JPS61294319A - 光検出装置 - Google Patents
光検出装置Info
- Publication number
- JPS61294319A JPS61294319A JP13550685A JP13550685A JPS61294319A JP S61294319 A JPS61294319 A JP S61294319A JP 13550685 A JP13550685 A JP 13550685A JP 13550685 A JP13550685 A JP 13550685A JP S61294319 A JPS61294319 A JP S61294319A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- photoelectric conversion
- conversion element
- transmitting plate
- detection device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0437—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using masks, aperture plates, spatial light modulators, spatial filters, e.g. reflective filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0462—Slit arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/0204—Compact construction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0488—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts with spectral filtering
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野）
本発明は、光検出装置に関し、特に受光部の構造に関す
る。
る。
（発明の背景）
一般に、所謂光学系からの光を電気信号に変換して信号
処理する場合、フォトトランジスタやフォトダイオード
等の光電変換素子を有する光検出装置を使用する。
処理する場合、フォトトランジスタやフォトダイオード
等の光電変換素子を有する光検出装置を使用する。
例えば、所謂光学系からの光信号を処理する場合、眼光
の光軸位置に光電変換素子を位置合せするようにして光
検出装置を設置する。
の光軸位置に光電変換素子を位置合せするようにして光
検出装置を設置する。
ここで、周知のように、従来の光検出装置の受光部は、
固定された光電変換素子の位置あるいは形状により決っ
てしまうので、容易に受光部の位置や形状を変更するこ
とは出来ない。
固定された光電変換素子の位置あるいは形状により決っ
てしまうので、容易に受光部の位置や形状を変更するこ
とは出来ない。
これは、例えば、モノリシック集積回路技術等で同一の
半導体基板（ウェーハ）に複数の光電変換素子を一体に
形成しておるため、一端所定の位置にあるいは、所定の
形状の光電変換素子を形成すると、その位置、あるいは
形状に対応する光の受光しか行う事が出来なくなるから
である。
半導体基板（ウェーハ）に複数の光電変換素子を一体に
形成しておるため、一端所定の位置にあるいは、所定の
形状の光電変換素子を形成すると、その位置、あるいは
形状に対応する光の受光しか行う事が出来なくなるから
である。
このような制約があるため、従来、受光部の位置や形状
の変更を必要とする場合には、初めから新たに光検出装
置を製造しなければならず、製造コストが高くなる事と
、製造期間が長くなる等の問題があった。
の変更を必要とする場合には、初めから新たに光検出装
置を製造しなければならず、製造コストが高くなる事と
、製造期間が長くなる等の問題があった。
（発明の目的）
本発明はこのような欠点を解決し、容易にしかも安価に
して受光部分の位置あるいは形状等の変更を行うことが
できる光検出装置を提供する事を目的とする。
して受光部分の位置あるいは形状等の変更を行うことが
できる光検出装置を提供する事を目的とする。
（発明の概要）
この目的を達成するため、本発明は、予め大きめに形成
された光電変換素子の受光面側を保護するため又は透過
光量を制御するための光透過板に光の透過位置、透過形
状あるい透過率等を規制する所望の空間フィルタを取り
付け、種々の空間フィルタに取り替えるだけで、受光部
を容易に変更できるようにした事を技術的要点とする。
された光電変換素子の受光面側を保護するため又は透過
光量を制御するための光透過板に光の透過位置、透過形
状あるい透過率等を規制する所望の空間フィルタを取り
付け、種々の空間フィルタに取り替えるだけで、受光部
を容易に変更できるようにした事を技術的要点とする。
（実施例）
第１図は本発明による一実施例を示す要部斜視図であり
、光検出装置の箱体１の略中央部に形成された開口部２
の底面（所謂光電変換素子３が配置されている。
、光検出装置の箱体１の略中央部に形成された開口部２
の底面（所謂光電変換素子３が配置されている。
該光電変換素子３は受光面を開口側に向けて固定され、
ボンデインワイヤ４等で所定の配線が行なわれている。
ボンデインワイヤ４等で所定の配線が行なわれている。
５は透明なガラスやプラスチック材等で形成された光透
過板であり、その上に遮光膜パターンからなる空間フル
タロが形成され、光透過板５は箱体１の開口部に嵌合す
るように形成されている。
過板であり、その上に遮光膜パターンからなる空間フル
タロが形成され、光透過板５は箱体１の開口部に嵌合す
るように形成されている。
空間フィルタ６は印刷あるいは蒸着等により形成され、
光透過板５を箱体１の開口部２に嵌めたとき、該遮光膜
の形成されていない透光部分７だけに光が入射して光電
変換素子３に到達するようになっている。
光透過板５を箱体１の開口部２に嵌めたとき、該遮光膜
の形成されていない透光部分７だけに光が入射して光電
変換素子３に到達するようになっている。
これを第２図と第３図の説明図に基づいて説明すると、
例えば、第３図のよ、うに半導体のチップ８に２個の光
