JPS61296811A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS61296811A JPS61296811A JP13996885A JP13996885A JPS61296811A JP S61296811 A JPS61296811 A JP S61296811A JP 13996885 A JP13996885 A JP 13996885A JP 13996885 A JP13996885 A JP 13996885A JP S61296811 A JPS61296811 A JP S61296811A
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Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Digital Transmission Methods That Use Modulated Carrier Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
八 産業上の利用分野
本発明は、基板上にその両端の近傍に互に対向して設け
られた入力トランスデューサから互に相対する方向に表
面波音伝播し、それらの人カドランスデューサの間１ｃ
２分割された出力ゲートが設げられたＤｉｆｆｅｒｅｎ
Ｌｉａｌ Ｐｈａｓｅ ５ｈｉｆｔ Ｋｅｙｉｎｇ （
以下本明細書においてはＤＰＳＫと略称する）コンボル
バとして使用される弾性表面波装置に関する。
られた入力トランスデューサから互に相対する方向に表
面波音伝播し、それらの人カドランスデューサの間１ｃ
２分割された出力ゲートが設げられたＤｉｆｆｅｒｅｎ
Ｌｉａｌ Ｐｈａｓｅ ５ｈｉｆｔ Ｋｅｙｉｎｇ （
以下本明細書においてはＤＰＳＫと略称する）コンボル
バとして使用される弾性表面波装置に関する。
Ｂ 発明のａ決
ＤＰＳＫコンボルバにおいて、２分割された出力ゲート
向に金属膜から成る電極が配置された弾性表面匝コンボ
ルバが開示される。上記電極端部と出力ゲートｇｔｈＡ
部の閣の距離を１１、弾性表面波の波長ｔλ０．正の豊
数ｔｎ１とするとさ、ｌ□＝ツクコンボルバであること
も、半導体基板上圧形成された圧電体膜から成るモノリ
シックコンボルバであることもできる。
向に金属膜から成る電極が配置された弾性表面匝コンボ
ルバが開示される。上記電極端部と出力ゲートｇｔｈＡ
部の閣の距離を１１、弾性表面波の波長ｔλ０．正の豊
数ｔｎ１とするとさ、ｌ□＝ツクコンボルバであること
も、半導体基板上圧形成された圧電体膜から成るモノリ
シックコンボルバであることもできる。
Ｃ従来の技術
従来の弾性袋ｒｋＪ技コンボルバには、 （ａ）半導体
と圧電体を僅かな窒１１１ｔ’に介して結合する分離媒
質コンボルバ、（ｂ）圧電体基板自体の非線形性を利用
するエラスティックコンボルバ、（Ｃ）半導体基板上に
圧電体薄膜を形成した層状構造のモノリシックコンボル
ハカ知られている。
と圧電体を僅かな窒１１１ｔ’に介して結合する分離媒
質コンボルバ、（ｂ）圧電体基板自体の非線形性を利用
するエラスティックコンボルバ、（Ｃ）半導体基板上に
圧電体薄膜を形成した層状構造のモノリシックコンボル
ハカ知られている。
（ａ）の分離媒質コンボルバには、９原の制御が非常に
やっかいなために、生産性か劣る欠点がある。
やっかいなために、生産性か劣る欠点がある。
（ｂＪのエラスティックコンボルバ５では、圧電体基板
の弾性的非線形性χ利用するために、大きな弾性表面波
エネルギか心安になる。一方、エラスティックコンボル
バおよびノー状構造モノリシックコンボルバは分離媒質
コンボルバとは異なり、組立てが答易なために生産性が
上るという特長を持っている。さらＫ、（ＣＪの層状構
造モノリシックコンボルバは、半導体の窒乏層容量の非
線形性を利用しているので、コンポルージョン効率が大
きいうえ、モノリシック構造のために、構成が容易であ
るという特長を持っている。
の弾性的非線形性χ利用するために、大きな弾性表面波
エネルギか心安になる。一方、エラスティックコンボル
バおよびノー状構造モノリシックコンボルバは分離媒質
コンボルバとは異なり、組立てが答易なために生産性が
上るという特長を持っている。さらＫ、（ＣＪの層状構
造モノリシックコンボルバは、半導体の窒乏層容量の非
線形性を利用しているので、コンポルージョン効率が大
