JPS61293745A - 精密位置決め装置 - Google Patents
精密位置決め装置Info
- Publication number
- JPS61293745A JPS61293745A JP60132203A JP13220385A JPS61293745A JP S61293745 A JPS61293745 A JP S61293745A JP 60132203 A JP60132203 A JP 60132203A JP 13220385 A JP13220385 A JP 13220385A JP S61293745 A JPS61293745 A JP S61293745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- feed screw
- table plate
- positioning device
- slide table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
- B23Q5/34—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission
- B23Q5/38—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously
- B23Q5/40—Feeding other members supporting tools or work, e.g. saddles, tool-slides, through mechanical transmission feeding continuously by feed shaft, e.g. lead screw
- B23Q5/408—Nut bearings therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H2025/2445—Supports or other means for compensating misalignment or offset between screw and nut
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ＸＹテーブル等に利用される精密位置決め装
置の駆動方法に関するものである。
置の駆動方法に関するものである。
従来の技術
従来のこの種の精密位置決め装置は、例えば特開昭５９
−７１８１２号公報に示されているように、第３図のよ
うな構造となっていた。
−７１８１２号公報に示されているように、第３図のよ
うな構造となっていた。
すなわち１９は動力源であるモータで、ブラケット２ｏ
に固定されている。２１はモータシャフトで、継手２２
によって送りネジ２３と一端で連結され回転可能となっ
ている。２４．２５は軸受であり、軸受ブラケット２８
．２７に固定され、前記送シネジ２３を回転可能として
いる。又、前記送りネジ２３のナツト２８は、ナツト保
持部２９により固定されている。前記ナツト保持部２９
の送りネジ２３の下側には送りネジ２３と平行にすニア
モーシコンベアリング３ｏを固定していて、ガイドバー
３１土を摺動自在の構造としている。
に固定されている。２１はモータシャフトで、継手２２
によって送りネジ２３と一端で連結され回転可能となっ
ている。２４．２５は軸受であり、軸受ブラケット２８
．２７に固定され、前記送シネジ２３を回転可能として
いる。又、前記送りネジ２３のナツト２８は、ナツト保
持部２９により固定されている。前記ナツト保持部２９
の送りネジ２３の下側には送りネジ２３と平行にすニア
モーシコンベアリング３ｏを固定していて、ガイドバー
３１土を摺動自在の構造としている。
前記ガイドバー３１の両端は、軸受ブラケット２６．２
７に固定されている。第４図は前記ナンド保持部２９と
スライドテーブル３２に固定されたテーブルプレー）３
３．３４の拡大斜視図であシ、スライドテーブル３２か
らの・圧力気体が前記テーブルプレー）３３．３４へ導
入され、更にはテーブルプレー）３３．３４のノズル３
５．３６からナツト保持部２９へ噴出され気体軸受とし
て込る。これによって、前記ナツト２８、ナツト保持部
２９、チルプルブレー）３３．３４およびスライドテー
ブル３２は一体となシモータ１９からの動力を送りネジ
２３を介して駆動することになる。
７に固定されている。第４図は前記ナンド保持部２９と
スライドテーブル３２に固定されたテーブルプレー）３
３．３４の拡大斜視図であシ、スライドテーブル３２か
らの・圧力気体が前記テーブルプレー）３３．３４へ導
入され、更にはテーブルプレー）３３．３４のノズル３
５．３６からナツト保持部２９へ噴出され気体軸受とし
て込る。これによって、前記ナツト２８、ナツト保持部
