JPS6143239Y2 - - Google Patents

Info

Publication number
JPS6143239Y2
JPS6143239Y2 JP1979152963U JP15296379U JPS6143239Y2 JP S6143239 Y2 JPS6143239 Y2 JP S6143239Y2 JP 1979152963 U JP1979152963 U JP 1979152963U JP 15296379 U JP15296379 U JP 15296379U JP S6143239 Y2 JPS6143239 Y2 JP S6143239Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
turntable
positioning
adapter
probe
pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP1979152963U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5670568U (ja
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1979152963U priority Critical patent/JPS6143239Y2/ja
Publication of JPS5670568U publication Critical patent/JPS5670568U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6143239Y2 publication Critical patent/JPS6143239Y2/ja
Expired legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、小径部品例えばデイジタル式腕時計
用基板(以下基板という)にLSIチツプを搭載し
た後、回路試験機と接続しているプローブを該基
板の所定位置に接触し、該基板の特性検査を行な
い試験結果に応じて自動的に良品、不良品を分類
する接続装置ハンドラにおいて、ターンテーブル
上の基板品種ごとに設けたアダプタに作業者が1
個ずつセツトした基板の所定位置にターンテーブ
ルがインデツクスして停止後、複数本同時にプロ
ーブを接触する接触機構の構造に関するものであ
る。
従来、基板の検査な回路試験機と接続している
プローブを植えたプローブヘツドを作業者が一回
ずつ基板に押しつけ、接触が完了したら回路試験
機をスタートさせ、回路試験機の検査結果をラン
プ点灯等で確認し、基板セツト部からセツトした
ときのようにピンセツトでつまみ出して分類して
いた。
しかしながら、この方法は基板セツト、基板と
プローブとの接触、検査結果に応じた分類とすべ
て作業者が行なわなければならず、作業内容の改
善、作業工数の低減、誤分類の除去等を目的とし
て作業者は基板セツトのみ行なえば検査・分類を
自動的に行なう接続装置ハンドラの開発が必要と
された。とりわけ基板のプローブ接触部が小さい
ことから、ターンテーブルの回転停止時位置決め
精度をあまり必要としないで、基板とプローブと
の接触が図れる接触機構の必要性が生じた。
本考案の目的はターンテーブルの回転体上にイ
ンデツクス数と同数の被検査物に応じたアダプタ
を介して乗せた被検査物に任意ステージに固定し
てある回路試験機と接続しているプローブを確実
に接触するための接触機構を提供することにあ
る。
本考案によれば、制御部の信号により動作する
上下動駆動部に取り付け、かつターンテーブル8
のインデツクス後の停止位置の一個所で被試験物
の検査位置に対向してターンテーブル8の上部側
からプローブ17を下向きに多数本保持している
プローブヘツド16の真下に設けた圧縮ばね5を
内蔵している持ち上げヘツド6と、前記ターンテ
ーブル8の表面上にインデツクス数と同じ数だけ
設けた位置決め用ブツシユ19を有するアダプタ
9と、このアダプタ9に基板12を精度よく位置
決めする基板位置決めピン18と、前記ターンテ
ーブル8に対して前記アダプタ9をがたを持たせ
て粗位置決めするターンテーブル8に設けたピン
10と、前記アダプタ9の位置決め用ブツシユ1
9に入るピン23を保持し圧縮ばね21によつて
上下動できる前記プローブヘツド16の真下でプ
ローブヘツド16の取付用アツパーベース13に
設けた位置決めストツパ24とから構成した接触
機構が得られる。
次に本考案接触機構の一実施例を図面によつて
詳細に説明する。
第1図は、本考案による接触機構の一実施例を
示す構成図であり、ベース1にはガイドシヤフト
2を複数本立ててあり、このガイドシヤフト2に
上下動駆動部(図示省略)に取り付けてあつてガ
イドベアリング3により上下動する中間ベース4
が水平に取り付けてある。中間ベース4には圧縮
ばね5を内蔵している持ち上げヘツド6が打ち込
まれており、圧縮ばね5の強さを調整するのにナ
ツト7が組込まれている。
ターンテーブル8にはアダプタ9をがたを持た
せて粗位置決めするピン10が打ち込まれてい
る。アダプタ9はピン10で位置決めされるばか
穴11と、基板12とアツパーベース13にピン
14とねじ15で位置決め固定したプローブヘツ
ド16に植え込んだプローブ17とが接触するた
めの基板位置決めピン18と、位置決め用ブツシ
ユ19とから構成している。位置決め用ブツシユ
19は、持ち上げヘツド6でアダプタ9を持ち上
げたとき、アツパーベース13に取り付けたベア
リング20と圧縮ばね21を内蔵しているホルダ
22に打ち込んである先端をテーパ状にした位置
決めピン23に入るようになつている。
位置決めストツパ24は、アツパーベース13
の下部にあり、アツパーベース13に取り付けた
ホルダ22のベアリング20、ガイドシヤフト2
5圧縮ばね21によりアダプタ9の一定水平面上
に水平に位置している。
第2図および第3図はアダプタ9の動きを第1
図をもとにして説明図的に図示したものであり、
第2図は持ち上げヘツド6が上下動駆動部により
ターンテーブル8の穴部を通り抜けてアダプタ9
の下面まで上昇したときの状態であり、第3図は
第2図より持ち上げヘツド6が上昇したもので、
基板12とプローブ17の接触が図れている状態
を示している。
第4図は、ターンテーブル8とアダプタ9と持
ち上げヘツド6の関係を示した平面図であり、ア
ダプタ9を水平に持ち上げるよう持ち上げヘツド
6は4本になつている。
なお、第1図〜第3図はばか穴11と位置決め
