JPS6151102A - カラ−フイルタアレイ - Google Patents
カラ−フイルタアレイInfo
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- JPS6151102A JPS6151102A JP59172910A JP17291084A JPS6151102A JP S6151102 A JPS6151102 A JP S6151102A JP 59172910 A JP59172910 A JP 59172910A JP 17291084 A JP17291084 A JP 17291084A JP S6151102 A JPS6151102 A JP S6151102A
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- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
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Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
甲 産業上の利用分野
本発明はカラー固体撮像素子に装着されるＣＦＡ（カラ
ーフィルターアレイ）に関するものである口 半導体慎成の固体撮像素子において単板カラービデオカ
メラ？作る場合、固体撮像素子表面にＣＦＡ（（形成す
る事に依って１枚の固体撮像素子からＲ（赤ＪＧ（緑Ｊ
Ｂ（胃Ｊの３原色の色信号を樟出する事ができ、この種
ＣＦＡの構成技術に固体撮瞭の分野で重要視されている
。
ーフィルターアレイ）に関するものである口 半導体慎成の固体撮像素子において単板カラービデオカ
メラ？作る場合、固体撮像素子表面にＣＦＡ（（形成す
る事に依って１枚の固体撮像素子からＲ（赤ＪＧ（緑Ｊ
Ｂ（胃Ｊの３原色の色信号を樟出する事ができ、この種
ＣＦＡの構成技術に固体撮瞭の分野で重要視されている
。
（口ａ 従来の技術
この種カラーフィルターを材料面で分類すると有機材料
形と無機材料形とに分けられる。有機材料は一般に耐熱
性・耐薬品性が低いが、価格、量産性の面からは有利で
ある。無機材料即ち、ＭｇＦ２とかＺｎ３％ ５ＬＯ２
の様な非金属物質？多層に真空蒸着してなる多Ｊｂ干渉
嗅（以下タ゛イクロイック模と称丁Ｏ）の場合１９７２
年１月発行の「映像情報」の記事「ストライプフィルタ
ーについて」に示されているように光量の透過率は格段
に良く、色分蝶性も良いが、製造工程の煩雑さに起因す
るコスト高を招くという欠点があった。
形と無機材料形とに分けられる。有機材料は一般に耐熱
性・耐薬品性が低いが、価格、量産性の面からは有利で
ある。無機材料即ち、ＭｇＦ２とかＺｎ３％ ５ＬＯ２
の様な非金属物質？多層に真空蒸着してなる多Ｊｂ干渉
嗅（以下タ゛イクロイック模と称丁Ｏ）の場合１９７２
年１月発行の「映像情報」の記事「ストライプフィルタ
ーについて」に示されているように光量の透過率は格段
に良く、色分蝶性も良いが、製造工程の煩雑さに起因す
るコスト高を招くという欠点があった。
％／１ 発明が解決しようとする問題点本発明は上述の
点に鑑みてなされ友ものであり、ダイクロイック膜の欠
点であるコスト高？抑制しながら、耐熱性、耐薬品性の
良い無機材料構成のＣＦＡ’ｊｉ！ｉｑ現するものであ
る。
点に鑑みてなされ友ものであり、ダイクロイック膜の欠
点であるコスト高？抑制しながら、耐熱性、耐薬品性の
良い無機材料構成のＣＦＡ’ｊｉ！ｉｑ現するものであ
る。
（−問題点ｆ ｊ％央する為の手段
不発明のカラーフィルタアレイは固体撮像素子基板上に
、染色されたγアルミナ層を選択的に配置すると共に、
該γアルミナ層とは異なる色透過特性上１するダイクロ
イック膜全選択的に配置してなり、少すくとも上記γア
ルミナ層とダイクロイック膜との組合せ配置に依り三原
色又はその他色関係の色への分離が可能なカラーフィル
タ１＆：構成し友ものであ４る。
、染色されたγアルミナ層を選択的に配置すると共に、