２９、チルプルブレー）３３．３４およびスライドテー
ブル３２は一体となシモータ１９からの動力を送りネジ
２３を介して駆動することになる。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、上記のような構造では、駆動時に送りネ
ジ２３の軸受部とネジ部との同軸度の狂騒や送シネジ２
３のそシによる振れ回シによってナツト保持部２９のラ
ジアル方向の変位、変動が生じることになる。前記ナツ
ト保持部２９とテーブルプレー）３３．３４とで気体軸
受を構成していても圧力気体を介して、ナンド保持部２
９とテーブルプレート３３．３４とは面接触である為、
前記のナツト２８のラジアル方向の変位、変動は容易に
スライドテーブル３２に作用してテーブル面のヨーイン
グ（横揺れ）を生じさせる。このことは気体軸受の性質
上、ナツト保持部２９が変位してテーブルプレー）３３
．３４との間隙、つまりクリアランスが変われば、この
クリアランスの変位を元に戻して釣り合いを保とうとす
るためにテーブルプレート３３．３４が変位しスライド
テーブル３２に作用するものである。このことは、スラ
イドテーブル３２のスライド方向の送りｎ度に誤差を生
じ、位置決め精度を低下させる。又、一般に気体軸受は
単位面積あたりの剛性が低いため、スライドテーブルに
用いる場合、大形化してしまいあまシ実用的でない等の
問題点を有していた。
ジ２３の軸受部とネジ部との同軸度の狂騒や送シネジ２
３のそシによる振れ回シによってナツト保持部２９のラ
ジアル方向の変位、変動が生じることになる。前記ナツ
ト保持部２９とテーブルプレー）３３．３４とで気体軸
受を構成していても圧力気体を介して、ナンド保持部２
９とテーブルプレート３３．３４とは面接触である為、
前記のナツト２８のラジアル方向の変位、変動は容易に
スライドテーブル３２に作用してテーブル面のヨーイン
グ（横揺れ）を生じさせる。このことは気体軸受の性質
上、ナツト保持部２９が変位してテーブルプレー）３３
．３４との間隙、つまりクリアランスが変われば、この
クリアランスの変位を元に戻して釣り合いを保とうとす
るためにテーブルプレート３３．３４が変位しスライド
テーブル３２に作用するものである。このことは、スラ
イドテーブル３２のスライド方向の送りｎ度に誤差を生
じ、位置決め精度を低下させる。又、一般に気体軸受は
単位面積あたりの剛性が低いため、スライドテーブルに
用いる場合、大形化してしまいあまシ実用的でない等の
問題点を有していた。
そこで、本発明は上記問題点に鑑み、駆動系からの外力
がスラスト方向以外には伝達されずにテーブルのスライ
ド方向の送シ精度を向上させる位置決め装置の駆動方法
を提供するものである。
がスラスト方向以外には伝達されずにテーブルのスライ
ド方向の送シ精度を向上させる位置決め装置の駆動方法
を提供するものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の位置決め装置は、
往復動可能なスライドテーブルとこのスライドテーブル
の摺動方向に軸中心を有する送りネジとこの送シネジと
螺合可能なナツトを保持したナツト保持部と前記送シネ
ジの軸方向と平行に設けられかつ前記ナツト保持部を軸
方向に摺動可能に取付けたガイドバーと前記ナツト保持
部とスライドテーブルに取付けられたテーブルプレート
との間に設けられ、このテーブルプレート及ヒ前記ナツ
ト保持部に当接して回転可能に設けられたローラとを備
えた位置決め装置である。
往復動可能なスライドテーブルとこのスライドテーブル
の摺動方向に軸中心を有する送りネジとこの送シネジと
螺合可能なナツトを保持したナツト保持部と前記送シネ
ジの軸方向と平行に設けられかつ前記ナツト保持部を軸
方向に摺動可能に取付けたガイドバーと前記ナツト保持
部とスライドテーブルに取付けられたテーブルプレート
との間に設けられ、このテーブルプレート及ヒ前記ナツ
ト保持部に当接して回転可能に設けられたローラとを備
えた位置決め装置である。
作 用
本発明は上記構成によシ、駆動時に送りネジの振れ回シ
によりナツトのラジアル方向の変位、変動があっても、
ナツト保持部に固定されテーブルプレートに接触したロ
ーラが回転するだけで、上記の変位、変動はスライドテ
ーブルに伝達されない。つまり、テーブル面のピッチン
グ（縦揺れ）およびヨーイング（横揺れ）がなく、テー
ブルの位置決め精度向上にきわめて有利である。
によりナツトのラジアル方向の変位、変動があっても、
ナツト保持部に固定されテーブルプレートに接触したロ
ーラが回転するだけで、上記の変位、変動はスライドテ
ーブルに伝達されない。つまり、テーブル面のピッチン
グ（縦揺れ）およびヨーイング（横揺れ）がなく、テー
ブルの位置決め精度向上にきわめて有利である。
実施例
