JPS6150219A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、蒸着テープ等の磁気記録媒体の製造方法に関
し、特に非磁性基材の両面に蒸着を行なう磁気記録媒体
の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

磁気記録媒体として使用される蒸着テープは一般に、非
磁性基材となるポリエチレンテレフタレートＣＰＥＴ）
等のベースフィルムの表面にｃ。

等の強磁性薄膜が蒸着にニジ形成され、裏面にバンクコ
ート層が施されている。

しかし、このように片面に蒸着を行なうことは、テープ
が蒸着面側に反ってしまうカールが発生したり、蒸着テ
ープの厚みが薄い場合テープの腰の強さ〔ステイフネス
）が弱くなるという問題が生じる。

そこで、カールやステイフネスの問題全解決するために
、ベースフィルムの両面に蒸着膜全形成することが従来
より行なわれている。

この両面蒸着の方法としては、真空雰囲気内でベースフ
ィルムを１個の円筒状回転キャンに浴わせて移送し、ま
ずベースフィルムの表裏いずれか一方の面に蒸着を行な
い、その後ベースフィルムを巻き戻し表裏の面金反対側
にして、もう一方の面に蒸着を行なう方法が知られてい
る。

この方法では、製造工程が煩雑なだけでなく、蒸着用の
チャンバーを大気圧にしたり真空にする必要がち少工程
に長時間を要してしまい量産性に問題がおった。

そこで、円筒状回転キャンお工び蒸着金属を蒸発する蒸
発源をそれぞれ２個用い、ベースフィルムの表面および
裏面が現われるように２個の回転キャンに沿わせてベー
スフィルムを移送し、真空雰囲気内でベースフィルムの
両面に蒸着を行なう方法が知られている。ここで、２個
の回転キャンお工び蒸発源の間には仕切シ板が設けられ
、一方（Ｄ　Ａ６　発源に工って′ベースフィルムの表
面にたとえばｃｏが蒸着さｎ１他方の蒸発源によってベ
ースフィルムの裏面にたとえばＡＡが蒸着される。

この方法では、２つの蒸発源の蒸着金属の液面高さおよ
び蒸着レート全それぞれコントロールする必要があシ煩
雑になるといり欠点がある。また、斜蒸着によってたと
えばＣ８′ｆｒ：蒸着することから、蒸発したＣ８が仕
切９板に付着してしまい、強磁性材料の使用効率が上が
らないという問題がある。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このように従来の製造方法では、蒸着金属の液面高さや
蒸着レート？２つの蒸発源でコントロールしなけｎばな
らず工程が煩雑となったシ、また仕切シ板に蒸発した強
磁性材料が付着し材料の使用効率が上がらないといり問
題があった。

そこで本発明はこのような従来の問題点全解決するため
に提案されたものでうり、工程が簡略化され、また蒸発
源に使用される強磁性材料の使用効率が向上する磁気記
録媒体の製造方法を提供することを目０勺とする。

〔問題点ｔ　７’／（決するための手段〕この目的を達
成するために本発明の磁気記録媒体の製造方法は、真空
雰囲気内で、非磁性基材を２個の円筒状回転キヤンに沿
わせて移送し、強磁性材料を蒸発する１個の蒸発源から
上記非磁性基材に蒸着を行ない上記非磁性基材の両面に
同時に強磁性薄膜を形成することを特徴とする。

〔作用〕

したがって本発明によれば、１個の蒸発源のみの蒸着金
属の液面高さや蒸着レートを管理するだけでよく工、程
が簡略化され、また非磁性基材でちるベースフィルムの
両面に同時に１個の蒸発源から蒸着を行なうことから強
磁性材料の使用効率が向上する。

〔実施例〕

以下、本発明の具体的方法を図面を参照して詳細に説明
する。

第１図は、本発明の磁気記録媒体の製造方法に用いられ
る連続巻取式蒸着装置の概略構成図でるる。

この第１図において、図示しない真空ポンプによって排
気されることで密閉した真空雰囲気を作シ出すチャ／バ
ー１内には、矢印入方向に回転し非磁性基材のベースフ
ィルム２を送り出す巻出し側ロール３が配されている。

