JPS6161835U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6161835U JPS6161835U JP14682584U JP14682584U JPS6161835U JP S6161835 U JPS6161835 U JP S6161835U JP 14682584 U JP14682584 U JP 14682584U JP 14682584 U JP14682584 U JP 14682584U JP S6161835 U JPS6161835 U JP S6161835U
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- JP
- Japan
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- test
- heads
- electrical signals
- section
- test head
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図と第２図はこの考案の一実施例に係り、
第１図は装置の動作を示すブロツク図、第２図は
装置の要部を示し、図ａは試験ヘツドと半導体素
子との相関を示す上面図、図ｂは図ａの側面図、
図ｃは図ａの一部を示す上面図、図ｄは図ａ，ｂ
の試験ヘツド部を示す斜視図、第３図は従来の装
置の動作を示すブロツク図、第４図は従来の装置
の試験ヘツドを示し、図ａは上面図、図ｂは図ａ
の側面図である。 １……コントローラ、２……駆動部、３……演
算部、１１，１２…１５……電気信号、２５……
半導体ウエハ支持台、２１，２２……ベルト、２
３，２４……アーム、４１，４２……試験ヘツド
、１０３……半導体ウエハ、１０４ａ，１０４ｂ
……半導体素子。
第１図は装置の動作を示すブロツク図、第２図は
装置の要部を示し、図ａは試験ヘツドと半導体素
子との相関を示す上面図、図ｂは図ａの側面図、
図ｃは図ａの一部を示す上面図、図ｄは図ａ，ｂ
の試験ヘツド部を示す斜視図、第３図は従来の装
置の動作を示すブロツク図、第４図は従来の装置
の試験ヘツドを示し、図ａは上面図、図ｂは図ａ
の側面図である。 １……コントローラ、２……駆動部、３……演
算部、１１，１２…１５……電気信号、２５……
半導体ウエハ支持台、２１，２２……ベルト、２
３，２４……アーム、４１，４２……試験ヘツド
、１０３……半導体ウエハ、１０４ａ，１０４ｂ
……半導体素子。
Claims (1)
- 半導体素子の電極の配置に対応する接触針を有
する試験ヘツドの複数個に対し順次電気信号の交
換を行なう測定部と、夫々が自在に変位できる前
記複数の試験ヘツドを有しこれらを順次検査未了
の半導体素子上に移行配置させるとともにその１
つずつに試験ヘツドを介して順次電気信号を供給
する駆動部と、前記測定部の発する電気信号によ
り半導体素子の電気特性の良否を判定させる演算
部と、前記測定部、駆動部および演算部の夫々に
電気的に接続し駆動部に試験ヘツドの移行を指令
し測定と演算を進めさせるコントローラとを備え
た半導体素子の試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14682584U JPS6161835U (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14682584U JPS6161835U (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6161835U true JPS6161835U (ja) | 1986-04-25 |
Family
ID=30705062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14682584U Pending JPS6161835U (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6161835U (ja) |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP14682584U patent/JPS6161835U/ja active Pending