以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。３ 第１図において、１は動力源であるモータで、ブラケッ
ト２に固定されている。３はモータシャフトで、継手４
によって送りネジ５と一端を連結され回転可能となって
いる。６，７は軸受であシ、軸受ブラケット８．９に固
定され、前記送りネジ６を回転可能としている。又、前
記送りネジ５のナツト１０は、ナツト保持部１１により
固定されている。
する。３ 第１図において、１は動力源であるモータで、ブラケッ
ト２に固定されている。３はモータシャフトで、継手４
によって送りネジ５と一端を連結され回転可能となって
いる。６，７は軸受であシ、軸受ブラケット８．９に固
定され、前記送りネジ６を回転可能としている。又、前
記送りネジ５のナツト１０は、ナツト保持部１１により
固定されている。
前記ナツト保持部１１の送シネジ５の下側には、送りネ
ジ６と平行にリニアモーションベアリング１２を固定し
ていて、ガイドバー１３上を摺動自在の構造としている
。前記ガイドバー１３の両端は軸受ブラケット８，９に
固定されている。第２図（ａ）は、第１図のＡ矢視拡大
図であり、第２図（ｂ）は、第１図のＢ矢視拡大図であ
る。１４はローラでローラ保持具１５に回転可能に保持
され、かつスライドテーブル１８に設けられたテーブル
プレート１６に接触している。前記ローラ保持具１６は
、前記テーブルプレート１６に相対する前記ナツト保持
部１１に取付けられている。１７は磁石であり、前−記
ローラ保持具１５と同一面上の前記ナツト保持部１１に
取付けられ、前記テーブルプレート１６を吸引固定して
いる。
ジ６と平行にリニアモーションベアリング１２を固定し
ていて、ガイドバー１３上を摺動自在の構造としている
。前記ガイドバー１３の両端は軸受ブラケット８，９に
固定されている。第２図（ａ）は、第１図のＡ矢視拡大
図であり、第２図（ｂ）は、第１図のＢ矢視拡大図であ
る。１４はローラでローラ保持具１５に回転可能に保持
され、かつスライドテーブル１８に設けられたテーブル
プレート１６に接触している。前記ローラ保持具１６は
、前記テーブルプレート１６に相対する前記ナツト保持
部１１に取付けられている。１７は磁石であり、前−記
ローラ保持具１５と同一面上の前記ナツト保持部１１に
取付けられ、前記テーブルプレート１６を吸引固定して
いる。
以上のように構成された位置決め装置について、その動
作を説明する。
作を説明する。
モータ１を駆動させることによって継手４、軸受６，７
および送りネジ５が回転する。これによりナラ）１０．
ナツト保持部１１およびスライドテーブル１７が送シ駆
動される。この送シの際、ナツト保持部１１に固定され
たリニアモーションベアリング１２が、ガイドバー１３
上を摺動する。
および送りネジ５が回転する。これによりナラ）１０．
ナツト保持部１１およびスライドテーブル１７が送シ駆
動される。この送シの際、ナツト保持部１１に固定され
たリニアモーションベアリング１２が、ガイドバー１３
上を摺動する。
本発明の構成の駆動方法であれば、駆動時に送りネジ５
が振れ回ってナツト１ｏがラジアル方向へ変位、変動し
てもローラ１４が回転するだけでスライドテーブル１８
へは縦揺れ、横揺れとなって影響しない。
が振れ回ってナツト１ｏがラジアル方向へ変位、変動し
てもローラ１４が回転するだけでスライドテーブル１８
へは縦揺れ、横揺れとなって影響しない。
発明の効果
以上のように本発明は、ナンド保持部とテーブルプレー
トの間にローラを保持するため、送シネジの振れ回りに
よるナツトのラジアル方向の変位、変動があってもロー
ラが回転するだけで、スライドテーブルには前記の変位
、変動が伝達されず、ピッチング、ヨーイングの影響を
受けないスライドテーブルの駆動ができる。よって、ス
ライドテーブルの位置決め精度が向上し、その実用的効
果は大なるものがある。
トの間にローラを保持するため、送シネジの振れ回りに
よるナツトのラジアル方向の変位、変動があってもロー
ラが回転するだけで、スライドテーブルには前記の変位
、変動が伝達されず、ピッチング、ヨーイングの影響を
受けないスライドテーブルの駆動ができる。よって、ス
ライドテーブルの位置決め精度が向上し、その実用的効
果は大なるものがある。
第１図は本発明の一実施例における精密位置決め装置の
スライドテーブル駆動装置の斜視図、第２図（、）は第
１図におけるＡ矢視拡大図、第２図Φ）は第１図におけ
るＢ矢視拡大図、第３図は従来のスライドテーブル駆動
装置の斜視図、第４図は同部分拡大斜視図である。 ６．２３・・・・・送シネジ、１０．２８・・・−・−
ナツト、１１．２９・・・・・ナツト保持部、１４−・
・・ローラ、１５・・−・−ローラ保持具、１６，３３
．３４・・・・・・テーブルプレート、１７・・・・・
