JPS61278683A - 可撓管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 この発明は可撓管にかかり、特に半導体の処理における
高温の液体および気体の移送に使用されるものである。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

半導体の製造における処理に高温の液体や気体が多く用
いられている。例えば３００℃程度の高温の塩化水素を
移送するのに用いられる可撓管（以下ホースと略称）に
は弗素ゴムで形成されたもの。

、またはアスベストで形成されたものが知られている。

上記弗素ゴムは他のゴム（シリコーンゴム、アクリルゴ
ム等）に比して耐熱性に優れており、２３０℃で長期間
の使用に耐え、短時間であれば３００℃まで使用が可能
と称される商品（例えばダイエル：商品名）もある。し
かし、半導体の処理に用いられる気体は叙上の如＜　３
００℃前後で、しかも長期間にわたって耐久性が必要と
される。これは、処理装置の保守を容易にするためと、
ゴムの分解によって生ずる管内面の亀裂が進行して発生
するガス漏出の危険、有害等を防止するためであって、
上記弗素ゴムは実用上耐久性に問題があった。

次に、上記アスベストで形成されたホースはごみ等が発
生しやすく、これが処理雰囲気を汚染し、製品に付着す
ることにより歩留低下の原因となっていた。

〔発明の目的〕

この発明は上記従来の問題点に鑑み、耐熱性のすぐれた
ホースの構造を提供する。

〔発明の概要〕

この発明にかかるホースは、弾性金属のスパイラル体（
１）と、このスパイラル体（１）の少くとも内側にポリ
イミド樹脂の薄層で形成された管体（２）を具備したこ
とを特徴とし、充分な耐熱性と可撓性を備えるものであ
る。

〔発明の実施例〕

以下、この発明を実施例につき図面を参照して説明する
。

第１図は一実施例のホースを示し、１はスチールワイヤ
のような弾性のあるスパイラル体で、このスパイラル体
の内側にポリイミド樹脂層で形成された内管２を配し、
外側にポリイミド樹脂層で形成された外管１２を配し、
上記内管２と外管１２とはスパイラル体１を囲んで圧接
接着されるとともにこのピッチ間隙では圧着されて全体
が一体に結合されている。このホースは、例えば内管が
０．１〜０．２ｓ■厚のシート状のポリイミド樹脂層を
巻いて形成され、スパイラル体は径が０．２ないし０．
８■程度のステンレスを１０〜１５＋ｕｓのピッチでコ
イル状に巻回形成され、外管は上記ポリイミド樹脂層を
３ないし４層巻回形成されたものである。

次の実施例のホースは例えば第２図に示すように、スパ
イラル体のピッチをきわめて小に、例えば数ミリピッチ
に密接巻きし、または、第３図に示すように幅数１の弾
性金属帯１１をスパイラルに形成し、これらの各内側に
上記実施例と同様に０．１〜０．２ｍｍの厚のシート状
ポリイミド樹脂層の内管゛２２を圧着結合させている。

なお、ポリイミド樹脂の耐熱性は長期間４００℃の使用
に充分耐えるものである。なお、ポリエステル樹脂とは
常温では同程度の特性を有するも耐熱性で懸隔し、従来
例で示した弗素ゴムの耐熱性が短時間なれば３００℃、
長幼間に対しては２３０℃であるのと顕著に相違する。

〔発明の効果〕

この発明によれば高温処理装置などに使用した場合、弗
素ゴムでは１週間で亀裂を生じ交換を要したが、３ケ月
以上の使用が可能になり、安全性。

経済性にすぐれたものである。また、他のアスベスト等
で構成されたホースにみられたごみによる処理雰囲気の
汚染による歩留の低下も防止される顕著な利点もある。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図はいずれも夫々が本発明の実施例の
ホースの断面図である。 １．１１　　　　スパイラル体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 弾性金属のスパイラル体と、このスパイラル体の少くと
   も内側にポリイミド樹脂の薄層で形成された管体を具備
   したことを特徴とする可撓管。