きいうえ、モノリシック構造のために、構成が容易であ
るという特長を持っている。
層状モノリシック構造の断面図を第５図、上面図を第６
図に示す。ここで、ｌはシリコン等の牛導体層、２は酸
化亜鉛、窒化アルミニウム等の圧電体膜、３は弾性表Ｉ
ｆｌ波用入力トランスデューサ、４は出力ゲートであり
、トランスデユーサ３およびゲート４はアルミニウム等
の金属層で形成される。
図に示す。ここで、ｌはシリコン等の牛導体層、２は酸
化亜鉛、窒化アルミニウム等の圧電体膜、３は弾性表Ｉ
ｆｌ波用入力トランスデューサ、４は出力ゲートであり
、トランスデユーサ３およびゲート４はアルミニウム等
の金属層で形成される。
弾性表面波コンボルバを例えば広帯域通信５ｐｒｅａｄ
Ｓｐｅｃｔｒｕｍ ＣｏｔｎｏｚｕｎｉｃａＬｉｏｎ
（以下本明細書においてはＳＳＣと略記する）等の
信号処理機能素子とし【応用することは広く知られてい
る。
Ｓｐｅｃｔｒｕｍ ＣｏｔｎｏｚｕｎｉｃａＬｉｏｎ
（以下本明細書においてはＳＳＣと略記する）等の
信号処理機能素子とし【応用することは広く知られてい
る。
ＳＳＣにおいて転送すべきデータ′に真にはＤＰ ＳＫ
がよ（使われ工いる。
がよ（使われ工いる。
このようなりＰＳＫｆｖＩ４された信号を弾性表面波コ
ンボルバで整合Ｐａするために、第７図に示す構造のコ
ンボルバが提案されている。帛７図に示す構造はＤＰＳ
Ｋコンボルバと呼ばれ、その詳細な動作はディー・プロ
ットコルプ（Ｄ −Ｂｒｏｄｔ−ｋｏｒｂ ）およびジ
エイ・イー・レイナ（Ｊ、Ｅ。
ンボルバで整合Ｐａするために、第７図に示す構造のコ
ンボルバが提案されている。帛７図に示す構造はＤＰＳ
Ｋコンボルバと呼ばれ、その詳細な動作はディー・プロ
ットコルプ（Ｄ −Ｂｒｏｄｔ−ｋｏｒｂ ）およびジ
エイ・イー・レイナ（Ｊ、Ｅ。
Ｌａｙｎｏｒ ）著１９７８年発行の雑誌ウルトラソニ
ックス・シンポジウムープロシーデインダス（Ｕｌｔ−
ｒａｓｏｎｉｃｓ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅ
ｄｉｎｇｓ ）第５６１頁から第５６６頁までに掲載さ
れた論文に示されている。第７図において、５，６は出
力ゲートであり、中央で分離されている。７は両ゲート
５，６からの信号の相および差をとるためのハイブリッ
ドである。８．９はハイブリッド出力であり８が和（Σ
）、９が差（Δ ）を出力する。
ックス・シンポジウムープロシーデインダス（Ｕｌｔ−
ｒａｓｏｎｉｃｓ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅ
ｄｉｎｇｓ ）第５６１頁から第５６６頁までに掲載さ
れた論文に示されている。第７図において、５，６は出
力ゲートであり、中央で分離されている。７は両ゲート
５，６からの信号の相および差をとるためのハイブリッ
ドである。８．９はハイブリッド出力であり８が和（Σ
）、９が差（Δ ）を出力する。
ｏｕｔ ｏｕｔＤ 発
明が解決しようとする問題点 第７図に示すＤＰＳＫコンボルバにおいテ、左右のゲー
ト５，６からの出力はデータの引き続く２ビット間の位
相関係を示す。ゲート５，６からの出力は本来ならばハ
イブリッド７で結合されなければならないが、ゲート５
．６は非常に接近しているために、ゲート５．６の金属
の間に直接電磁的結合（フィールドスルー）が生じる。
明が解決しようとする問題点 第７図に示すＤＰＳＫコンボルバにおいテ、左右のゲー
ト５，６からの出力はデータの引き続く２ビット間の位
相関係を示す。ゲート５，６からの出力は本来ならばハ
イブリッド７で結合されなければならないが、ゲート５
．６は非常に接近しているために、ゲート５．６の金属
の間に直接電磁的結合（フィールドスルー）が生じる。
このフィールドスルーのために、ハイブリッド出力８゜
９の和およびｌまたは差出力に不及ａ出力が生じ、スプ
リアスが増大し、特性劣化を住じさせる欠点がある。
９の和およびｌまたは差出力に不及ａ出力が生じ、スプ
リアスが増大し、特性劣化を住じさせる欠点がある。
さらに、第７図のゲートの中央部の端λ０、１１は金属
端になっているために弾性表面波の反射端となっている
。したがって、この中央部の端での弾性表面波の反射に
より不要波が発生し、ハイブリッド出力８．９に特性劣
化を生じさせる。また、この反射波によってセルフコン
ポルージョンが発生し、特性劣化の発注源になる。
