JPS61286681A - 高速位置制御装置 - Google Patents

高速位置制御装置

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JPS61286681A
JPS61286681A JP12869585A JP12869585A JPS61286681A JP S61286681 A JPS61286681 A JP S61286681A JP 12869585 A JP12869585 A JP 12869585A JP 12869585 A JP12869585 A JP 12869585A JP S61286681 A JPS61286681 A JP S61286681A
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spool
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tip
pressure chamber
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水戸 昭夫
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矢島 三郎
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、スプール又はピストンを入力部材に追従し
て高速で移動させる位置制御装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種の位置制御装置としては9例えば第11V
Aに示すようなものがあった。
これを簡単に説明すると、弁ボディ1にはスプール2が
収納されてスプリング3によって閉弁方向に付勢されて
おり、スプール2内にはオリフィス4を有する通路が入
力ポート5とスプール背圧室6との間を連通ずるように
に設けられ、さらに、背圧室6と出口ポート7との間を
連通ずる円錐状開口部8を持つ通路Sが設けられている
にのスプール2は、入力ロッド10の先端部との間にオ
リフィス11を形成して入力ロット10に追従する。す
なわち、入力ロット10を図で右方に押込むと、オリフ
ィス11を閉鎖して背圧室6の圧力を高め、スプール2
は図示のように右端縁がシート部12に密着して入口ポ
ート5と出口ポート7の間の流路を閉鎖する。
入力ロッド10を左方に移動させると、スプール2がそ
れに追従して左方へ移動し、シート部12から離れて流
路を開く。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、このような従来のスプール又はピストン
の位置制御装置にあっては、入力ロッド10が単なる棒
状をなして背圧室6から外部に突出していたため、出ロ
ポートフの圧力が入力ロット10の断面積に作用してい
た。
したがって、スプール2又はピストンを極めて高速度で
追従させるためには、入力ロット10の径ならびに開口
部8及び通路Sを大幅に拡大する必要があるが、出口ポ
ート7が外部の負荷装置に接続されている場合には、入
力ロット10には大きな突き出し力が作用してしまう。
そのため、大形の入力制御装置を必要とするという問題
点があった。
この発明は、このような従来装置の問題点を解決するこ
とを目的とする。
〔問題点を解決するための手段ゴ そのため、この発明による高速位置制御装置は、スプー
ル又はピストンの背圧室内にさらされる端面に中空ロッ
ドを突設して弁ボディ内に形成した中間油室に突き出さ
せ、その中間油室をパイロット油排出ポートに連通させ
、入力ロットを弁ボディ内の上記中間油室に連接する摺
動孔に摺動自在に嵌挿し、その先端部を上記中間油室に
突き出して上記中空ロッドの先端部とによってオリフィ
スを形成すると共に、その後端部には弁ボディの外部に
突き出す小径の操作ロッドを固設する。
そして、上記形成オリフィスを中空ロッド内の通路を通
して背圧室に連通させると共に、入力ロッド内に形成し
た通路を通して上記摺動孔の入力ロッド後端側に形成さ
れる油室にも連通させるようにしたものである。
〔作  用〕
入力ロッドを操作ロッドの操作によりスプールの端面か
ら離れる方向へ変位させると、背圧室のパイロット油が
上記形成オリフィス及び中空ロッド内の通路を通って瞬
時に多量に排出されるので。
スプール又はピストンを入力ロットの変位に高速で追従
