JPS613099A - 荷電ビ−ム装置 - Google Patents
荷電ビ−ム装置Info
- Publication number
- JPS613099A JPS613099A JP12386784A JP12386784A JPS613099A JP S613099 A JPS613099 A JP S613099A JP 12386784 A JP12386784 A JP 12386784A JP 12386784 A JP12386784 A JP 12386784A JP S613099 A JPS613099 A JP S613099A
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- Japan
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- charged beam
- charged
- deflection
- sample
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、電子線やイオン等の荷電粒子線（以降、荷電
ビームと称する。）を静電レンズまたは磁界レンズを用
いて細く集束することが出来る荷電ビーム装置に関し、
特に複数の荷電ビーム軸（荷電ビームの中心軸）を備え
た荷電ビーム装置に関するものである。
ビームと称する。）を静電レンズまたは磁界レンズを用
いて細く集束することが出来る荷電ビーム装置に関し、
特に複数の荷電ビーム軸（荷電ビームの中心軸）を備え
た荷電ビーム装置に関するものである。
従来、荷電ビームを静電レンズまたは磁界レンズを用い
て細く集束することの出来る荷電ビーム装置においては
、１つの荷電ビーム軸を備えたものが使われてきた。ま
た、複数の荷電ビーム軸を備えた形式の装置も最近報告
されているが（例えば、Ｊ、 Ｖａｃ、 Ｓｅｔ、 Ｔ
ｅｃｈｎａｌ、 １９（４）、 １９８１ 、 ｐ、
９６３ ：Ｔ、 ５ａｓａｋｉ ）、ここでは、レンズ
強度を独立に変えることができないため、それぞれのレ
ンズ特性のバラツキの調整や、高さの異なる試料面（例
えば、ウェハ）上へのビームの集束が不可能であった。
て細く集束することの出来る荷電ビーム装置においては
、１つの荷電ビーム軸を備えたものが使われてきた。ま
た、複数の荷電ビーム軸を備えた形式の装置も最近報告
されているが（例えば、Ｊ、 Ｖａｃ、 Ｓｅｔ、 Ｔ
ｅｃｈｎａｌ、 １９（４）、 １９８１ 、 ｐ、
９６３ ：Ｔ、 ５ａｓａｋｉ ）、ここでは、レンズ
強度を独立に変えることができないため、それぞれのレ
ンズ特性のバラツキの調整や、高さの異なる試料面（例
えば、ウェハ）上へのビームの集束が不可能であった。
特に、サブミクロン領域の微細パターンの転写を行なう
半導体露光装置に応用した場合には、この欠点は顕著で
ある。
半導体露光装置に応用した場合には、この欠点は顕著で
ある。
本発明の目的は、上述の欠点を除去し、複数の荷電ビー
ム軸の各々の軸上に設けられたレンズの強度を独立に調
整可能とし、特に照射面上に集束される荷電ビームのそ
れぞれの偏向幅を一定にし得る荷電ビーム装置を提供す
ることにある。
ム軸の各々の軸上に設けられたレンズの強度を独立に調
整可能とし、特に照射面上に集束される荷電ビームのそ
れぞれの偏向幅を一定にし得る荷電ビーム装置を提供す
ることにある。
・〔構成〕
本発明は、上述の目的を達成するために、段差を有する
照射面に対して複数の′荷電ビームのそれぞれの偏向幅
を独立に調整することができる補正手段を設けている。
照射面に対して複数の′荷電ビームのそれぞれの偏向幅
を独立に調整することができる補正手段を設けている。
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。
する。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示す図で、そ
れぞれ静電レンズ系、磁界レンズ系の場合を示す。第１
図（第２図）において、１は複数の電子銃またはイオン
銃、２Ａ（２Ｂ）は荷電ビーム、 ６Ａ（３Ｂ）およ
び４Ａ（４Ｂ）は荷電ビーム２Ａ（２Ｂ）を集束させる
ためのレンズ系で、それぞれコンデンサレンズおよび対
物レンズ、５Ａ（５Ｂ）は荷電ビーム２Ａ（２Ｂ）を偏
向させるための偏向電極（偏向コイル）、６は段差のあ
る試料である。また、７Ａ（７Ｂ）および８Ａ（８Ｂ）
は、それぞれ対物レンズ４Ａ（４Ｂ）における主レンズ
用の電極（コイル）および補助レンズ用の電極（コイル
）を示す。さらに、９Ａ（９Ｂ）＋１ＯＡ（１０Ｂ）お
よび１１Ａ（１１Ｂ）は、それぞれ対物レンズ用の主レ
ンズ電源、補助レンズ電源およびコンデンサレンズ用の
電源であり、第１図の場合には電圧を、第２図の場合に
は電流を、それぞれの電極（コイル）に与えている。
れぞれ静電レンズ系、磁界レンズ系の場合を示す。第１
