JPS61286610A - 制御式ラジアル磁気軸受の制御装置 - Google Patents
制御式ラジアル磁気軸受の制御装置Info
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- JPS61286610A JPS61286610A JP12772685A JP12772685A JPS61286610A JP S61286610 A JPS61286610 A JP S61286610A JP 12772685 A JP12772685 A JP 12772685A JP 12772685 A JP12772685 A JP 12772685A JP S61286610 A JPS61286610 A JP S61286610A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、回転軸の半径方向の位置を位置センサによ
り検出し、その信号をフィードバック信号として制御回
路に入力して電磁石の電磁力を制御し、軸の半径方向位
置を定位置に保持する制御式ラジアル磁気軸受の制御装
置に関する。
り検出し、その信号をフィードバック信号として制御回
路に入力して電磁石の電磁力を制御し、軸の半径方向位
置を定位置に保持する制御式ラジアル磁気軸受の制御装
置に関する。
最近の工作機械用主軸、あるいはターボファン等では性
能向上若しくは小型化のための7駆動部等の軸の回転速
度として数百乃至10数万回転/分のものが使用される
ようになっており、今後さらに高速化が望まれているっ
このような高速回転に使用される軸受の1つとして非接
触式の磁気軸受装置がある。
能向上若しくは小型化のための7駆動部等の軸の回転速
度として数百乃至10数万回転/分のものが使用される
ようになっており、今後さらに高速化が望まれているっ
このような高速回転に使用される軸受の1つとして非接
触式の磁気軸受装置がある。
か\る磁気軸受装置の制御回路は、一般に回転軸に垂直
な同一平面内で回転中心に対して互いに直交する2つの
軸方向の各々の制御方向に対して独立に、回転軸の半径
方向の位置を検出する位置センブと、その検出信号の回
転軸基準位置信号からの偏差信号を増幅する偏差増幅器
と、その出力信号の位相を補償するPID調節器と、こ
のPID調節器の出力信号により電磁石への電流を制御
する電力増幅器とを設けて成る。
な同一平面内で回転中心に対して互いに直交する2つの
軸方向の各々の制御方向に対して独立に、回転軸の半径
方向の位置を検出する位置センブと、その検出信号の回
転軸基準位置信号からの偏差信号を増幅する偏差増幅器
と、その出力信号の位相を補償するPID調節器と、こ
のPID調節器の出力信号により電磁石への電流を制御
する電力増幅器とを設けて成る。
上記構成の制御回路を有する磁気軸受の制御装置は、軸
の機械的な固有振動数以下、例えば固有振動数の約75
〜80%付近の回転数で使用される場合が多い。従って
、従来の磁気軸受装置は、例えば約3万乃至4万回転/
分を上限の使用回転数として使用されることが多い。
の機械的な固有振動数以下、例えば固有振動数の約75
〜80%付近の回転数で使用される場合が多い。従って
、従来の磁気軸受装置は、例えば約3万乃至4万回転/
分を上限の使用回転数として使用されることが多い。
かNる従来の磁気軸受装置を軸の曲げ固有振動数を超え
てさらに高回転数、例えば数10万回転/分の高速で使
用したい場合、軸の固有振動を通過する際に問題が生じ
る。即ち、軸の回転速度が軸の曲げ固有振動数付近に上
昇し、危険速度に近づくと、軸は軸の固有振動数で共振
する。しがるに、前述したように従来の磁気軸受装置は
一般に軸の固有振動数の75〜80%以下の回転数で使
用するように設計されているため、その制御回路の一巡
伝達関数におけるクロスオーバ周波数は軸の曲げ固有振
動に対してかなり低く設定されており、このクロスオー
バ周波数において所定の位相余有が得られるように制御
系のゲイン、位相が設定がされている。従って、軸の曲
げ固有振動数又はこれを超える周波数に対しては位相余
有がなく、減衰力を持たない。そのため軸の曲げ固有振
動数を超えて軸を回転させることができない。
てさらに高回転数、例えば数10万回転/分の高速で使
用したい場合、軸の固有振動を通過する際に問題が生じ
る。即ち、軸の回転速度が軸の曲げ固有振動数付近に上
昇し、危険速度に近づくと、軸は軸の固有振動数で共振
する。しがるに、前述したように従来の磁気軸受装置は
一般に軸の固有振動数の75〜80%以下の回転数で使
用するように設計されているため、その制御回路の一巡
伝達関数におけるクロスオーバ周波数は軸の曲げ固有振
動に対してかなり低く設定されており、このクロスオー