該γアルミナ層とは異なる色透過特性上１するダイクロ
イック膜全選択的に配置してなり、少すくとも上記γア
ルミナ層とダイクロイック膜との組合せ配置に依り三原
色又はその他色関係の色への分離が可能なカラーフィル
タ１＆：構成し友ものであ４る。
中作 用
本発明のカラーフィルタアレイに依れば、γアルミナ層
とダイクロイック膜とのいずれもが無機材料５を底であ
るので、耐熱性、耐薬品性に秀れ、またダイクロイック
膜のみの構成に比べてγアルミナ層の併用に依り、ダイ
クロイック膜の製造コストが割安になる。
とダイクロイック膜とのいずれもが無機材料５を底であ
るので、耐熱性、耐薬品性に秀れ、またダイクロイック
膜のみの構成に比べてγアルミナ層の併用に依り、ダイ
クロイック膜の製造コストが割安になる。
Ｎ実施例
本発明のカラーフィルタアレイの一実施例を製造工程を
示す囚１ａｌ〜（ｎｌに基づいて詳述丁ゐっまず同図１
ａｌ （ｂｌに示す如く、固体撮像素子を形成しｔシリ
コンウェハー上ＶＣ１１厚５０００Ａのアルミニウム層
（２１ヲ真空蒸着法にて形成しｔ後、同図１ｏＩＬｄｌ
に示す如く、ＵＶ露光にて現像し、所望のレジスト（３
しくターンを得るっ次にウェハ−１１１全体全希硫酸中
１ｃ浸／ｌしてレジスト（３１パターンから露出しｔア
ルミニウム層（２）全陽極酸化してとアルミナ層（２１
′パターンを形成する。このγアルミナ層（２）ハ多孔
質体である為に染色可能な状態となっている。従って、
同図（ｆｌ（ｇｌに示す如く、レジスト（３１パターン
から露出しｔｒγアルミナ層２）パターンに対してイエ
ロー染料で染色し、さらに熱蒸気に依って染色されｔγ
アルミナ層（２１パターンの孔をふさぎ、その後レジス
ト＋３１パターンを除去する０続いて同図１ｈ１１１１
ｔｊｌに示す如く再度レジスト＋４１’に塗布して上記
γアルミナ層（２１パター″ン以外のアルミニウム層１
２１箇所を露出すべく所望のパターンを形成し、露出し
次不要のアルミニウム／Ｗ１２１ｔ”エツチング除去す
る。
示す囚１ａｌ〜（ｎｌに基づいて詳述丁ゐっまず同図１
ａｌ （ｂｌに示す如く、固体撮像素子を形成しｔシリ
コンウェハー上ＶＣ１１厚５０００Ａのアルミニウム層
（２１ヲ真空蒸着法にて形成しｔ後、同図１ｏＩＬｄｌ
に示す如く、ＵＶ露光にて現像し、所望のレジスト（３
しくターンを得るっ次にウェハ−１１１全体全希硫酸中
１ｃ浸／ｌしてレジスト（３１パターンから露出しｔア
ルミニウム層（２）全陽極酸化してとアルミナ層（２１
′パターンを形成する。このγアルミナ層（２）ハ多孔
質体である為に染色可能な状態となっている。従って、
同図（ｆｌ（ｇｌに示す如く、レジスト（３１パターン
から露出しｔｒγアルミナ層２）パターンに対してイエ
ロー染料で染色し、さらに熱蒸気に依って染色されｔγ
アルミナ層（２１パターンの孔をふさぎ、その後レジス
ト＋３１パターンを除去する０続いて同図１ｈ１１１１
ｔｊｌに示す如く再度レジスト＋４１’に塗布して上記
γアルミナ層（２１パター″ン以外のアルミニウム層１
２１箇所を露出すべく所望のパターンを形成し、露出し
次不要のアルミニウム／Ｗ１２１ｔ”エツチング除去す
る。
斯してγアルミナ層＋２１パターンが残存しｔシリコン
ウェハー山上に、同図１ｋｌ（１１に示す如く、リフト
オフ用のレジスト膜１５）全被着形成し、さらに所望の
レジストＢ１５１パターン？得る。この時、レジスト嗅
ｔ５１パターンからはすでにイエロー染色されたγアル
ミナ伽表層（２；の一部とウェハーＩｌ＋の一部が露出
される。次に同１１（ｆｆ＋１に示す如く、この状態の
シリコンウェハ−１１１全体にシアンのフィルタ特性を
有するダイクロイラクＢ（６）を被着形成する、このダ
イクロイック膜（６）は具体的にはＴｉＯ２と５１０２
と全交互ｒＥＢ蒸着する事に依って、形成されるのであ
る。そして最後に同図給）に示す如く、レジストａ１５
１と共に不要のダイクロイックＰＸ（６１’ｒリフトオ
フ除去する事に依って、γアルミナ層１２１のみの領域
ＩＹＩと、ｒアルξす層１２ンとダイク“イック模（６