させることができる。
〔実 施 例〕
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は、この発明の第1実施例を示す断面図である。
この実施例において、弁ボディ20内に摺動自在に収納
されるスプール21は非等面積形のポペットスプールで
、入口ポート22と出口ポート23との間で、スプール
21の先端部に形成した円筒状部のVカット21aが流
路の開度を制御する。このスプール21は、背圧室24
内に設けたスプリング25によって上記流路を閉じる方
向に付勢されている。
そして、このスプール21の端面21bがさらされてい
る背圧室24に、入口ポート22からオリフィス26を
介してパイロット油を流入させる通路27を弁ボディ2
0に形成している。
そして、スプール21の端面21bに中空ロッド28を
突設して、弁ボディ20内に形成した中間油室29に隔
壁部20aを摺動自在に貫通して突き出させ、その中間
油室29はタンク30に接続されるパイロット油排出ポ
ート31に連通ずる。
中空ロッド28は、基部にその内部通路28aを背圧室
24に連通させる径方向の透孔28bが複数個設けられ
ており、先端の内周面は円錐状開口を形成している。
一方、入カロット32は、弁ボディ20内に中間油室2
日と連続して形成された摺動孔20bに摺動自在に嵌挿
されており、その先端部を背圧室内24に突き出し、先
端面に設けた円錐状凹面32aと中空ロッド28の先端
部とによってオリフィス33を形成している。
それによって1、オリフィス2日を介して背圧室24へ
流入するパイロット油を、中空ロッド28の透孔28b
及び内部通路28Cとこの形成オリフィス33を通して
中間油室2Sへ流出させ、さらにパイロット油排出ポー
ト31からタンク30へ排出させるように構成している
また、入力ロット32の後端部には、第2図にも示すよ
うに弁ボディ20の外部に突き出す小径の操作ロッド3
4を一体的に固設している。入力ロット32にはさらに
、その先端面と後端面間を貫通する複数の貫通路32b
を形成している。
そして、摺動孔20bの入力ロット32の後端側に形成
される油室35に、貫通路32bを通して形成オリフィ
ス33の内側の油圧を導くように構成している。
この実施例の作動原理は第11図に示した従来例と同様
であるが、中空ロッド28の径D1が大きく、その内部
通路28aの径も大きいので、形成オリフィス33から
背圧室24の圧油を瞬間的に多量に排出できる。したが
って、スプール21を入力ロット32の変位に高速で追
従させることが可能である。
入力ロット32の外径D2は、中空ロッド28の外径D
1と略等しいか、あるいは操作ロッド34(径D3)の
断面積分だけ太くなるようにしている。径D2をD!よ
りやや大きくしておくと、操作ロッド34の突き出し力
は入力ロット32と中空ロッド28の断面積の差によっ
て打消され。
入力ロット32を操作ロッド34により極めて小さい操
作力で制御することができる。
そして、スプール21は、中空ロッド28の先端部と入
力ロット32の先端円錐状凹面32.とによって形成さ
れるオリフィス33により自動的に調整される背圧室2
4内の圧力と、入口ポート22からのメイン流路の圧力
及びスプリング25による付勢力との力関係を保たれて
、入力ロット32に追従して位置決めされる。
第3図はこの発明の第2実施例を示し、第1図と同様な
部分には同一符号を付してあり、それらの説明は省略す
る。
この実施例におけるスプール41は等面積形スプールで
、その先端面41aと弁ボディ20に形成された円錐状
シーと面20Cとの間隙によって、入力ポート22と出
口ポート23間の流路の開度を制御する。そして、背圧
室24内にさらされる後端面41bには、第1実施例と
同様な中空ロッド28が突設されている。
このスプール41内には、オリフィス41cを有する貫
通路41dが設けられており、入口ポート22からこの
貫通路41dを通して中空ロッド28の内部通路28a
内へパイロット油を導入し。
さらに透孔28bを通して背圧室24内へ流入させるよ
うにしている。
この第2実施例によっても、第1実施例と同様な作用効
果が得られる。
第4図はこの発明の第3実施例を示し、第1図と同様な
部分には同一符号を付してあり、それらの説明は省略す
る。
この実施例においては、第1実施例と同じポペット形ス
プール21を使用しているが、入口ポート42と出口ポ
ート43が第1図の実施例と逆になっている。