バ周波数において所定の位相余有が得られるように制御
系のゲイン、位相が設定がされている。従って、軸の曲
げ固有振動数又はこれを超える周波数に対しては位相余
有がなく、減衰力を持たない。そのため軸の曲げ固有振
動数を超えて軸を回転させることができない。
この発明は、上記現状に鑑みてなされたものであり、そ
の目的は軸の曲げ固有振動数を越えてさらに高速度で回
転し得る磁気軸受の制御装置を提供するにある。
の目的は軸の曲げ固有振動数を越えてさらに高速度で回
転し得る磁気軸受の制御装置を提供するにある。
上記問題点を解決するための手段として、この発明では
回転軸に垂直な同一面内で回転中心に対して互いに直交
するX軸方向及びY軸方向における同軸方向の電磁石に
対してそれぞれ制御回路を設け、各制御回路が位置セン
サと、その出力信号の設定位置信号からの偏差信号を増
幅し1位相補償してこれをもう一万の制御回路からの入
力信号と加算した後その合出力を増幅する回路と、前記
位置センサの偏差増幅信号を回転軸の機械的な固有振動
数よりも中心周波数がわずかに高く設定された帯域通過
フィルタを介して出力する回路とから成り、一方の制御
回路の上記位置センサの検知信号を前記帯域通過フィル
タを有する回路を介して各電磁石の同軸方向に対して回
転方向に90°位相の進んだ位置にあるもう一万の制御
回路に加算し、このもう一方の制御回路の位置センサの
検知信号を前記一方の制御回路に同様に加算するという
構成を採用したのである。
回転軸に垂直な同一面内で回転中心に対して互いに直交
するX軸方向及びY軸方向における同軸方向の電磁石に
対してそれぞれ制御回路を設け、各制御回路が位置セン
サと、その出力信号の設定位置信号からの偏差信号を増
幅し1位相補償してこれをもう一万の制御回路からの入
力信号と加算した後その合出力を増幅する回路と、前記
位置センサの偏差増幅信号を回転軸の機械的な固有振動
数よりも中心周波数がわずかに高く設定された帯域通過
フィルタを介して出力する回路とから成り、一方の制御
回路の上記位置センサの検知信号を前記帯域通過フィル
タを有する回路を介して各電磁石の同軸方向に対して回
転方向に90°位相の進んだ位置にあるもう一万の制御
回路に加算し、このもう一方の制御回路の位置センサの
検知信号を前記一方の制御回路に同様に加算するという
構成を採用したのである。
上記構成の制御装置では、軸の回転数が軸の曲げ固有振
動数の75〜80チ以下である間は、各制御回路の位置
センサによる検知信号の所定位置からの偏差増幅信号は
、もう一方の制御回路の蓄域通過フィルタの特性により
その出力信号がこのフィルタでしゃ断されるから、その
出力は号と加算されることなくその制御回路を通ら電磁
石の励磁力を制御する。
動数の75〜80チ以下である間は、各制御回路の位置
センサによる検知信号の所定位置からの偏差増幅信号は
、もう一方の制御回路の蓄域通過フィルタの特性により
その出力信号がこのフィルタでしゃ断されるから、その
出力は号と加算されることなくその制御回路を通ら電磁
石の励磁力を制御する。
軸の回転数が軸の曲げ固有振動数付近に達すると、前記
偏差増幅信号はその制御回路の軸方向から軸の回転方向
に見て90°位相の進んだもう一万の制御回路の位置セ
ンサの偏差増幅信号がその帯域通過フィルタを介して加
算され、その合出力によって電磁石は励磁される。その
結果一方の制御出力にとっては前記回転数において微分
回路が並列に加わったと類似の効果、即ちダンピング効
果を現わし、振動減衰力が十分確保され、厄除速度を超
えてさらに高速度で回転できるようになる。
偏差増幅信号はその制御回路の軸方向から軸の回転方向
に見て90°位相の進んだもう一万の制御回路の位置セ
ンサの偏差増幅信号がその帯域通過フィルタを介して加
算され、その合出力によって電磁石は励磁される。その
結果一方の制御出力にとっては前記回転数において微分
回路が並列に加わったと類似の効果、即ちダンピング効
果を現わし、振動減衰力が十分確保され、厄除速度を超
えてさらに高速度で回転できるようになる。
以下この発明の実施例について添付図を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第1図はこの実施例による制御式ラジアル磁気軸受の制
御装置の全体回路図をブロック線図で示す図である。
御装置の全体回路図をブロック線図で示す図である。
図において、1は回転軸、2X 、2YはX軸方向、X
軸方向の位置センサ、3X 、3YはX軸方向、X軸方
向の位置設定部、 4 、4’は加算器、5は偏差増幅
器、6は位相補償回路、7は電力増幅器、8は電磁石、
9はコイル、10は帯域通過フィルタ、11は反転回路
である。
軸方向の位置センサ、3X 、3YはX軸方向、X軸方