端になっているために弾性表面波の反射端となっている
。したがって、この中央部の端での弾性表面波の反射に
より不要波が発生し、ハイブリッド出力８．９に特性劣
化を生じさせる。また、この反射波によってセルフコン
ポルージョンが発生し、特性劣化の発注源になる。
したがって、本発明の目的は、不要波が抑制された弾性
表面波コンボルバを提供することである。
表面波コンボルバを提供することである。
Ｅ 問題点を屏決するための手段
上記目的を達成するために、本発明による弾性表面波装
置は、基板上圧その両端の近傍に互に対向して設けられ
た入カドランスデユープから互に相対する方向に表面ｔ
ｆｔヲ伝播し、それらの入力トランスデューサの間に±
分割された出力ゲートが設けられたＤＰＳＫコンボルバ
として使用される弾性表面波装置において、さらに上記
２分割された出力ゲート間に金属膜から成る電極を含む
ことＶ訣旨とする。上記電極端部と出力ゲート端部の間
の距離’ｔ−７１、弾性表面波の波長ｔλ０．正の整数
なｎｌとするとぎ、 、 ＝ｆ１．１λ。である。上記
金属膜から成る電極は接地される。
置は、基板上圧その両端の近傍に互に対向して設けられ
た入カドランスデユープから互に相対する方向に表面ｔ
ｆｔヲ伝播し、それらの入力トランスデューサの間に±
分割された出力ゲートが設けられたＤＰＳＫコンボルバ
として使用される弾性表面波装置において、さらに上記
２分割された出力ゲート間に金属膜から成る電極を含む
ことＶ訣旨とする。上記電極端部と出力ゲート端部の間
の距離’ｔ−７１、弾性表面波の波長ｔλ０．正の整数
なｎｌとするとぎ、 、 ＝ｆ１．１λ。である。上記
金属膜から成る電極は接地される。
Ｆ 作用
両ゲートに発生するコンポルージョン信号は金属電極に
よってシールドされ、両ゲート間の電磁的結合が抑制さ
れる。
よってシールドされ、両ゲート間の電磁的結合が抑制さ
れる。
Ｇ 冥施飼
Ｍ１図は本発明による弾性表面波ＤＰＳＫコンボルバの
上面図で、両端の近傍に設けられた人カドランスデュー
サ３０間に２個に分割された出力ゲート５，６が設けら
れ、その分割されたゲートの間に金属電極氏が投げられ
ている。入力トランスデューサ３によって発生さゼらｎ
る弾性表面波のゲート５，６上で非線形効果によって入
力信号のコンポルージョン信号が得られる。
上面図で、両端の近傍に設けられた人カドランスデュー
サ３０間に２個に分割された出力ゲート５，６が設けら
れ、その分割されたゲートの間に金属電極氏が投げられ
ている。入力トランスデューサ３によって発生さゼらｎ
る弾性表面波のゲート５，６上で非線形効果によって入
力信号のコンポルージョン信号が得られる。
両ゲート間の金属電極には有利には接地されている。そ
のようにして、両ゲートにお＼・１て発生したコンポル
ージョン信号は金属電極１２によってシールドされる。
のようにして、両ゲートにお＼・１て発生したコンポル
ージョン信号は金属電極１２によってシールドされる。
したがって、出力ゲート５．６の出力端子１３．１４に
現われる信号のうち電極５，６関のｔｉ的結合による信
号は抑制されており、出力端子１３．１４に現われる信
号を用いてＤＰＳＫ復調が容易になり、また不要波が軽
減されているので、高性能なりＰＳＫコンボルバが得ら
れる。
現われる信号のうち電極５，６関のｔｉ的結合による信
号は抑制されており、出力端子１３．１４に現われる信
号を用いてＤＰＳＫ復調が容易になり、また不要波が軽
減されているので、高性能なりＰＳＫコンボルバが得ら
れる。
第２図は第１図の中央部付近を拡大した断面図を示す。
ここで、１２は金属電極１２の幅であり、１１は両出力
ゲート５，６と金属′ｆ！Ｌ極認の間隔である。弾性表
ＩＩＩ］波がこの中天部に入射すると、ゲート端λ０、
１１および金属電極１２の端１５．１６において反射が
住じる。しかし、各反射端λ０、１５．１６゜１１から
の反射波の合成法により総体的な反射？打ち消すことが
ｌ□の与え方によって可能である。
ゲート５，６と金属′ｆ！Ｌ極認の間隔である。弾性表
ＩＩＩ］波がこの中天部に入射すると、ゲート端λ０、
１１および金属電極１２の端１５．１６において反射が
住じる。しかし、各反射端λ０、１５．１６゜１１から
の反射波の合成法により総体的な反射？打ち消すことが
ｌ□の与え方によって可能である。
すなわち、上記電極端部と出力ゲート端部の間の距離を
１１、弾性表面波の成長をλ。、正の整数をとすること
