JPS6142454U - 表面分析用グロ−放電分光分析装置 - Google Patents

表面分析用グロ−放電分光分析装置

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JPS6142454U
JPS6142454U JP12704684U JP12704684U JPS6142454U JP S6142454 U JPS6142454 U JP S6142454U JP 12704684 U JP12704684 U JP 12704684U JP 12704684 U JP12704684 U JP 12704684U JP S6142454 U JPS6142454 U JP S6142454U
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JP
Japan
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glow discharge
surface analysis
open end
discharge spectrometer
cathode body
Prior art date
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Pending
Application number
JP12704684U
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English (en)
Inventor
泰子 古主
輝雄 岡野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Iseki and Co Ltd
Original Assignee
Iseki and Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１，図は、本考案の実施例に係る表面分析用グロー放
電分光分析装置の概略縦断面図、第２図Ａ， Ｂは、従
来装置と上記実施例装置とを用いた場合の放電面の断面
プロファイルを比較して示す線図、第３図Ａ， Ｂは、
上記実施例装置を用いて分光分析を行った結果を、従来
装置を用いて行った結果と比較して示す線図、第４図は
、従来の表面分析用グロー放電分光分析装置の一例を示
す概略縦断面図である。 １０・・・試料、１２・・・カソード体、１２Ａ・・・
中空内周部、１４・・・窓体、１６・・・アノード体、
１６ａ・・・試料と対峙される部分、６１６Ｂ２・・・
カソード体の中空内周部と対峙される部分、１８・・・
中空部、２０．２２・・・第１、第２真空ポンプ、３０
・・・絶縁体。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 片側開口端が試料によってシールされた中空のカソード
    体と、 片側開口端が窓体によってシールされ、且つ他側の開口
    端が前記試料及び前記カソード体の中空内周部と対峙さ
    れると共に、前記カソード体の他側の開口端に絶縁及び
    シールされた状態で取付け′″′；；曜ぽ↑逓、７オ、
    ７，一、オよ、形成された中空部を所定圧力分布のガス
    雰囲気に調整可能な圧力調整手段と、 を備えた表面分析用グロー放電分光分析装置にお′囁詰
    ７，一、オ。 わ．あ，，４よヵ．あわ．い、及び、同じくアノード体
    の前記カソード体と対峙される部分を、それぞれ絶縁体
    で構成したことを特徴とする表面分析用グロー放電分光
    分析装置。
JP12704684U 1984-08-22 1984-08-22 表面分析用グロ−放電分光分析装置 Pending JPS6142454U (ja)

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JP12704684U JPS6142454U (ja) 1984-08-22 1984-08-22 表面分析用グロ−放電分光分析装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH026988U (ja) * 1988-06-23 1990-01-17
JPH05126460A (ja) * 1991-11-06 1993-05-21 Sanyo Electric Co Ltd 扉装置
JPH07146238A (ja) * 1993-11-25 1995-06-06 Rigaku Ind Co グロー放電発光分光分析装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH026988U (ja) * 1988-06-23 1990-01-17
JPH05126460A (ja) * 1991-11-06 1993-05-21 Sanyo Electric Co Ltd 扉装置
JPH07146238A (ja) * 1993-11-25 1995-06-06 Rigaku Ind Co グロー放電発光分光分析装置

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