向の位置設定部、 4 、4’は加算器、5は偏差増幅
器、6は位相補償回路、7は電力増幅器、8は電磁石、
9はコイル、10は帯域通過フィルタ、11は反転回路
である。
X軸方向及びX軸方向位置センサ2X 、2Yは、回転
軸1の軸線と直角な平面内で互いに直交するX軸及びX
軸方向で軸1の半径方向への変位を検出するように回転
軸1と電磁石8の間の所定位置にそれぞれ配設されてい
る。以下の説明でX軸方向の制御回路はX軸方向の制御
回路と一部を除きその構成ははゾ同じであるから、主と
してX軸方向の制御回路について説明する。
軸1の軸線と直角な平面内で互いに直交するX軸及びX
軸方向で軸1の半径方向への変位を検出するように回転
軸1と電磁石8の間の所定位置にそれぞれ配設されてい
る。以下の説明でX軸方向の制御回路はX軸方向の制御
回路と一部を除きその構成ははゾ同じであるから、主と
してX軸方向の制御回路について説明する。
図示の回路図から明らかなように、X軸方向の制御回路
は、X軸方向の電磁石8.−t−の励磁力を制御するた
め前記X軸方向の位置センサ2Yと、この位置センサか
らのフィードバック入力とY方向位置設定部3Yからの
信号の減算をする加算器4と、この加算器による偏差信
号を増幅する偏差増幅器5と、増幅された偏差信号の位
相を補償する位相補償回路と、位相補償された前記信号
を、X軸方向制御回路の帯域通過フィルタ10からの入
力信号と加算するもう1つの加算器4′と、この加算器
4′の信号によりX軸方向の電磁石8.今助界磁電流を
制御する電力増幅器7とを備え、さらに偏差増幅器5で
増幅された信号を所定周波数帯域について通過させてこ
れをX軸方向の制御回路に対してその回路中の位相を調
整するために送る帯域通過フィルタ10を備えている。
は、X軸方向の電磁石8.−t−の励磁力を制御するた
め前記X軸方向の位置センサ2Yと、この位置センサか
らのフィードバック入力とY方向位置設定部3Yからの
信号の減算をする加算器4と、この加算器による偏差信
号を増幅する偏差増幅器5と、増幅された偏差信号の位
相を補償する位相補償回路と、位相補償された前記信号
を、X軸方向制御回路の帯域通過フィルタ10からの入
力信号と加算するもう1つの加算器4′と、この加算器
4′の信号によりX軸方向の電磁石8.今助界磁電流を
制御する電力増幅器7とを備え、さらに偏差増幅器5で
増幅された信号を所定周波数帯域について通過させてこ
れをX軸方向の制御回路に対してその回路中の位相を調
整するために送る帯域通過フィルタ10を備えている。
この帯域通過フィルタ10はその中心周波数が軸の固有
振動数よりわずかに高い周波数に設定されている。
振動数よりわずかに高い周波数に設定されている。
X軸方向の制御回路は、X軸方向の制御回路とはゾ同じ
であるが、X軸方向の制御回路に対する帯域通過フィル
タ10の回路にその洒号の位相全反転させるための反転
回路11が設けられている点だけが異なっている。
であるが、X軸方向の制御回路に対する帯域通過フィル
タ10の回路にその洒号の位相全反転させるための反転
回路11が設けられている点だけが異なっている。
上記のように構成したこの実施例による磁気軸受の制御
装置の作用について以下説明する。
装置の作用について以下説明する。
第1図の回転軸1についてその直交するX、Y軸の方向
を図示のようにX−X’、Y−Y’とする。
を図示のようにX−X’、Y−Y’とする。
この図において、軸の固有振動数に等しい回転数で軸を
回転させた場合、軸の振動は軸のふれまわりとして各位
置センサに現われる。このふれまわりはX軸方向の位置
センサに対してはYの位置において90°位相が進んだ
変位として検出される。
回転させた場合、軸の振動は軸のふれまわりとして各位
置センサに現われる。このふれまわりはX軸方向の位置
センサに対してはYの位置において90°位相が進んだ
変位として検出される。
X軸方向の制御回路に対してはX軸方向の位置センサ2
x出力のX方向位置設定信号からの偏差分が偏差増幅器
5において増幅されるが、同時に90゜位相の進んだX
軸方向位置センサ2Yの偏差増幅信号がX軸方向の制御
回路の帯域通過フィルタ10を介してX軸方向制御回路
の加算器4′においてX軸方向の出力に加算され、その
合出力が電力増幅器7において電力増幅されてX軸方向
の電磁石8゜今を励磁する。
x出力のX方向位置設定信号からの偏差分が偏差増幅器
5において増幅されるが、同時に90゜位相の進んだX
軸方向位置センサ2Yの偏差増幅信号がX軸方向の制御
回路の帯域通過フィルタ10を介してX軸方向制御回路
の加算器4′においてX軸方向の出力に加算され、その
合出力が電力増幅器7において電力増幅されてX軸方向
の電磁石8゜今を励磁する。
前述したように、帯域通過フィルタ10はその中心周波