また、この実施例では弁ボディ20に形成したオリフィ
ス2日を有する通路44を通して、入口ポート42から
背圧室24ヘパイロツト油を流入させるようにしている
さらに、外部にも電磁弁45及びオリフィス46を介挿
した油路47を設けて、ボディ20に形成したポート4
8.49に接続し、この径路によっても入口ポート42
から背圧室24ヘパイロツト油を流入させることができ
るように構成している。
なお、操作ロッド34の操作は、位置センサ付比例ソレ
ノイド50によって高精度に行なえるようにしている。
ところで、この発明は一方向(第4図で左方)へのスプ
ールの高速移動を小さい操作力で可能にすることであり
、スプールの他方向(第4図で右方)への移動は検討外
であるので、一般にオリフィス2日の径で決まる少滴量
のパイロット流量でよい。
ところが、この他方向への移動も高速で制御したい場合
には、そのスプール移動時のみオリフィス径を大きくし
てパイロット流量を増大させればよい。
この第3実施例はそのような時に用いられ、電磁弁45
を開くことによって、オリフィス4日を通してもパイロ
ット油が背圧室24へ流入し、オリフィス26の径を大
きくしたのと同等の作用をなす。
第5図はこの発明の第4実施例を示し、第1図と同様な
部分には同一符号を付してあり、それらの説明は省略す
る。
この実施例におけるスプール51は、第3図のスプール
41と同様な等面積形スプールであるが、パイロット油
の供給は、弁ボディ20に形成したオリフィス26を有
するパイロット油供給ポート52を通して、パイロット
油供給源53から行なうようにしている。
ところで、スプールは入力ロッドに追従制御されるが、
入力ロットを極めて高速で移動させると。
スプールは位置的にある程度遅れて移動し、最終的には
入力ウッドと中空ロッドとが衝突することも考えられる
この実施例では、入力ロット32′の先端部とスプール
51に突設した中空ロッド28の先端部とによる成形オ
リフィス33を2段絞り状にして、中空ロッド28が入
力ロット32′に高速で衝突する前にクッション作用を
行なわせて減速し、その後で位置追従が行なわれるよう
にしたものである。
第6図は第5図の要部拡大図で、第7図はその速度線図
であり、例えば入力ロット32′が瞬間的に第6図の上
側に示す位置に移動したとすると、中空ロッド28の内
部通路28.から中間油室2S内に背圧室24の圧油が
矢示Aのように排出され、その排出流量によりスプール
51及びそれと一体の中空ロッド28が高速で矢示B方
向へ移動する。
すると、中空ロッド28の角部dが入力ロット32′の
角部aに近づくに従って、急激にその面積が閉ざされて
いく。その後、テーパ部す2円筒面部Cが順次角部dに
被さっていくに従ってさらに減速され、最終的には第6
図の下側に示すように、オリフィス33に見合った開度
Xにて位置決めされる。
第8図は、この発明の第5実施例のオリフィス形成部の
みを示す要部拡大断面図である。
この実施例では、入力ロット62の先端部に円錐状凹部
62.と円筒状凹部62cを形成し、内部通路68aを
有する中空ロッド68の先端部68cの外径を主径部よ
り細くして段状に形成し、さらにその先端を先細りのテ
ーパ面にして、入力ロット62の先端部の円錐状凹部6
2a及び円筒状凹部62Cとの間にオリフィス33を形
成する。
それによって、前述の第4実施例と同様なりッション作
用を持たせている。
これらの第4.第5実施例によれば、極めて高速でスプ
ールを追従移動させても、入力ロットと中空ロッドが衝
突して損傷するようなことがない。
第S図はこの発明の第6実施例を示し、第1図及び第5
図と同様な部分には同一符号を付しである。
この実施例は、スプール形状を常開形にした例であり、
入力ロッドの操作力をさらに軽減させる構造にしている
すなわち、この実施例のスプール71は、入口ポート2
2と出口ポート23を連通させる開ロア1aを設けた円
筒状部71bを有し、背圧室24内にさらされる端面7
1Cに中空ロッドア8を突設して中間油室29内へ突き
出している。
中空ロッドア8は、第1図の中空ロッド28と同様に内
部通路78a及び透孔78bを形成しており、先端部7
8Cの外径D5が背圧室24内にある主径部の径D!よ
り大きくなっている。
入力ロット72は、中空ロッドア8の先端部78cとオ
リフィス33を形成する先端面72aが平面状であり、
摺動孔20bに嵌入する後端部に主径部(径D2)より