用ブツシユ19の位置関係を実際の配置の第4図
のようにせず、一部説明図的に表わしている。
以上の構成を持つ本考案の接触機構において、
この一実施例の動作を図面を参照しながら順を追
つて説明する。
基板12をターンテーブル8上のアダプタ9に
基板位置決めピン18を使用して作業者がセツト
すると、ターンテーブル8の制御部(省略)のコ
ントロールにより設定インデツクスで回転し、何
回か回転停止を繰り返した後プローブ17が設け
てあるステージにくる。この状態が第1図に示す
ものである。
ターンテーブル8の回転が停止すると、上下動
駆動部が働らき中間ベース4を持ち上げるので、
持ち上げヘツド6もターンテーブル8の穴を通り
抜けて上昇する。上昇していつてアダプタ9の下
面に当たり、なお上下動駆動部が働らくのでアダ
プタ9はターンテーブル8面上より持ち上げら
れ、持ち上げヘツド6の上面に乗り、さらに上昇
する。上昇とすると、アダプタ9の基板12を乗
せている上面がちようど真上に位置している位置
決めストツパ24の下面に接触する。この状態
は、アダプタ9の位置決め用ブツシユ19がプロ
ーブヘツド16側から下方に向いて設置してある
位置決めピン23と同一垂線上にあるので、位置
決めピン23の先端と接触した状態となる。しか
し、プローブ17と基板12の接触部はまだ接触
していない。
このとき、位置決め用ブツシユ19は先端をテ
ーパ状にした位置決めピン23が入り易くなるよ
う、内面を「面取り」してあるので、多少水平方
向にずれてアダプタ9の位置を修正し接触した状
態になる。
この状態でさらに上昇するので、位置決めスト
ツパ24は圧縮ばね21がたわみベアリング20
のガイドにより上昇する。従つて位置決めピン2
3はアダプタ9の位置決め用ブツシユ19に確実
に入つていき、位置決めストツパ24の上面がア
ツパーベース13の下面に接触する寸前で上下動
駆動部が停止し第3図の状態になる。
これで、アツパーベース13に取り付けたプロ
ーブヘツド16に植え込んだプローブ17と基板
12の所定位置が確実に接触したことになる。従
つて、上下動駆動部がアツパーリミツトまで上昇
したことで働らく回路試験機によつて基板12の
検査ができる。
検査終了後、前記上下動駆動部を下降すれば持
ち上げヘツド6が下降するので、圧縮ばね21に
より位置決めストツパ24でアダプタ9を押さえ
た状態で下降し、ある高さまで下降すると、圧縮
ばね21が位置決めピン23と位置決め用ブツシ
ユ24をリジエクトする働らをする。
両者が完全に外れるとアダプタ9は、ターンテ
ーブル8の表面に落下し、また第1図の状態にな
る。このとき、アダプタ9のばか穴11はピン1
0より大きいので多少アダプタ9が横ずれしても
よいようになつている。
また、持ち上げヘツド6は圧縮ばね5を内蔵し
ているので、位置決めストツパ24にアダプタ9
を所定圧力以上に押しつけることもない。なお、
基板12のセツトは検査中すなわちターンテーブ
ル8の停止中に次々と行なう。
以上、説明したように本考案によれば、ターン
テーブル等の回転体を用いてインデツクス後プロ
ーブと被試験物の基板の接触部とを接触させる時
に必要なターンテーブルのインデツクス停止精度
をさほど必要とせず、基板を乗せているアダプタ
がプローブに対してセルフアライメントする機能
を有しており、また、接触後インデツクスするた
めに基板がプローブから離れる時には、アダプタ
のばか穴のためターンテーブル上に設けたピンに
スムースに入ることができるので、次のインデツ
クスに安心して進めることができる。従つて、例
えば腕時計用基板等の検査の時接触する端子面積
が小さい(巾0.5mm、長1.5mm程度)ものに確実に
プローブを接触することができ、停止精度を上げ
るために必要な機構を不要にし、ま停止精度を上
げるためにはどうしても小径のターンテーブルに
ならざるを得なかつたものを大径のターンテーブ
ルにすることができるので、基板のセツト枚数も
ふやせ作業工数の低減が図れる接触機構が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案による一実施例を示す接触機構
の構成図、第2図および第3図は被検査物とプロ
ーブが接触する過程を示す説明図、第4図は被検
査物を乗せるアダプタ関係を示す平面図である。 なお図において、1はベース、2はガイドシヤ
フト、3はガイドベアリング、4は中間ベース、
5は圧縮ばね、6は持ち上げヘツド、7はナツ
ト、8はターンテーブル、9はアダプタ、10は
ピン、11はばか穴、12は基板、13はアツパ
ーベース、14はピン、15はねじ、16はプロ
ーブヘツド、17はプローブ、18は基板位置決
めピン、19は位置決め用ブツシユ、20はベア
リング、21は圧縮ばね、2はホルダ、23は位
置決めピン、24は位置決めストツパ、25はガ
イドシヤフトである。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 小径部品のコネクタ端子に回路試験機と接続し
    ているプローブを接触して、特性検査を行ない試
    験結果に応じて分類する接続装置ハンドラにおい
    て、制御部の信号により動作する上下動駆動部に
    取り付け、かつターンテーブル8のインデツクス
    後の停止位置の一個所で被試験物の検査位置に対
    向してターンテーブル8の上部側からプローブ1
    7を下向きに多数本保持しているプローブヘツド
    16の下側に設けた圧縮ばね5を内蔵している持
    ち上げヘツド6と、前記ターンテーブル8の表面
    上にインデツクス数と同じ数だけ位置決め用ブツ
    シユ19を有するアダプタ9と、このアダプタ9
    に基板12を精度よく位置決めする基板位置決め
    ピン18と、前記ターンテーブル8に対して前記
    アダプタ9をがたを持たせて粗位置決めするター
    ンテーブル8に設けたピン10と、前記アダプタ
    9の位置決め用ブツシユ19に入るピン23を保
    持し圧縮ばね21によつて上下動できる前記プロ
    ーブヘツド16の下側でプローブヘツド16の取
    付用アツパーベース13に設けた位置決めストツ
    パ24とから構成した接触機構。
JP1979152963U 1979-11-02 1979-11-02 Expired JPS6143239Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1979152963U JPS6143239Y2 (ja) 1979-11-02 1979-11-02