数が軸の固有振動数よりわずかSこ高い周波数に設定さ
れており、その位相−ゲイン特性を第2図に示す。
数が軸の固有振動数よりわずかSこ高い周波数に設定さ
れており、その位相−ゲイン特性を第2図に示す。
上述のような中心周波数及び特性を有する帯域通過フィ
ルタ10を備えた制御回路では、軸の固有振動数付近の
回転数において、X軸方向の変位出力の偏差成分はこの
帯域通過フィルタ10を経ることにより変位の位相が多
少進んだ形で出力される。即ち、X軸方向位置センサ2
Yで検出されたふれまわりは位相が多少進んだ状態で前
記フィルタ10から出方される。この変位出方がX軸方
向に対して90°位相の遅れているX軸制御回路を経た
出力に加算され、その合出方が電力増幅されてX軸方向
電磁石8.参を励磁する。その結果、X軸方向の制御出
力にとっては同上周波数において微分回路が並列に加わ
った場合と類似の効果、即ちダンピング効果を現わすこ
とになる。他の回転数においては、帯域通過フィルタ1
0の特性によりその出力が無視出来、X軸制御回路を経
た出力のみによって制御されることになる。
ルタ10を備えた制御回路では、軸の固有振動数付近の
回転数において、X軸方向の変位出力の偏差成分はこの
帯域通過フィルタ10を経ることにより変位の位相が多
少進んだ形で出力される。即ち、X軸方向位置センサ2
Yで検出されたふれまわりは位相が多少進んだ状態で前
記フィルタ10から出方される。この変位出方がX軸方
向に対して90°位相の遅れているX軸制御回路を経た
出力に加算され、その合出方が電力増幅されてX軸方向
電磁石8.参を励磁する。その結果、X軸方向の制御出
力にとっては同上周波数において微分回路が並列に加わ
った場合と類似の効果、即ちダンピング効果を現わすこ
とになる。他の回転数においては、帯域通過フィルタ1
0の特性によりその出力が無視出来、X軸制御回路を経
た出力のみによって制御されることになる。
Y軸方向の制御回路についてもはゾ同じ構成。
作用をとるが、Y軸に対してX軸方向位置センサ2xは
90°位相が遅れているため、帯域通過フィルタ10を
出たX軸方向位置センサ2Xの出口は反転回路を通し、
位相を1800ずらせておく必要がある。このような回
路を構成することにより、軸の固有振動数での回転にお
いて振動減衰力が十分確保され危険速度を通過して回転
させることが可能となる。
90°位相が遅れているため、帯域通過フィルタ10を
出たX軸方向位置センサ2Xの出口は反転回路を通し、
位相を1800ずらせておく必要がある。このような回
路を構成することにより、軸の固有振動数での回転にお
いて振動減衰力が十分確保され危険速度を通過して回転
させることが可能となる。
以上説明した通り、この発明による制御式ラジアル磁気
軸受の制御装置では、X軸及びY軸方向の制御回路に互
い1こ90°位相の進んだ位置センサの信号を重ね合せ
ることによって固有振動数付近における制御力の位相を
進めて位相余有を得ることができるから、固有振動数付
近での回転軸の振れまわりを押えることが出来、固有振
動数を超えてさらに高速度で回転せしめることができ、
超高速用の磁気軸受として極めて広い用途に用いること
ができる。
軸受の制御装置では、X軸及びY軸方向の制御回路に互
い1こ90°位相の進んだ位置センサの信号を重ね合せ
ることによって固有振動数付近における制御力の位相を
進めて位相余有を得ることができるから、固有振動数付
近での回転軸の振れまわりを押えることが出来、固有振
動数を超えてさらに高速度で回転せしめることができ、
超高速用の磁気軸受として極めて広い用途に用いること
ができる。
第1図はこの発明の実施例である制御式ラジアル磁気軸
受の制御装置の全体回路図をブロック線図で表わした図
、第2図は帯域通過フィルタの伝達関数を表わす図、第
3図は上記制御装置の−1の制御回路出力効果を、類似
の効果を持つ一巡伝達関数のボード線図で置き代えた図
である。 1・・・回転軸、2x 、2y・・・位置センサ、3・
・・・位置設定部、4,4′・・・加算器、5・・・偏
差増幅器。
受の制御装置の全体回路図をブロック線図で表わした図
、第2図は帯域通過フィルタの伝達関数を表わす図、第
3図は上記制御装置の−1の制御回路出力効果を、類似
の効果を持つ一巡伝達関数のボード線図で置き代えた図
である。 1・・・回転軸、2x 、2y・・・位置センサ、3・
・・・位置設定部、4,4′・・・加算器、5・・・偏
差増幅器。
Claims (2)
- (1)回転軸の半径方向の位置を位置センサにより検出
し、その信号をフィードバック信号として制御回路に入
力して電磁石の電磁力を制御し、軸の半径方向位置を定
位置に保持する制御式ラジアル磁気軸受の制御装置にお
いて、回転軸に垂直な同一面内で回転中心に対して互い