・磁石、１８．３２・・・・・・スライドテーブル、３
５．３６・・・・・・ノズル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名５−
４ｖ冬ジ 第１図 １．５−１晒英 ＋ｆ−−テーフ゛ルフ０しＹ ｆＴ−−−１墓石
スライドテーブル駆動装置の斜視図、第２図（、）は第
１図におけるＡ矢視拡大図、第２図Φ）は第１図におけ
るＢ矢視拡大図、第３図は従来のスライドテーブル駆動
装置の斜視図、第４図は同部分拡大斜視図である。 ６．２３・・・・・送シネジ、１０．２８・・・−・−
ナツト、１１．２９・・・・・ナツト保持部、１４−・
・・ローラ、１５・・−・−ローラ保持具、１６，３３
．３４・・・・・・テーブルプレート、１７・・・・・
・磁石、１８．３２・・・・・・スライドテーブル、３
５．３６・・・・・・ノズル。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名５−
４ｖ冬ジ 第１図 １．５−１晒英 ＋ｆ−−テーフ゛ルフ０しＹ ｆＴ−−−１墓石
Claims (3)
- （１）往復動可能なスライドテーブルと、このスライド
テーブルの摺動方向に軸中心を有する送りネジと、この
送りネジと螺合可能なナットを保持したナット保持部と
、前記送りネジの軸方向と平行に設けられ、かつ前記ナ
ット保持部を軸方向に摺動可能に取付けたガイドバーと
、前記ナット保持部と前記スライドテーブルに取付けら
れたテーブルプレートとの間に設けられ、このテーブル
プレート及び前記ナット保持部に当接して回転可能に設
けられたローラとを備えた精密位置決め装置。 - （２）ローラを前記テーブルプレートに接触させる手段
として、テーブルプレートに相対するナット保持部の面
上、あるいは、ナット保持部に相対するテーブルプレー
トの面上に磁石を設置した特許請求の範囲第１項記載の
精密位置決め装置。 - （３）ローラを前記テーブルプレートに接触させる手段
として、テーブルプレートとナット保持部の間にバネを
設置した特許請求の範囲第１項記載の精密位置決め装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60132203A JPS61293745A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | 精密位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60132203A JPS61293745A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | 精密位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61293745A true JPS61293745A (ja) | 1986-12-24 |
Family
ID=15075802
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60132203A Pending JPS61293745A (ja) | 1985-06-18 | 1985-06-18 | 精密位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61293745A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02254398A (ja) * | 1989-03-28 | 1990-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スライドガイド装置 |
| JP2014100781A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 直進移動機構 |
-
1985
- 1985-06-18 JP JP60132203A patent/JPS61293745A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02254398A (ja) * | 1989-03-28 | 1990-10-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スライドガイド装置 |
| JP2014100781A (ja) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Yamaha Fine Technologies Co Ltd | 直進移動機構 |
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