によって、各反射波は打消し合い、不要波の影響が軽減
される。
１１、弾性表面波の成長をλ。、正の整数をとすること
によって、各反射波は打消し合い、不要波の影響が軽減
される。
以上の説明は、エラスティックコンボルバにも層状構造
モノリシックコンボルバにも応用できることは明らかで
ある。すなわち、エラスティックコンボルバは、第３図
に示すように、ニオブ識リチウム等から成る圧電体基板
１７上にアルミニウム等の金属膜により人カドランスデ
ューサ、入力トランスデューサ３０間に出力ゲート５，
６、および出力ゲート５，６間に金属電極１２を形成し
た構造である。
モノリシックコンボルバにも応用できることは明らかで
ある。すなわち、エラスティックコンボルバは、第３図
に示すように、ニオブ識リチウム等から成る圧電体基板
１７上にアルミニウム等の金属膜により人カドランスデ
ューサ、入力トランスデューサ３０間に出力ゲート５，
６、および出力ゲート５，６間に金属電極１２を形成し
た構造である。
層状構造モノリシックコンボルバは、第４図に示すよう
罠、シリコン等から成る牛尋体基板１８上に酸化亜鉛、
窒化アルミニウム等の圧電膜１９を形成し、その上に入
力トランスデューサ３、出力ゲート５，６、金属ｖＬ極
１２を形成した構造である。
罠、シリコン等から成る牛尋体基板１８上に酸化亜鉛、
窒化アルミニウム等の圧電膜１９を形成し、その上に入
力トランスデューサ３、出力ゲート５，６、金属ｖＬ極
１２を形成した構造である。
金属膜しはｌ□＝ｉλｏｔ満足するように形成される。
Ｈ発明の詳細
な説明した通り、本発明によｎば、ＤＰ ＳＫ弾性表面
波コンボルバにおいて、２分割された出力ゲート間の？
ｌａ的結合およびゲート端からの弾性表面波の反射によ
る不要波の影響を軽減でき、マタセルフコンボルーショ
ンが抑制されるので高性能なコンボルバを得ることがで
きる。
波コンボルバにおいて、２分割された出力ゲート間の？
ｌａ的結合およびゲート端からの弾性表面波の反射によ
る不要波の影響を軽減でき、マタセルフコンボルーショ
ンが抑制されるので高性能なコンボルバを得ることがで
きる。
第１図は本発明による弾性表面波ＤｒＳＫコンボルバの
上面図、第２図は第１図の中央部付近を拡大した断面図
、第３図は本発明によるエラスティックコンボルバの断
面図、第４図は本発明による層状構造モノリシックコン
ボルバの断面図、第５図および第６図は従来の層状構造
モノリシック弾性表面波コンボルバのそれぞれ断面図お
よび上面図、第７図は従来のＤＰＳＫコンボルバの上面
図である。 ３・・・入力トランスデューサ、５，６・・・出力ゲー
ト、λ０、１１・・・出力ゲートの中央部の端、臣・・
・金属電極、１３．１４・・・出力端子、１５，１６・
・−金属電極の端゛、１７・・・圧電体基板、１８・・
・牛導体基板、１９・・・圧電膜。 特許出り人 クラリオン株式会社 代理人 弁理士 水 １）武 三 部 ′、１、コン
、水゛ノンハ゛壓斤面囚 コンボッシバ゛′断面図 第４図 Ｒ来のＤＰＳに コンホ゛ル八゛Ｊ：面因第７図
上面図、第２図は第１図の中央部付近を拡大した断面図
、第３図は本発明によるエラスティックコンボルバの断
面図、第４図は本発明による層状構造モノリシックコン
ボルバの断面図、第５図および第６図は従来の層状構造
モノリシック弾性表面波コンボルバのそれぞれ断面図お
よび上面図、第７図は従来のＤＰＳＫコンボルバの上面
図である。 ３・・・入力トランスデューサ、５，６・・・出力ゲー
ト、λ０、１１・・・出力ゲートの中央部の端、臣・・
・金属電極、１３．１４・・・出力端子、１５，１６・
・−金属電極の端゛、１７・・・圧電体基板、１８・・
・牛導体基板、１９・・・圧電膜。 特許出り人 クラリオン株式会社 代理人 弁理士 水 １）武 三 部 ′、１、コン
、水゛ノンハ゛壓斤面囚 コンボッシバ゛′断面図 第４図 Ｒ来のＤＰＳに コンホ゛ル八゛Ｊ：面因第７図
Claims (3)
- （１）基板上に、その両端の近傍に互に対向して設けら
れた入力トランスデューサから互に相対する方向に表面
波を伝播し、それらの入力トランスデューサの間に２分
割された出力ゲートが設けられたＤＰＳＫコンボルバと
して使用される弾性表面波装置において、さらに （ａ）上記２分割された出力ゲート間に金属膜から成る
電極 を含むことを特徴とする弾性表面波装置。 - （２）上記電極端部と出力ゲート端部の間の距離をｌ＿