大径(D4)の大径部72cを有し、その径差により弁
ボディ20との間に形成される油室73をタンクポート
74に連通させている。
また、弁ボディ20内にシャトル弁75を設け、入口ポ
ート22から通路27及びシャトル弁75゜オリフィス
26を介して背圧室24ヘパイロツト油を流入させるほ
かに、パイロット油供給源53からパイロット油供給ポ
ート52に供給されるパイロット油を、シャトル弁75
及びオリフィス2日を介して背圧室24へ流入させるこ
ともできるようにしている。
さらに、中間油室2日と連通ずるパイロット油排出ポー
ト31を、2位置切換弁であるソレノイドバルブ76を
介して油圧源77とタンク78に切換接続可能にしてい
る。
そして、通常はパイロット油排出ポート31をタンク7
8に連通させるようにソレノイドバルブ76を切換えて
あり、定常状態ではオリフィス26を介して背圧室24
へ流入する少量のパイロット流量がパイロット油排出ポ
ート31から流出しているが、緊急動作時にはソレノイ
ドバルブ76をパイロット油排出ポート31が油圧源7
7に接続されるように切換えることにより、中間油室2
9に高圧をかけると、入力ロット72の状態に無関係に
スプール71を右方端(図では全開)へ移動させること
ができる。
しかし、この時中間油室2S内の圧力上昇により、操作
ロッド32(径D3)の断面積分に対する押圧力により
左方向への突き出し力が作用する。
この実施例では、入力ロット72に大径部72Cを設け
ることにより、この突き出し力を相殺する押圧力を発生
させてバランスさせるようにしている。
これらの径D1〜D5の関係を適宜選択することにより
、前述の如くバランスを保って極めて小さい操作力で制
御できるようになし得る。入力ロット72(径D2)を
さらに太くすると常に引き込み力が作用し、操作力を除
去すると図示の全開状態となる。逆に入力ロット72を
細くすると。
常に突き出し力が作用する。
第10図は、この発明の第7実施例、すなわちピストン
の位置制御を行なう例であり、第1図と同様な部分には
同一符号を付しである。
出力ロット81jを一体とするピストン81の一部に、
一点鎖線で示すように溝81.及びランド部81bを形
成することにより切換弁とする。
82は弁ボディ20に設ける入口ポート、83は出口ポ
ートである。
ピストン81の背圧室24内にある大径部81Cの端面
には中空ロッド28を突設して、中間油室2S内に突き
出させている。
そして、このピストン81の主径部(径Da)と大径部
(径Db)の径差によって形成される油室84をパイロ
ット油供給ポート52に接続して、パイロット油供給源
53からパイロット油を供給し、この油室84からさら
に弁ボディ20内に形成したオリフィス26を有する通
路85を通して、背圧室24にパイロット油を流入させ
るようにしている。
入力ロット32は、第1図の実施例における入力ロット
と全く同様に形成されている。
ここで、ピストン81の土掻Daと大径部81Cの径D
bは出力ロット81fに作用する負荷の向きや大きさに
応じて適宜選択される。この場合、油室84側からピス
トン81を左方へ押圧する有効作用面積は(π/4)(
Db”−Da2)、背圧室24側からピストン81を右
方へ押圧する有効作用面積は(π/4)Db2となる。
例えば、出力ロット91jに適当な大きさの左方への押
込力が作用している場合にはD b = D aにして
もよい。
〔発明の効果〕
以上説明してきたように、この発明による高速位置制御
装置は、極めて高速でスプール又はピストンを入力ロッ
ドに位置追従して一方向に移動位置決めできる。
しかも、入力ロッドの操作力は極めて小さくて済み、そ
の作力を零あるいは、突き出し又は引き込み方向にする
ことも可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の第1実施例を示す縦断面図。 第2図は同じくその入力ロットの後端部側から見た要部
射視図、 第3図はこの発明の第2実施例を示す縦断面図、第4図
はこの発明の第3実施例を示す縦断面図、第5図はこの
発明の第4実施例を示す縦断面図。 第6図は第5図の要部拡大説明図、 第7図は同じくその速度線図、 第8図はこの発明の第5実施例の要部拡大断面図、第S
図はこの発明の第6実施例の縦断面図、第10図はこの
発明の第7実施例の縦断面図。 第11図は従来のスプール位置制御装置の例を示す縦断
面図である。 20・・・弁ボディ    20b・・・摺動孔21.
