JPS6133360A - 自動搬送システムにおける搬送車のストレ−ジ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野〕 本発明は自動搬送システムにおける搬送車のストレージ
機構に関するもので、特に半導体製造工程においてウェ
ーハ収納先セツｉ〜を搭載したＶ、送車のうち、荷役待
ちおよび荷役終了の搬送車を収納寸′るためのストレー
ジ機構に関する。

〔頬明の技術的背景〕

半導体製造工程においてウェーハ搬送の効率化のために
ウェーハ収納カセットを搭載した搬送車を工程間で運転
することが行われる。

従来の搬送車のストレージｍ構として第２図に示すよう
なシステムがある。すなわち搬送経路※↑線１の１喘部
に直線的ストレージ２を設置し、このスミ−レージ２内
に格納された搬送車３を工程ステーション４からの呼び
出しに応じて搬送経路幹線に近い方の側から順次呼び出
して搬送経路幹線内に投入するものである。

、この場合搬送経路幹線１に投入される搬送車３はスト
レージ２内に格納された順に従い先入れ後出しとなる。

また他の方法として特別なストレージ払設置せず、搬送
経路幹線１上を常時周回さゼておき、工程ステーション
４からの呼び出しに応じてそのステーションに近接する
搬送車３からつＩ−ハ収納カセットを供給するようにし
たものもある。

〔背狽技術の問題点〕

しかしこのような従来の搬送車ス１−レージ機構では、
次のような欠点を有している。すなわち搬送経路幹線の
１端にストレージラインを設ける方法では搬送車ごどの
運転時間の差異が大きく、特にス［ヘレージラインの最
先端部すなわち最奥部に待機づ−る搬送車の稼動率が低
下し、定期的なメンテナンスができないという欠点があ
る。またストレージスペースが長手方向に広がって大き
くなってしまうという欠点もある。

さらに搬送経路幹線内を搬送車が周回覆る方法では、用
のない搬送車が常時周回することになり半導体の品質低
下の原因となる発塵量の増大を招き、搬送車摺動部分お
よび走行経路摺動部分の摩耗量が多く寿命が知かくなる
等の欠点がある。

〔発明の目的〕

本発明はこれらの従来技術の欠点を解消するためになさ
れたもので、搬送車をほぼ平均的に稼動さ仕かつ不要な
搬送車を周回させることを無くして摺動各部の摩耗度を
低下させることのできる自動搬送システムにお【プる搬
送車のストレージ機構を提供することを目的とする。

〔発明の概要〕

上記目的達成のため、本発明においては、工程ステーシ
ョンからの呼び出し要求に応答して、ストレージライン
に格納された搬送車を搬送経路幹線に乗り入れ、前記工
程ステーションに搬送対象物を供給する自動搬送システ
ムにお（プる搬送車のストレージ機構において、前記搬
送経路幹線がストレージ乗り入れ機構部を介して前記ス
トレージラインの一端に接続し、ストレージ払い出し機
構部を介して前記ストレージラインの他端に接続したこ
とを特徴としており、搬送車の稼動率を平均化してメン
テナンスを容易にし、さらに発ユ司を減らして半導体装
置の信頼性を向上させることができるものである。

〔発明の実施例〕

以下本発明の一実施例を図面を参照しながら詳細に説明
する。

第１図は本発明の一実施例を示１搬送車のストレージ機
構の概略構成図である。搬送経路幹線１は、各工程ステ
ーション４１ないし４ｎを結ぶ部分を結ぶ直線部分を一
辺に有し最終の工程ステーション４ｎから最初の工程ス
テーション４１へ戻る復帰路を右する略矩形をなし無端
状に配設されたレールであって、この上を搬送車の上部
に設けられた車輪が転勤する。搬送経路幹線１はストレ
ージ乗り入れ機構部１２を介してストレージライン１１
の１端に接続し、ス］・レージ払い出し機構部１３を介
してストレージライン１１の他端に接続ηるよう描成さ
れている。このストレージ乗り入れ機構部１２およびス
トレージ払い出し機構部１３はそれぞれ例えばポイント
機構またはレール間移送機構である。

各工程ステーション４に荷降後の搬送車３（Ａ）は、搬
送経路幹線１を走行したのちストレージ乗り入れｆ［部
１２を通過してストレージライン１１に入車する。

また各工程ステーション４から制御装置（図示せず）を
介して空車の呼び出し要求が発生すると、ストレージラ
イン１１上に格納された搬送車３のうちから最先端部に
位置する搬送車３（Ｂ）がストレージ払い出し機構部１
３を通過して搬送経路幹線１上に乗り入れられ、呼び出
し要求のあった工程ステーション４に向って走行Ｊ゛る
。

したがってこの発明によるス［〜シー機構横では搬送車
３のストレージライン２からの払い出しは先入れ先出し
方式となり、しかも必要な車両のみが搬送されることに
なる。

以上の実施例において、搬送車は自走式のものでも、搬
送経路幹線下に設けられた搬送機構により送られるもの
でもいずれでもにい。また、搬送対象物はウェー八カセ
ットのみでなくあらゆる物を対象とすることができる。

〔発明の効果〕

以上実施例に基づいて説明したように本発明においては
ストレージラインと搬送経路幹線とをス１〜レージ乗り
入れ１幾構部とストレージ払い出し機（１１１部とにＪ
、って接続しストレージライン内の搬送中を先入れ先出
し運転制御にＪ、り搬送経路幹線に乗り入れるＪ、うに
構成したため、各搬送車の稼動率ははば平均化され定期
的メンテナンスが可能どなる。

また空中（荷役前車）の搬送経路幹線上の走行を著しく
短縮り−ることができるため、発塵量を低減させること
が可能どなり半導体装置の信頼性向−にに’ｉ４＋　’
５できる。さらに搬送車摺動各部および走行経路摺動各
部の摩耗を低減する一Ｌに優れた効果がある。また、従
来と同じスペースで長いストレージラインを設（）るこ
とがてきる１ｃめ、スペース効率を向−トさせることが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明にかかるストレージ機構の一実施例を示
ず構成図、第２図は従来のストレージ機構の構成図であ
る。 １・・・搬送経路幹線、２，１１・・・ストレージライ
ン、３・・・搬送車、４・・・工程ステーション、１２
・・・ストレージ乗り入れ機構部、１３・・・スｌ−レ
ージ払い出し機構部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　工程ステーションからの呼び出し要求に応答して、ス
   トレージラインに格納された搬送車を搬送経路幹線に乗
   り入れ、前記工程ステーションに搬送対象物を供給する
   自動搬送システムにおける搬送車のストレージ機構にお
   いて、前記搬送経路幹線がストレージ乗り入れ機構部を
   介して前記ストレージラインの一端に接続し、ストレー
   ジ払い出し機構部を介して前記ストレージラインの他端
   に接続したことを特徴とする自動搬送システムにおける
   搬送車のストレージ機構。