ここで、このベースフィルム２はポリエチレンテレフタ
レー）ＣＰＥＴ）等から形成さｎている。また、上記巻
出し側ロール３から送り出さｔＬ／＋、ベースフィルム
２は、ロール３の下方に配され矢印Ｂ方向に回転する円
筒状回転キヤンヰの外周に潜って移送され、ロール３の
上方に配された回転式ロー？５　、６ｆ：通過する。こ
のロー２５，６を通過したベースフィルム２は、上記回
転キャン４の側力に配嘔れ矢印Ｃ方向に回転する円筒状
回転キャン７の外周に沿って移送される。この時ベース
フィルム２の表裏が反転され、回転キャン７を通過する
ベースフィルム２は表面が現れている。また、上記回転
キャン７を通過したベースフィルム２は、回転キャン７
の上刃に配され矢印り方向に回転する巻取り倶１１０−
／し８に巻取られる。また、上記円筒状回転キャン４寄
りの上記円筒状回転キャン７の下方位置（乞は、強磁性
材料のたとえばＣ０１ｃ蒸発する１個の蒸発源９が配嘔
れている。この蒸発源９はたとえば電子ビーム蒸発源と
なっている。また、上８己円筒状回転キャン４お工び７
の下方には、蒸着レート全調節するシャッタ１０お工び
１１が８嘔れている。

このように構成される連続巻取式蒸着装置を参照して本
発明の磁気記録媒体の製造方法を説明する。

上述したようにベースフィルム２はチャン／＜−１によ
って作られる真空雰囲気内で２個の円筒状回転キャン４
，７に椙って移送される。この時、回転キャン４　Ｉｌ
ｌのベースフィルム２は裏面が現ｎてお、ｊ）、回１ｉ
キャン７側のベースフィルム２は上述したように表面が
現ハで移送される。そして、チャンバー１内に設けられ
た上述の１個の蒸発源９から００等の蒸着金属が蒸発す
ることにより、回転キャン４？通過するベースフィルム
２の裏面、および回転キヤン７を通過するベースフィル
ム２の表面に同時にＣ８等の強磁性薄膜が形成されるよ
うになる。ここで、強磁性薄膜の膜厚はシャッタ１０．
１１によって調整嘔れる。また、斜め蒸着が行なわれて
いるのは、製造される蒸着テープの抗磁力Ｈ６を高める
ためである。

このように上記磁気記録媒体の製造方法においては、１
つの蒸発源９によってベースフィルム２の両面に同時に
蒸着を行なっていることから、１個の蒸発源９の液面高
さや蒸着レートをコントロールするだけでよく、工程が
煩雑にならず簡略化される。また、従来仕切シ板に付着
していた蒸発１　　　　金１１゛０転″？’ｒ７４ＫＧ
Ｏ”Ｃ移送ｉｎ；ｂ＜−ｘフィルム２の裏面に蒸着して
いることから、強磁性材料の使用効率が向上する。

なお、上記磁気記録媒体の製造方法はビデオ用やオーデ
ィオ用の蒸着テープ全製造するばかシでなく、７０ノビ
−ディスク等のフレキシブルディスクの製造方法にも適
用される。この場合、厚手のベースフィルムの両面に蒸
着後、打ち抜きに工ってフレキ７プルデイスクが作られ
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明の磁気記録媒体の製造方法に
よれば、２個の円筒状回転キャンに溢わせて移送した非
磁性基材のペースクイｌレムの両面に同時に１個の蒸発
源から蒸着を行なっておム１個の蒸発源の蒸着金属の液
面高さや蒸着レートを管理するだけでよく工程が簡略化
される。

また、従来仕切ｐ板に付着していて無駄になっていた強
磁性拐料をベースフィルムの裏面側に蒸着することがで
き、強磁性材料の使用効率が向上するようになる。

また、言うまでもなく両面蒸着を行なうことにニジ磁気
記録媒体の蒸着テープ等のカールが防止され、ステイフ
ネスを強くすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録媒体の製造方法に用いられる
連続巻取式蒸着装置の概略構成図でらる。 １・Φ？チャンバー ２・・ｅベースフィルム ３・・・巻出し側ロール ４．７・・・円筒状回転キャン ５．６・・・回転式ローラ ８・・・巻取シ側ロール ９・・・蒸発源 １０．１１０〇・シャッタ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 真空雰囲気内で、非磁性基材を２個の円筒状回転キヤン
   に沿わせて移送し、強磁性材料を蒸発する１個の蒸発源
   から上記非磁性基材に蒸着を行ない上記非磁性基材の両
   面に同時に強磁性薄膜を形成することを特徴とする磁気
   記録媒体の製造方法。