JPS6132503A - トリミング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、　　ＩＣ回路の抵抗体などのトリミングを行
なうトリミング装置に関する。

〔発明の背′景〕

従来のトリミング装置では、回路基板上の抵抗値を計測
するために、プ四−ブカードと呼螺れるプローブ支持基
板にプローブを固定し、被加工体を搬送位置決めした後
、被加工体を上昇させるかまたはプ鴛−プカードを下降
させて被加工体とプローブな機械的に接触させ、外部回
路と電気的に接続して抵抗値を測定し、目標値にトリミ
ングしていた。この方法には被加工体上昇またはプロー
ブ下降に要する時間が必要であり、スループットを低下
させ、また、安定な接触条件を得るためにプローブ先端
の保守が必要であり、かつ消耗品であるためランニング
コストを上昇させるという欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明は前述の欠点を是正し、被加工体とプローブの電
気的接続を高速で行ない、かつプローブを長寿命化でき
るトリミング装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するために、本発明によるトリミング装
置は、被加工体の位置決め装置とし。

−ザビーム発生器とレーザビーム走査装置と測定装置と
処理装置とより成るトリミング装置において、さらに被
加工体上のトリミング対象の抵抗体近傍に各抵抗体１個
につき１対の抵抗体と電気的に容量結合された非接触グ
ローブと、上記グローブの一方を介して上記抵抗体に交
流電圧を印加する回路と他方のプ冒−ブから外部に接続
した負荷抵抗の両端の、交流電圧を測１定する回路とを
有することを要旨とする。すなわち、本発明は、被加工
体上の抵抗体の抵抗値を針側するＫは、測定系端末のプ
ローブと抵抗体との距離を微小かつ一定に保持すること
により、電気的に容量結合で接続することができるとい
う本発明者らの知見に基ずいてなされたものである。プ
ローブと抵抗体を容量結合することによって、被加工体
を搬送位置決めするどきに、プローブとの距離が一定と
なるように設定すれば、従来プローブと被加工体上の抵
抗体を接触させるために要していた時間を節約すること
ができる。

以下に図面を参照しながら、実施例を用いて本発明を一
層詳細に説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明の
枠を越えることなしにいろいろな変形や改良があり得る
ことは勿論である。

Ｃ発明の実施例〕 第１図は全体構成を示すブロック図である。

トリミング対象の被加工体（以下本明細書においては単
にワークと称する。）Ｗを搬送位置決めする装置１と、
ワークＷ上の抵抗体と電気的に接続するための非接触プ
ローブユニット２と試験電圧を印加する試験電圧発生装
置５と、特性値を測定する測定装置４と、レーザビーム
を出力するレーザビーム発生器５と、レーザビームを走
査するレーザビーム走査装置６と、これらを制御する処
理装置７とから構成したものである。以下各部の動作を
述べる。搬送位置決め装置１により、ワークＷをワ・・
−り着脱位置よりトリミング位置へ搬送位置決めする。

このとき非接触プ四−ブユニット２に設けた複数対のプ
ローブと、ワークＷ上のトリミング対象の複数個や抵抗
体の電極とは、一定の微小距離を保つて対向するように
プロープニニット２を予め設定しておく。この様子を第
２図に示す。その気試駿電圧発生装置５より交流試験電
圧を発生し、ワークＷ上のトリミング対象の抵抗体１１
の両側に設けた一対の電極１２．１５に対向して設定し
である一対のプローブの片側のプローブ１４より、抵抗
体１１に試験電圧を印加する。印加された信号は、容量
結合にて抵抗体の一方の電極１２より抵抗体１１を経由
し、他方の電極１５より再び容量結合にて、上記一対の
プローブの他の他方のプローブ１５へ接続される。プロ
ーブ１５には負荷抵抗１６が接続され、負荷抵抗１６の
他の一端は接地しである。ここで負荷抵抗１６０両端の
電圧を側。

定装置４で読みとりながら抵抗体１１の抵抗値が目標の
値となるように、レーザビーム発生器５よりレーザビー
ムを放射しながら、レーザビーム走査装置６によりレー
ザビームで抵抗体１１上を走査して抵抗値を調整する。

抵抗値の求め方は以下の通りである。上記回路の等価回
路を第５図に示す。ここで”ｌ　＊Ｃ＠Ｆｂは既知また
は測５定することにより値を得ることができ、−を上記
方法で測定することにより、トリミング対象の抵抗体の
値■Ｒ１はνｔ　ｙ’６　、Ｒ，、ｔＣｓωの関数で表
わすことができ、処理装置７で求められる。

ここでωは試験電圧発生装置５の出力信号の角周波数で
ある。ｖＪ！は次式で求められる。

−”亀　−５ｌＯ ＶＪＩ−□攬−石で 以上述べたように本実施例によれば、トリミング装置に
おいて、従来性なわれていたような接触形プローブに代
り、非接触のプローブで信号の供給、検出ができるため
、接触させるのに必要な時間を削除することができ、ま
た非接触であるため、グローブおよびプローブ支持体の
。

剛性を小さくできて小形軽量化することができ、従って
従来のプローブカードとは形状構造の異。

りた例えば、印刷配線板上にプローブ電極を設け、トリ
ミング対象抵抗部分を空隙としたような高密度グローブ
ニニットの実現が可能である。

さらに機構的に摩耗する部分を無（したことにより、特
性の維持が容易で、プローブの寿命は半永久的である。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、トリミング対象
の抵抗体とトリミング装置の計測系。

を機械的に非接触に電気的に接続することができ、接触
させるに要する時間削除によるス１ループツトの向上と
、プロープニニットの長寿命化によるランニングコスト
の低減を図ることがでキ、トリミング装置のコストパフ
ォーマンス全１゜大幅に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるトリミング装置の構成を示すブロ
ック図、第２図は本発明によるトリミング装置の非接触
プローブとワーク周辺の一面図、第５図は第２図に示す
装置の等価回路図である。 Ｗ・・・ワーク ト・・搬送位置決め装置 ２・・・非接触プ冒−プ≧ニット ５・・・試験電圧発生装置 ４・・・測定装置 ５・・・ビーム発生器 ６・・・レーザビーム走査装置 ７・・・処理装置 １１・・・トリミング対象の抵抗体 １２．１５・・・電極 １４．１５・・・プローブ １６・・・負荷抵抗

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被加工体の位置決め装置とレーザビーム発生器とレーザ
   ビーム走査装置と測定装置と処理装置とより成るトリミ
   ング装置において、さらに被加工体上のトリミング対象
   の抵抗体近傍に各抵抗体１個につき１対の、抵抗体と電
   気的に容量結合された非接触プローブと、上記プローブ
   の一方を介して上記抵抗体に交流電圧を印加する回路と
   、他方のプローブから外部に接続した負荷抵抗の両端の
   交流電圧を測定する回路とを有することを特徴とするト
   リミング装置。