JPS6132502A - 機能トリミング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は機能トリミング装置に係り、特に位相調整に好
適な機能トリミング装置に関する。

〔発明の背景〕

従来の機能トリミングでは竺高値や電圧を調整するもの
があり、また周期信号の振幅を調整するのに外部に位相
同期ループを接続してサンプリングタイミングを作成し
て振幅をとらえる方法等があるが、二波形の位相を合わ
せるトリミング方法は知られていない。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、同−一期の二波形の位相を合致させる
よう忙機能トリミングを行う装置を提供すること、にあ
る。

〔―明の概９！１ 本発明は、モジー−ル上の抵抗体をトリミングして、モ
ジュールの二、出力の位相を合わせる調整をするとき、
二出力を加算した値の振幅は位相が合致したとき最大と
なることを利用し。

トリミイグ中にトリミング終了点までの偏差を計測しな
がら高速高精度に機能トリミング、を行う装置である。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。

機能トリミング対象の厚膜モジー−ルや薄膜モジュール
などのワークＷ（以下単にワークＷと記す）を位置決め
する位置決め装置１と、ワークＷの特性値を測定する測
定装置２と、レーザを出力するレーザ発振器３と、レー
ザビームを走査するレーザビーム走査装置４と、これら
を制御する処理装置５とから構成したものである。

以下、各部の動作を述べる。

位置決め装置１によりワークＷをワーク着脱位置からト
リミング位置へ搬送位置決めした徽測定装置２とワーク
Ｗとを電気的に接続する。

その後ワークＷを動作状態にして、特性値を測定装置２
で測定し、その値Ｘｈを処理装置５に読取る。処理装置
５は測定値Ｘ＝が予め設定しである調整目標範囲Ｓ。＋
：Ｔｏにあるか否示を判定する。ここで８゜は調整目標
中心値、Ｔｏは許容公差である。

いｔＸＬがＳ。−１：：Ｔ’ｏの範囲内であれば、トリ
ミングを行わず、調整終了としてワークＷを着脱位置へ
戻す。範囲外であれば（８ｏＸＬ）Ｋ予め設定しである
切断定数Ｒ６を乗じた値（８ｏ−ＸＬ）ｘ几。

＝＝ＬＬを求め、レーザ発振器６を発振させながらレー
ザビーム走査装置４を制御して、ワークＷ上の被トリミ
ング部品、例えば抵抗体を予め定められたトリミング開
始点より予め定められた方向に長さＬＬだけ切断し、レ
ーザ発振とレーザビーム走査を停止する。

次いで、再度特性値を測定して以上の動作を繰６返し特
性値ＸＡが調整目標範囲に到達したとき、調整終了とし
てワークＷを位置決め装置１によりワーク着脱位置へ戻
す。

次に特性値ＸＬの求め方を述べる。ワークＷの二つの出
力を Ｗｔｎｉ　ｊ　＝＝３　Ａｉｎ＞　ｗｔ　、　Ｗｕｎｉ
　２　＝−６ＪＡｆＬ　（ｗｔ　＋　９１）とする。こ
の二出力を波高値検出回路６及び７に入力し、各回路に
て二出力の波高値（ｐｅａｋｔ。

ｐｅａｋ値）２ａ及び２ｋを検出し、その出力を加算回
路８に人力する。加算回路８は二人力の和、２　（ａ＋
４　’）を演算し、その出力を差動増幅回路９へ入力す
る。

一方、ワークＷの二出力ＷｅｙＬＪＬ１　、　Ｗｔｎ’
　２Ｈ別の加算回路１０に入力してあり、加算回路１０
にて二人力の和ａ−ａＡ？ＬＷｔ　−１−４ｉｉｔｎ　
（ｗｔ＋ψ）・・・・・・■を演算し。

次の波高値検出回路１１へ出力する。波高値検出回路１
１ハ上式■の波高値（ｐｅａｋ　ｔｏ　ｐｅａｋ値）を
検出し、差動増幅回路９へ出力する。

ここで、波高値検出回路６，７．１１の出力はいずれも
直流に変換されたものであり、差動増幅回路の二人力、
−出力も同様に直流である。差動増幅回路９の出力は、
■式においてψ−００とき、すなわちワークＷの二出力
波形の位相が等しいとき０となり、位相が等しくないと
き０以外の値となる。

次に差動増幅回路９の出力をＡＤ変換回路１２へ入力し
、ディジタル値Ｘ、Ａに変換し痩を処理装置５へ読み取
る。ＡＤ変換回路１２の出力は、ワークＷの二出力の位
相が等しくなったとき値Ｓ０となるものとし、調整許容
公差をＴｏとする。

また、ワークＷ上の被トリミング抵抗をトリミングする
ことＫより、ワークＷの二出力波形の位相ψを０に調整
するものとする。

本実施例によれば、二波形の位相差に応じて位相差が大
きいとき長い距離トリミングし、位相差が小さくなるに
従って微小な長さをトリミングすることによりトリミン
グの高速化と高精度を得ることができる。

〔発明の効果〕

以上説明したようＫ、本実施例によれば二波形の位相を
合致させるように機能トリミングを行うとき、トリミン
グ精度を良好に保つとともに当該機能トリミングを高速
に制御・処理することができるので、この種の機能トリ
マまたは同工程の信頼性向上、効率向上に顕著な効果が
得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のブロック構成図である。 Ｗ・・・・・・機能トリミング対象のワーク。 １・・・・・・位置決め装置。 ２・・・・・・測定装置。 ５・・・・・・レーザ発振器、 ４・・・・・・レーザビーム走査装置。 ５・・・・・・処理装置。 ６．７．１１・・・・・・波高値検出回路、８．１０・
・・・・・加算回路。 ９・・・・・・差動増幅回路、 １２・・・・・・ＡＤ変換回路。 第　１　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、ワークの位置決めをし、その対象部分についてのト
   リミングと特性測定とを交互に繰り返して機能トリミン
   グを行う機能を有する機能トリマにおいて、二波形の波
   高値検出回路とその出力を加算する回路、並びに二波形
   を加算し波高値を検出する回路と、この出力と上記加算
   回路出力の二信号を差動増幅しＡＤ変換する回路を設け
   、二波形の位相差に比例した長さをトリミングすること
   により二波形の位相を合致させることを特徴とする機能
   トリミング装置。