JPS613437U - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPS613437U JPS613437U JP8708484U JP8708484U JPS613437U JP S613437 U JPS613437 U JP S613437U JP 8708484 U JP8708484 U JP 8708484U JP 8708484 U JP8708484 U JP 8708484U JP S613437 U JPS613437 U JP S613437U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- pressure sensor
- sensitive part
- pressure sensitive
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図及び第２図は従来の圧カセンサの断面図、第３図
は本考案に係る圧カセンサの断面図である。 １・・・ケース、２・・・シリコンディスク、３・・・
シリコンペレット、４，９，１３・・・ダイヤフラム、
５・・・ストレンゲージ、訃・・シリコーンゴム、１２
・・・凹部、１４・・・突条。
は本考案に係る圧カセンサの断面図である。 １・・・ケース、２・・・シリコンディスク、３・・・
シリコンペレット、４，９，１３・・・ダイヤフラム、
５・・・ストレンゲージ、訃・・シリコーンゴム、１２
・・・凹部、１４・・・突条。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 圧力変化をインピーダンス変化に変化する圧カセン
サにおいて、ケース内に設けられる感圧部表面には耐食
性に優れ且つガス透過率の低い柔軟性材料からなるダイ
ヤフラムを密着させ、このダイヤフラムの周縁部には突
条部を形成し、この突条部をケース本体のフランジ部と
ケース本体を閉塞する蓋体の周縁間に形成した凹部に嵌
め込んだことを特徴とする圧カセンサ。 ２ 前記感圧部表面に液体を塗布し、その上に前記ダイ
ヤフラ云を密着させ感圧部表面とダイヤフラムとの間に
形成される微細空間には液体が封入されていることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の圧カセン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8708484U JPS613437U (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8708484U JPS613437U (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS613437U true JPS613437U (ja) | 1986-01-10 |
Family
ID=30638978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8708484U Pending JPS613437U (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS613437U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01128141U (ja) * | 1988-02-25 | 1989-09-01 | ||
| WO1991015743A1 (fr) * | 1990-04-03 | 1991-10-17 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Detecteur de pression differentielle et procede de fabrication |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5862534A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-14 | Hitachi Ltd | 半導体測定ダイアフラム |
-
1984
- 1984-06-12 JP JP8708484U patent/JPS613437U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5862534A (ja) * | 1981-10-09 | 1983-04-14 | Hitachi Ltd | 半導体測定ダイアフラム |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01128141U (ja) * | 1988-02-25 | 1989-09-01 | ||
| WO1991015743A1 (fr) * | 1990-04-03 | 1991-10-17 | Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. | Detecteur de pression differentielle et procede de fabrication |
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