横動する ことを特徴とする特許請求の範囲第［６］項に記載の装
置。 ［９］更に供給機構（８０）が設けられていて支持アー
ムのヘッドに真空を供給して支持アームの伸縮面対象物
をヘッド上に保持する ことを特徴とする特許請求の範囲第［１］〜［８］のい
ずれかの項に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US622675 | 1984-06-20 | ||
| US06/622,675 US4609320A (en) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | Flexible workpiece transporter and roller assembly therefor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6127818A true JPS6127818A (ja) | 1986-02-07 |
Family
ID=24495074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13580985A Pending JPS6127818A (ja) | 1984-06-20 | 1985-06-20 | 対象物の搬送装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4609320A (ja) |
| JP (1) | JPS6127818A (ja) |
| DE (1) | DE3521896A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0291619A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | Nec Corp | 薄膜非線形ダイオード素子 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3515610C1 (de) * | 1985-04-30 | 1986-10-09 | Esselte Meto International Gmbh, 6932 Hirschhorn | Andrueckrolle fuer ein Etikettiergeraet |
| US4699555A (en) * | 1986-05-08 | 1987-10-13 | Micrion Limited Partnership | Module positioning apparatus |
| GB8716996D0 (en) * | 1987-07-18 | 1987-08-26 | Joloda Loading Systems Ltd | Cargo space utilisation |
| JPH07104636B2 (ja) * | 1989-04-03 | 1995-11-13 | キヤノン株式会社 | 定着装置 |
| US5460457A (en) * | 1993-02-01 | 1995-10-24 | Eastman Kodak Company | Thermal printer having tapered rollers to maintain receiver alignment |
| US5551821A (en) * | 1995-05-08 | 1996-09-03 | Excellon Automation Co. | Worktable loading and unloading apparatus and method |
| JP2002261147A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-13 | Seiko Instruments Inc | 真空装置および搬送装置 |
| CN117184799B (zh) * | 2023-09-11 | 2025-11-11 | 中冶焦耐(大连)工程技术有限公司 | 一种带配重式悬挂机构的齿条牵引装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS562669B2 (ja) * | 1973-01-17 | 1981-01-21 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1500516A (en) * | 1923-04-27 | 1924-07-08 | Fred S Morton | Ball-bearing head |
| US3393849A (en) * | 1966-03-11 | 1968-07-23 | Burroughs Corp | Tape handling element |
| US3919554A (en) * | 1972-04-07 | 1975-11-11 | Packard Instrument Co Inc | Elevator mechanism and method for scintillation detectors |
| US3823836A (en) * | 1973-05-22 | 1974-07-16 | Plat General Inc | Vacuum apparatus for handling sheets |
| US4062463A (en) * | 1976-05-11 | 1977-12-13 | Machine Technology, Inc. | Automated single cassette load mechanism for scrubber |
| US4122936A (en) * | 1977-03-21 | 1978-10-31 | Packard Instrument Company, Inc. | Centering mechanism for movable member within a variable-width passageway |
| US4312618A (en) * | 1979-08-21 | 1982-01-26 | Acco Industries Inc. | Loader-unloader system for work pieces |
| JPS5638468A (en) * | 1979-09-06 | 1981-04-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Loading equipment of wafer |
| DE3219502C2 (de) * | 1982-05-25 | 1990-04-19 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Vorrichtung zum automatischen Transport scheibenförmiger Objekte |
-
1984
- 1984-06-20 US US06/622,675 patent/US4609320A/en not_active Expired - Fee Related
-
1985
- 1985-06-19 DE DE19853521896 patent/DE3521896A1/de not_active Withdrawn
- 1985-06-20 JP JP13580985A patent/JPS6127818A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS562669B2 (ja) * | 1973-01-17 | 1981-01-21 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0291619A (ja) * | 1988-09-28 | 1990-03-30 | Nec Corp | 薄膜非線形ダイオード素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3521896A1 (de) | 1986-01-02 |
| US4609320A (en) | 1986-09-02 |
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