図（第２図）において、１は複数の電子銃またはイオン
銃、２Ａ（２Ｂ）は荷電ビーム、 ６Ａ（３Ｂ）およ
び４Ａ（４Ｂ）は荷電ビーム２Ａ（２Ｂ）を集束させる
ためのレンズ系で、それぞれコンデンサレンズおよび対
物レンズ、５Ａ（５Ｂ）は荷電ビーム２Ａ（２Ｂ）を偏
向させるための偏向電極（偏向コイル）、６は段差のあ
る試料である。また、７Ａ（７Ｂ）および８Ａ（８Ｂ）
は、それぞれ対物レンズ４Ａ（４Ｂ）における主レンズ
用の電極（コイル）および補助レンズ用の電極（コイル
）を示す。さらに、９Ａ（９Ｂ）＋１ＯＡ（１０Ｂ）お
よび１１Ａ（１１Ｂ）は、それぞれ対物レンズ用の主レ
ンズ電源、補助レンズ電源およびコンデンサレンズ用の
電源であり、第１図の場合には電圧を、第２図の場合に
は電流を、それぞれの電極（コイル）に与えている。
１２Ａ（１２Ｂ）は対物レンズ制御部で、荷電ビーム２
Ａ（２Ｂ）を試料６面上に集束させるのに適当な比較的
高電圧（大電流）を主レンズ用の電−極７Ａ（コイル７
Ｂ）に与えるよう指示するだめの制御信号１３Ａ（１３
Ｂ）を主レンズ電源９Ａ（９Ｂ）に送出すると共に、補
正用の電圧（電流）を補助レンズ用の電極８Ａ（コイル
８Ｂ）に与えるよう指示するための制御信号１４Ａ（１
４Ｂ）を補助レンズ電源ｌ０ＡＣ１０Ｂ）に送出する。
Ａ（２Ｂ）を試料６面上に集束させるのに適当な比較的
高電圧（大電流）を主レンズ用の電−極７Ａ（コイル７
Ｂ）に与えるよう指示するだめの制御信号１３Ａ（１３
Ｂ）を主レンズ電源９Ａ（９Ｂ）に送出すると共に、補
正用の電圧（電流）を補助レンズ用の電極８Ａ（コイル
８Ｂ）に与えるよう指示するための制御信号１４Ａ（１
４Ｂ）を補助レンズ電源ｌ０ＡＣ１０Ｂ）に送出する。
また、１５Ａ（１５Ｂ）は偏向信号発生器で、１６Ａ
（１６Ｂ）の偏向用電源を介して偏向電極５Ａ（偏向コ
イル５Ｂ）に対し、試料６面上の各荷電ビーム２Ａ（２
Ｂ）の偏向幅を一定にするような制御信号１７Ａ（１７
Ｂ）を送出する。１８Ａ（１８Ｂ）は対物レンズ制御部
１２Ａ（１２Ｂ）から出力されるレンズ設定信号で、前
述の偏向用電源１６Ａ（１６Ｂ）の出力に補正を与える
機能を有している。
（１６Ｂ）の偏向用電源を介して偏向電極５Ａ（偏向コ
イル５Ｂ）に対し、試料６面上の各荷電ビーム２Ａ（２
Ｂ）の偏向幅を一定にするような制御信号１７Ａ（１７
Ｂ）を送出する。１８Ａ（１８Ｂ）は対物レンズ制御部
１２Ａ（１２Ｂ）から出力されるレンズ設定信号で、前
述の偏向用電源１６Ａ（１６Ｂ）の出力に補正を与える
機能を有している。
次に、作用を説明する。
電子銃またはイオン銃１から放出された荷電ビーム２
Ａ （２Ｂ ）は、コンデンサレンズ３Ａ（６Ｂ）と対
物レンズ４Ａ（４Ｂ）によって細く集束され、段差のあ
る試料６面上に照射される。この時、複数の荷電ビーム
２Ａ（２Ｂ）は試料６面上で同時に集束条件を満さねば
ならないが、実際上はコンデンサレンズ３Ａ（５Ｂ）や
対物レンズ４Ａ（４Ｂ）の個々の特性の違いや、試料６
面上の段差のために、コンデンサレンズや対物レンズの
強さは、それぞれの荷電ビーム軸で異った値に設定する
ことが必要となってくる。また、試料６面上の段差のた
めに、試料６面上に集束されるべき荷電ビーム２Ａ（２
・Ｂ）のそれぞれの偏向幅も、レンズ強度の補正に応じ
て適宜調整する必要がある。
Ａ （２Ｂ ）は、コンデンサレンズ３Ａ（６Ｂ）と対
物レンズ４Ａ（４Ｂ）によって細く集束され、段差のあ
る試料６面上に照射される。この時、複数の荷電ビーム
２Ａ（２Ｂ）は試料６面上で同時に集束条件を満さねば
ならないが、実際上はコンデンサレンズ３Ａ（５Ｂ）や
対物レンズ４Ａ（４Ｂ）の個々の特性の違いや、試料６
面上の段差のために、コンデンサレンズや対物レンズの
強さは、それぞれの荷電ビーム軸で異った値に設定する
ことが必要となってくる。また、試料６面上の段差のた
めに、試料６面上に集束されるべき荷電ビーム２Ａ（２
・Ｂ）のそれぞれの偏向幅も、レンズ強度の補正に応じ
て適宜調整する必要がある。
本実施例では、これらの調整を、前述の制御信号１４Ａ
（１４Ｂ）およびレンズ設定信号１８Ａ（ｊ８Ｂ）によ
り行なっている。すなわち、レンズ強度の補正は、制御
信号１４Ａ（１４Ｂ）を受けて補助レンズ電源１０Ａ（
１０’Ｂ）の電圧（電流）を変えることにより行なわれ
る。一方、荷電ビームの偏向幅の調整については、レン
ズ設定信号１８Ａ（１８Ｂ）にそれぞれの荷電ビーム２
Ａ（２Ｂ）に対応した信号が出力されているため、偏向
電極５Ａ（偏光コイル５Ｂ）の偏向感度を独立に変える
ことができる。したがって、段差のある試料６面上であ
っても、各々の荷電ビームの偏向幅を一定にすることが
可能となる。
（１４Ｂ）およびレンズ設定信号１８Ａ（ｊ８Ｂ）によ
り行なっている。すなわち、レンズ強度の補正は、制御
信号１４Ａ（１４Ｂ）を受けて補助レンズ電源１０Ａ（
１０’Ｂ）の電圧（電流）を変えることにより行なわれ