電変換素子３ａ、３ｂが大きめに形成されている場合、
夫々の光電変換素子３ａ、３ｂ内であれば受光すること
ができるから、第２図に示すように、素子３ａ、３ｂに
対向する所望の位置あるいは形状の部分だけを透光部分
７ａ、７ｂとし、残りの部分に遮光膜を形成する。
例えば、第３図のよ、うに半導体のチップ８に２個の光
電変換素子３ａ、３ｂが大きめに形成されている場合、
夫々の光電変換素子３ａ、３ｂ内であれば受光すること
ができるから、第２図に示すように、素子３ａ、３ｂに
対向する所望の位置あるいは形状の部分だけを透光部分
７ａ、７ｂとし、残りの部分に遮光膜を形成する。
そして第２図の空間フィルタ６の形成された光透過板５
を第１図の構造にて光電変換素子３ａ。
を第１図の構造にて光電変換素子３ａ。
３ｂに重ねれば、透光部７ａ、７ｂに応じた変更が出来
る。
る。
第４図は透光部分７ａ、７ｂを狭めた場合を示している
。この様に、種々の受光位置および受光形状を有する光
検出装置の制作が透光部分の位置や形状の異なる空間フ
ィルタを取り替えるだけで容易にかつ安価に行うことが
できる。
。この様に、種々の受光位置および受光形状を有する光
検出装置の制作が透光部分の位置や形状の異なる空間フ
ィルタを取り替えるだけで容易にかつ安価に行うことが
できる。
又、透光部分に減光フィルタ等の各種フィルタを施して
使用することも出来る。
使用することも出来る。
（発明の効果）
以上説明したように本発明によれば、光電変換素子を有
する光検出装置のパッケージの一部である光透過板の上
面または下面に、透光部分の位置あるいは形状等の所望
の空間フィルタを設けたので、それを取り替えるだけで
、所望の受光位置と受光形状等を設定でき、そのため多
種類の光検出装置を短期間に低コストで製造することが
できる。
する光検出装置のパッケージの一部である光透過板の上
面または下面に、透光部分の位置あるいは形状等の所望
の空間フィルタを設けたので、それを取り替えるだけで
、所望の受光位置と受光形状等を設定でき、そのため多
種類の光検出装置を短期間に低コストで製造することが
できる。
第１図は本発明の一実施例にかかる光検出装置の分解斜
視図、第３図は光電変換素子の平面図、第２図及び第４
図は空間フィルタの形成された光透過板の平面図である
。 １：箱体 ２：開口部 ３：光電変換素子 ５：光透過板 ６：空間フィルタ ７．７ａ、７ｂ：透光部分 ８：半導体チップ
視図、第３図は光電変換素子の平面図、第２図及び第４
図は空間フィルタの形成された光透過板の平面図である
。 １：箱体 ２：開口部 ３：光電変換素子 ５：光透過板 ６：空間フィルタ ７．７ａ、７ｂ：透光部分 ８：半導体チップ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 光電変換素子の上方に位置する保護又は透過光量制御の
ための光透過板および箱体でパッケージされた光検出装
置に於て、 前記光透過板に所望の空間フィルタを設けたことを特徴
とする光検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13550685A JPS61294319A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13550685A JPS61294319A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61294319A true JPS61294319A (ja) | 1986-12-25 |
Family
ID=15153349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13550685A Pending JPS61294319A (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 光検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61294319A (ja) |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP13550685A patent/JPS61294319A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2192709A (en) | Composite light sensor | |
| JPH04254807A (ja) | 光組立体 | |
| US5670781A (en) | Photoelectrical encoder | |
| CN219286421U (zh) | 光学传感器的封装结构和传感器 | |
| JPH0226080A (ja) | 半導体素子 | |
| US7012243B2 (en) | Photo-sensor and method for manufacturing the photo-sensor | |
| JPH0355988B2 (ja) | ||
| JPH0198299A (ja) | 光信号送受信装置 | |
| JPH06105790B2 (ja) | 光検出装置 | |
| JPS6328351B2 (ja) | ||
| JP2506239Y2 (ja) | 光結合装置 | |
| JPH01152664A (ja) | 受光素子内蔵集積回路 | |
| JPS6027196B2 (ja) | 半導体集積回路装置 | |
| JPH051790Y2 (ja) | ||
| JPH0685221A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPH06140663A (ja) | 半導体光電変換装置 | |
| JPH0355855Y2 (ja) | ||
| JP2997578B2 (ja) | 半導体光電変換装置 | |
| JPH04354386A (ja) | 光電変換装置 | |
| JPH0338884A (ja) | 半導体装置の遮光構造 | |
| JP2590811B2 (ja) | 電気回路装置 | |
| JPS6430861U (ja) | ||
| JPH03284883A (ja) | 受光装置 | |
| JPH0777269B2 (ja) | 光入力集積回路装置 | |
| JPH02187073A (ja) | 光半導体装置 |