２との積ＷＩ領域ｉＧ）と、ダイクロイック膜（６）の
みの領域ＩＣＩとが分離形成される。
ウェハー山上に、同図１ｋｌ（１１に示す如く、リフト
オフ用のレジスト膜１５）全被着形成し、さらに所望の
レジストＢ１５１パターン？得る。この時、レジスト嗅
ｔ５１パターンからはすでにイエロー染色されたγアル
ミナ伽表層（２；の一部とウェハーＩｌ＋の一部が露出
される。次に同１１（ｆｆ＋１に示す如く、この状態の
シリコンウェハ−１１１全体にシアンのフィルタ特性を
有するダイクロイラクＢ（６）を被着形成する、このダ
イクロイック膜（６）は具体的にはＴｉＯ２と５１０２
と全交互ｒＥＢ蒸着する事に依って、形成されるのであ
る。そして最後に同図給）に示す如く、レジストａ１５
１と共に不要のダイクロイックＰＸ（６１’ｒリフトオ
フ除去する事に依って、γアルミナ層１２１のみの領域
ＩＹＩと、ｒアルξす層１２ンとダイク“イック模（６
２との積ＷＩ領域ｉＧ）と、ダイクロイック膜（６）の
みの領域ＩＣＩとが分離形成される。
よよ。、。＜、１ｍＧｙｈｂヵに、イア２アツイは、イ
エロー染色されたγアルミナ層（２１領域ＩＹＩがイエ
ローフィルタとして働き、シアンのフィルタ特性を有す
るダイクロイックＢ（６）領域１ｃＩがシアンフィルタ
として働き、さらにこれ等γアルミナ層（２；とダイク
ロイック膜１６１との積層領域（ＧＩはイエローとシア
ンとの混色であるグリーンフィルタとして働くのである
。
エロー染色されたγアルミナ層（２１領域ＩＹＩがイエ
ローフィルタとして働き、シアンのフィルタ特性を有す
るダイクロイックＢ（６）領域１ｃＩがシアンフィルタ
として働き、さらにこれ等γアルミナ層（２；とダイク
ロイック膜１６１との積層領域（ＧＩはイエローとシア
ンとの混色であるグリーンフィルタとして働くのである
。
上述の実施例に於いては、ダイクロイック膜を採用する
と、多数の薄層形成を必要とするイエローフィルタを゛
ｒγアルミナ層２１にて受けもち、染料では充分な光透
過特性のを得にくいシアンをタ°イクロイック膜（６）
にて分担する構成であるが、本発明はこの色分担に限ら
れるものではない。
と、多数の薄層形成を必要とするイエローフィルタを゛
ｒγアルミナ層２１にて受けもち、染料では充分な光透
過特性のを得にくいシアンをタ°イクロイック膜（６）
にて分担する構成であるが、本発明はこの色分担に限ら
れるものではない。
（ト１ 発明の効果
本発明のカラーフィルタアレイは以上の説明から明らか
な如く、固体撮像素子基板上に、染色され几ｒアルミナ
層を選択的に配置丁ゐと共に、該γアルミナ層とは異な
る色透過特性ｔ−歇するダイクロイック膜を選択的に配
置してなり、／少なくとも上記γアルミナ層とダイクロ
イック膜との組合せ配置に依）三原色への色分離が可能
なカラーフィルタを構成し友ものであるので、耐熱性・
耐薬品性に劣る有機材料を使用する事なく、光透過率の
格段に秀れた無機材料のみに依ってカラーフィルタを実
現できる。しかも製造工程の煩雑なダイクロイック膜の
使用を制限して補助的に染色されｔｒアルミナ層を使用
しているので、ダイクロイック膜のみからなるカラーフ
ィルタアレイに比べて製産コストの大巾な低減力５図れ
ると共に、ダイクロイック膜とｒアルミナ層とに夫々の
フィルタ特性の秀れた色を分担せしめる事に依って、カ
ラーフィルタアレイの色分離特性の向上が望める。
な如く、固体撮像素子基板上に、染色され几ｒアルミナ
層を選択的に配置丁ゐと共に、該γアルミナ層とは異な
る色透過特性ｔ−歇するダイクロイック膜を選択的に配
置してなり、／少なくとも上記γアルミナ層とダイクロ
イック膜との組合せ配置に依）三原色への色分離が可能
なカラーフィルタを構成し友ものであるので、耐熱性・
耐薬品性に劣る有機材料を使用する事なく、光透過率の
格段に秀れた無機材料のみに依ってカラーフィルタを実
現できる。しかも製造工程の煩雑なダイクロイック膜の
使用を制限して補助的に染色されｔｒアルミナ層を使用
しているので、ダイクロイック膜のみからなるカラーフ