１、弾性表面波の波長をλ＿０、正の整数をｎ＿１とす
るとき、 ｌ＿１＝（ｎ＿１／２）λ＿０ を満足することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の弾性表面波装置。 - （３）上記金属膜から成る電極が接地されていることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の弾性表面波装置
。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13996885A JPS61296811A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 弾性表面波装置 |
| US06/875,855 US4841470A (en) | 1985-06-25 | 1986-06-18 | Surface acoustic wave device for differential phase shift keying convolving |
| FR868609116A FR2590089B1 (fr) | 1985-06-25 | 1986-06-24 | Convolutionnement a codage par dephasage differentiel |
| NL8601643A NL8601643A (nl) | 1985-06-25 | 1986-06-24 | Oppervlakte-acoustische-golfinrichting. |
| GB8615382A GB2179221B (en) | 1985-06-25 | 1986-06-24 | Surface acoustic wave device |
| DE19863621211 DE3621211A1 (de) | 1985-06-25 | 1986-06-25 | Phasendifferenzmodulations-wendelleiter |
| GB8913782A GB2220318B (en) | 1985-06-25 | 1989-06-15 | Surface acoustic wave device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13996885A JPS61296811A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 弾性表面波装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61296811A true JPS61296811A (ja) | 1986-12-27 |
| JPH0473804B2 JPH0473804B2 (ja) | 1992-11-24 |
Family
ID=15257857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13996885A Granted JPS61296811A (ja) | 1985-06-25 | 1985-06-25 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61296811A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59215109A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-05 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置 |
-
1985
- 1985-06-25 JP JP13996885A patent/JPS61296811A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59215109A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-05 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0473804B2 (ja) | 1992-11-24 |
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