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1979152963U JPS6143239Y2 (ja) 1979-11-02 1979-11-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5670568U JPS5670568U (ja) 1981-06-10
JPS6143239Y2 true JPS6143239Y2 (ja) 1986-12-06

Family

ID=29383792

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1979152963U Expired JPS6143239Y2 (ja) 1979-11-02 1979-11-02

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6143239Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5819273U (ja) * 1981-07-31 1983-02-05 富士通株式会社 位置合せ機構

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5670568U (ja) 1981-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100187559B1 (ko) 전기적특성의 측정방법 및 그의 측정장치
KR100261957B1 (ko) 수평 반송 테스트 핸들러
JPS6362245A (ja) ウエハプロ−バ
JP2502231B2 (ja) プロ―ブカ―ド検査装置
CN113253100A (zh) 一种测试装置和检测系统
JPH0498167A (ja) Ic検査装置
CN115372672A (zh) 探针设备的工作台、探针设备、控制方法及探针测试方法
JPH0441495B2 (ja)
JPH02213701A (ja) ディスク内径検査方法及びその装置
CN116973602A (zh) 针压装置、半导体测试设备及其测试方法
JP2971491B2 (ja) 検査装置
CN121721786A (zh) 光器件的自动化耦合机构
KR20050067759A (ko) 반도체 검사장치
CN223827774U (zh) 一种pcb板检测装置
JP2533881Y2 (ja) 回路基板検査装置におけるピンボード構造
JPH022901A (ja) 配線基板端子ピンの長さ検査機構
JPS63244855A (ja) プロ−ブ装置によるウエハの検査方法
JPH0758168A (ja) プローブ装置
JP2007095753A (ja) プローバ、プローブ接触方法及びそのためのプログラム
JPH04340241A (ja) 半導体ウエハの検査装置
KR20050067760A (ko) 반도체 검사장치
JPH0333022Y2 (ja)
JPH07107909B2 (ja) ウエハプローバ
JPH0441342Y2 (ja)
JPH0477871B2 (ja)