ィルタアレイに比べて製産コストの大巾な低減力５図れ
ると共に、ダイクロイック膜とｒアルミナ層とに夫々の
フィルタ特性の秀れた色を分担せしめる事に依って、カ
ラーフィルタアレイの色分離特性の向上が望める。
図［ａｌ〜ｉｎ＋は本発明のカラーフィルタアレイの−
実施を示す為の装造工程図であり、１１１はシリコンウ
ェハー、（２１はｒアルミナ層、（３＋１４１１５１は
レジスト膜、（６）はグイクロイック膜を夫々示してい
る。
実施を示す為の装造工程図であり、１１１はシリコンウ
ェハー、（２１はｒアルミナ層、（３＋１４１１５１は
レジスト膜、（６）はグイクロイック膜を夫々示してい
る。
Claims (1)
- 固体撮像素子基板上に、染色されたγアルミナ層を選
択的に配置すると共に、該γアルミナ層とは異なる色透
過特性を呈するダイクロイック膜を選択的に配置してな
り、少なくとも上記γアルミナ層とダイクロイック膜と
の組合せ配置に依り三原色又はその補色関係の色への分
離が可能なカラーフィルタを構成した事を特徴としたカ
ラーフィルタアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59172910A JPS6151102A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | カラ−フイルタアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59172910A JPS6151102A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | カラ−フイルタアレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6151102A true JPS6151102A (ja) | 1986-03-13 |
Family
ID=15950609
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59172910A Pending JPS6151102A (ja) | 1984-08-20 | 1984-08-20 | カラ−フイルタアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6151102A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4776671A (en) * | 1985-11-28 | 1988-10-11 | Nissha Printing Co., Ltd. | High property, high precision color filter and method for manufacturing the same |
| JP2001213700A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-08-07 | Canon Inc | ナノ構造体及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-08-20 JP JP59172910A patent/JPS6151102A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4776671A (en) * | 1985-11-28 | 1988-10-11 | Nissha Printing Co., Ltd. | High property, high precision color filter and method for manufacturing the same |
| JP2001213700A (ja) * | 2000-01-27 | 2001-08-07 | Canon Inc | ナノ構造体及びその製造方法 |
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