41,51,71.81・・・スプール22.42,8
2・・・入口ポート 23.43.83・・・出口ポート 24・・・背圧室     25・・・スプリング26
.41c・・・オリフィス 28.6B、78・・・中空ロッド 29・・・中間油
室31・・・パイロット油排出ポート 32.32’ 、72・・・入力ロッド33・・・形成
オリフィス  34・・・操作ロッド35.73.84
・・・油室 50・・・位置センサ付比例ソレノイド52・・・パイ
ロット油供給ポート 第6図 手続補正書(自発) 昭和61年1月21 日 特許庁長官 宇 賀 道 部 殿 1、事件の表示 特願昭60−128695号 2、発明の名称 高速位置制御装置 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 東京都大田区南蒲田2丁目16番46号(338)  
株式会社 東 京 計 器4、代理人 東京都豊島区東池袋1丁目20番地5 (1)明m書の特許請求の範囲の欄 (2)明f、III書の発明の詳細な説明の欄rq)a
smrz/7′+rp石ty>ps里り説明ノmtr’
;’)1以6、補正の内容 (1)明細書の特許請求の範囲を別紙のとおり補正する
。 (2)同書第15頁第2行と第3行との間に次の記載を
挿入する。 r なお、第6a図に示すように、中空ロッド28の外
径と入力ロット32′の円筒面部Cとの間の隙間を少な
くしてしっくりとしたはめ合い状態にすると、スプール
と一体の中空ロッド28はその先端角部dと入力ロッド
32′のテーバ部すとで形成される形成オリフィス33
′をオリフィス33に見合った量にして位置決めされる
。 この場合、中空ロッド28の先端と入力ロッド32′の
円筒面部Cの底面とはかなりの距離があり、衝突の恐れ
はない。また、中空ロッド28の先端に切欠き等を設け
ることにより1位置決め時の速度変化をさらにゆるくす
ることも可能である。」 (3)同書第16頁第1行の「さらに」を削除する。 (4)同書同頁第11行の「より大きくなっているJを
、rとほぼ等しい。」と訂正する。 (5)同書同頁第18行と第19行との間に次の記載を
挿入する。 「 そして、各径をD2ΦDs 皐り、に形成しである
。」 (6)同書第17頁第7行〜第18頁第15行の「さら
に、・・・・・・作用する。」を次のとおり補正する。 「 さらに、中間油室2Sと連通ずるパイロット油排出
ポート31を、2位置切換弁であるソレノイドバルブ7
6を介して閉鎖あるいはタンク77に切換接続可能にし
ている。 そして、通常はパイロット油排出ポート31をタンク7
7に連通させるようにソレノイドバルブ76を切換えて
あり、定常状態ではオリフィス26を介して背圧室24
へ流入する少量のパイロット流量がパイロット油排出ポ
ート31から流出しているが、緊急動作時にはソレノイ
ドバルブ76をパイロット油排出ポート31が閉鎖され
るように切換えることにより、入力ロット72の状態に
無関係にスプール71を右方端(図では全開)へ移動さ
せることができる。 しかし、この時中間油室2S内の圧力上昇により、操作
ロッド34(径D3)の断面積分に対する押圧力により
左方向への突き出し力が作用する。 この実施例では、入力ロット72に大径部72cを設け
ることにより、この突き出し力を相殺する押圧力を発生
させてバランスさせるようにしている。 これらの径D1〜D5の関係を適宜選択することにより
、前述の如くバランスを保って極めて小さい操作力で制
御できるようになし得る。 入力ロッドの大径部72c (径D4)をさらに太くす
ると常に引き込み力が作用し、操作力を除去すると図示
の全開状態となる。逆に細くすると、常に突き出し力が
作用する。」 (7)同書第19頁第19行の「出力ロット81f」を
、ir出出口ロット81jと訂正する。 (8)同書第20頁第5行の「出力ロット91j」を、
「出力ロット81j」と訂正する。 (9)同書第21頁第3行と第4行の間に次の記載を挿
入する。 r第6a図は第6図と同様な部分の若干異なる例を示す
要部拡大説明図、」 (10)図面の「第6図」と「第7図」の間に別紙図面
のr第6a図」を追加する。 (11)図面の「第9図」を別紙訂正図面のとおり訂正
する。 以上 (別紙) 特許請求の範囲 1 弁ボディに形成した入口ポートと出口ポートとの間
でその開度を位置により連続的に調整するスプール又は
ピストンと、該スプール又はピストンの位置を制御する
入力ロットとを設け。 前記スプール又はピストンの端面がさらされている背圧
室に前記入口ポート又はパイロット油圧供給ポートから
オリフィスを介してバイロン1へ油を流入させるように
し、 前記スプール又はピストンの端面に中空ロッドを突設し
て前記弁ボディ内に形成した中間油室内に突き出させ、
該中間油室をパイロット油排出ポートに連通させると共
に。 前記入力ロットを前記弁ボディ内に前記中間油室と連続
して形成した摺動孔に摺動自在に嵌挿し、その先端部を
前記中間油室内に突き出して前記中空ロッドの先端部と
によってオリフィスを形成する一方、該入力ロットの後
端部には前記弁ボディの外部に突き出す小径の操作ロッ
ドを固設し、前記形成オリフィスを、前記中空ロッド内
の通路を通して前記背圧室に連通させると共に、前記入
力ロット内に形成した通路を通して前記摺動孔の前記入
力ロット後端側に形成される油室にも連通させたことを
特徴とする高速位置制御装置。 2 人力ロッドの径(D2)が前記中空ロッドの先端部