る。一方、荷電ビームの偏向幅の調整については、レン
ズ設定信号１８Ａ（１８Ｂ）にそれぞれの荷電ビーム２
Ａ（２Ｂ）に対応した信号が出力されているため、偏向
電極５Ａ（偏光コイル５Ｂ）の偏向感度を独立に変える
ことができる。したがって、段差のある試料６面上であ
っても、各々の荷電ビームの偏向幅を一定にすることが
可能となる。
なお、本実施例では対物レンズ内に補助レンズを設けた
が、コンデンサレンズ内に補助レンズを設けることも可
能であり、さらに、対物レンズやコンデンサレンズと独
立した別構成の補助レンズを設けても良いことはもちろ
んである。
が、コンデンサレンズ内に補助レンズを設けることも可
能であり、さらに、対物レンズやコンデンサレンズと独
立した別構成の補助レンズを設けても良いことはもちろ
んである。
さらに、本実施例では偏向電極（偏向コイル）を対物レ
ンズの後（前）に設けたが、前（後）に設けることも可
能である。
ンズの後（前）に設けたが、前（後）に設けることも可
能である。
本発明は以上説明したように、段差を有する照射面上に
適正に焦点を結ぶことができ、特に複数の荷電ビームの
それぞれの偏向幅を一定にし得る効果がある。
適正に焦点を結ぶことができ、特に複数の荷電ビームの
それぞれの偏向幅を一定にし得る効果がある。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示す構成図で
、それぞれ静電レンズ系、磁界レンズ系の場合を示す。 ２Ａ、２Ｂ・・・荷電ビーム。 ５Ａ・・・偏向電極。 ５Ｂ・・・偏向コイル。 ６・・・・・・（段差のある）試料。 ８Ａ・・補助レンズ（用の電極）。 ８Ｂ ・補助レンズ（用のコイル）。 １０Ａ、１０Ｂ ・補助レンズ電源。 １２Ａ、１２Ｂ・・対物レンズ制御部。 １４Ａ、１４Ｂ・・・制御信号。 ｊ５Ａ、１５Ｂ・・・偏向信号発生器。 １６Ａ、１６Ｂ・・偏向用電源。 １８Ａ、１８Ｂ・・・レンズ設定信号。 第１図
、それぞれ静電レンズ系、磁界レンズ系の場合を示す。 ２Ａ、２Ｂ・・・荷電ビーム。 ５Ａ・・・偏向電極。 ５Ｂ・・・偏向コイル。 ６・・・・・・（段差のある）試料。 ８Ａ・・補助レンズ（用の電極）。 ８Ｂ ・補助レンズ（用のコイル）。 １０Ａ、１０Ｂ ・補助レンズ電源。 １２Ａ、１２Ｂ・・対物レンズ制御部。 １４Ａ、１４Ｂ・・・制御信号。 ｊ５Ａ、１５Ｂ・・・偏向信号発生器。 １６Ａ、１６Ｂ・・偏向用電源。 １８Ａ、１８Ｂ・・・レンズ設定信号。 第１図
Claims (1)
- 複数の荷電ビームを発する荷電ビーム装置において、前
記複数の荷電ビームのそれぞれに対して偏向幅が一定と
なるような補正手段を設けたことを特徴とする荷電ビー
ム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12386784A JPS613099A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 荷電ビ−ム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12386784A JPS613099A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 荷電ビ−ム装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS613099A true JPS613099A (ja) | 1986-01-09 |
Family
ID=14871341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12386784A Pending JPS613099A (ja) | 1984-06-18 | 1984-06-18 | 荷電ビ−ム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS613099A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5423476A (en) * | 1977-07-25 | 1979-02-22 | Akashi Seisakusho Kk | Composite electron lens |
-
1984
- 1984-06-18 JP JP12386784A patent/JPS613099A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5423476A (en) * | 1977-07-25 | 1979-02-22 | Akashi Seisakusho Kk | Composite electron lens |
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