に直交するX軸方向及びY軸方向における同軸方向の電
磁石に対してそれぞれ制御回路を設け、各制御回路が位
置センサと、その出力信号の設定位置信号からの偏差信
号を増幅し、位相補償してこれをもう一方の制御回路か
らの入力信号と加算した後その合出力を増幅する回路と
、前記位置センサの偏差増幅信号を回転軸の機械的な固
有振動数よりも中心周波数がわずかに高く設定された帯
域通過フィルタを介して出力する回路とから成り、一方
の制御回路の上記位置センサの検知信号を前記帯域通過
フィルタを有する回路を介して各電磁石の同軸方向に対
して回転方向に90°位相の進んだ位置にあるもう一方
の制御回路に加算し、このもう一方の制御回路の位置セ
ンサの検知信号を前記一方の制御回路に同様に加算する
ことを特徴とする制御式ラジアル磁気軸受の制御装置。 - (2)各電磁石の同軸方向に対して回転方向に90°位
相の進んだ位置にある前記もう一方の制御回路の帯域通
過フィルタを有する回路にその出力を反転する反転回路
を設けたことを特徴とする特許請求の範囲第1項に記載
の制御式ラジアル磁気軸受の制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12772685A JPS61286610A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 制御式ラジアル磁気軸受の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12772685A JPS61286610A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 制御式ラジアル磁気軸受の制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61286610A true JPS61286610A (ja) | 1986-12-17 |
Family
ID=14967179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12772685A Pending JPS61286610A (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 制御式ラジアル磁気軸受の制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61286610A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63259217A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-26 | Hitachi Ltd | 回転機械の電磁軸受制御装置 |
| JPS63181992U (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-24 | ||
| JPH01140315A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-01 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
| KR100629674B1 (ko) | 2004-04-14 | 2006-09-28 | 학교법인 포항공과대학교 | 두 센서를 이용한 회전체의 흔들림 오차 측정 방법 및 장치 |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP12772685A patent/JPS61286610A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63259217A (ja) * | 1987-04-17 | 1988-10-26 | Hitachi Ltd | 回転機械の電磁軸受制御装置 |
| JPS63181992U (ja) * | 1987-05-15 | 1988-11-24 | ||
| JPH01140315A (ja) * | 1987-11-27 | 1989-06-01 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
| KR100629674B1 (ko) | 2004-04-14 | 2006-09-28 | 학교법인 포항공과대학교 | 두 센서를 이용한 회전체의 흔들림 오차 측정 방법 및 장치 |
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