の外径(D5)に略等しいことを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の高速位置制御装置。 A 中空ロッドは、その先端部外径(D5)を前記背圧
室内にある主径部の径(Dりに対して太くしたことを特
徴とする特許請求の範囲第1項及1第1項立亘ヱムたく
記載の高速位置制御装置。 −5−中空ロッドは、その先端部外径(D5)を前記背
圧室内にある主径部の径(D1)と等しくしたことを特
徴とする特許請求の範囲第1項及工第1項(7)jN工
並恋且記載の高速位置制御装置。 旦 中空ロッドは、その先端部外径(D5)を前記背圧
室内にある主径部の径(D1)に対して繕くしたことを
特徴とする特許請求の範囲第1項及1第1項座…ヱに友
区記載の高速位置制御装置。 I 入力ロットは、後端部に主径部より太い大径部を有
し、該大径部の径(D4)と前記主径部の径(D2)の
差により弁ボディ内形成される油室をタンクポートに接
続したことを特徴とする特許請求の範囲第1項  2 
 び 4 乃至第一6−項のいずれかに記載の高速位置
制御装置。 l 入力ロットの先端部とそれに対応する前記中空ロッ
ドの先端部の形状を、WJ者が正規の関係位置に至るま
での両者の接近に際し、上記両者によって形成されるオ
リフィスの開口量を正規の開口量に向かって徐々にある
いは段階的に減らす形状にしたことを特徴とする特許請
求の範囲第1項乃至第1項のいずれかに記載の高速位置
制御装置。 1 スプール又はピストンが、背圧室に設けられたスプ
リングによって一方向に偏倚されていることを特徴とす
る特許請求の範囲第1項乃至第工項のいずれかに記載の
高速位置制御装置。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 弁ボディに形成した入口ポートと出口ポートとの間
    でその開度を位置により連続的に調整するスプール又は
    ピストンと、該スプール又はピストンの位置を制御する
    入力ロッドとを設け、 前記スプール又はピストンの端面がさらされている背圧
    室に前記入口ポート又はパイロット油圧供給ポートから
    オリフィスを介してパイロット油を流入させるようにし
    、 前記スプール又はピストンの端面に中空ロッドを突設し
    て前記弁ボディ内に形成した中間油室内に突き出させ、
    該中間油室をパイロット油排出ポートに連通させると共
    に、 前記入力ロッドを前記弁ボディ内に前記中間油室と連続
    して形成した摺動孔に摺動自在に嵌挿し、その先端部を
    前記背圧室内に突き出して前記中空ロッドの先端部とに
    よつてオリフィスを形成する一方、該入力ロッドの後端
    部には前記弁ボディの外部に突き出す小径の操作ロッド
    を固設し、前記形成オリフィスを、前記中空ロッド内の
    通路を通して前記背圧室に連通させると共に、前記入力
    ロッド内に形成した通路を通して前記摺動孔の前記入力
    ロッド後端側に形成される油室にも連通させたことを特
    徴とする高速位置制御装置。 2 入力ロッドの径(D_2)が前記中空ロッドの先端
    部の外径(D_5)に略等しいことを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の高速位置制御装置。 3 中空ロッドは、その先端部外径(D_5)を前記背
    圧室内にある主径部の径(D_1)に対して太くしたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項記載の
    高速位置制御装置。 4 中空ロッドは、その先端部外径(D_5)を前記背
    圧室内にある主径部の径(D_1)と等しくしたことを
    特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項記載の高速
    位置制御装置。 5 中空ロッドは、その先端部外径(D_5)を前記背
    圧室内にある主径部の径(D_1)に対して細くしたこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項又は第2項記載の
    高速位置制御装置。 6 入力ロッドは、後端部に主径部より太い大径部を有
    し、該大径部の径(D_4)と前記主径部の径(D_2
    )の差により弁ボディ内形成される油室をタンクポート
    に接続したことを特徴とする特許請求の範囲第1項乃至
    第5項のいずれかに記載の高速位置制御装置。 7 入力ロッドの先端部とそれに対応する前記中空ロッ
    ドの先端部の形状を、両者が正規の関係位置に至るまで
    の両者の接近に際し、上記両者によつて形成されるオリ
    フィスの開口量を正規の開口量に向かつて徐々にあるい
    は段階的に減らす形状にしたことを特徴とする特許請求
    の範囲第1項乃至第6項のいずれかに記載の高速位置制
    御装置。 8 スプール又はピストンが、背圧室に設けられたスプ
    リングによつて一方向に偏倚されていることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項乃至第7項のいずれかに記載の
    高速位置制御装置。
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