JPH0467337U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0467337U JPH0467337U JP11001690U JP11001690U JPH0467337U JP H0467337 U JPH0467337 U JP H0467337U JP 11001690 U JP11001690 U JP 11001690U JP 11001690 U JP11001690 U JP 11001690U JP H0467337 U JPH0467337 U JP H0467337U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulator
- semiconductor wafer
- under test
- probe card
- wafer under
- Prior art date
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- Pending
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- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図、第２図はこの考案の一実施例であるプ
ローブカードの動作状態を示す部分拡大断面図及
び平面図、第３図、第４図は従来のプローブカー
ドの動作状態を示す平面図及び部分拡大断面図で
ある。 図において、１は被試験半導体ウエーハ、２は
被試験半導体ウエーハ１の上にある電極パツド、
３は絶縁物、４は接触針部、５はガイド部、６は
金属板、７はリード線を示す。なお、図中、同一
符号は同一、または相当部分を示す。
ローブカードの動作状態を示す部分拡大断面図及
び平面図、第３図、第４図は従来のプローブカー
ドの動作状態を示す平面図及び部分拡大断面図で
ある。 図において、１は被試験半導体ウエーハ、２は
被試験半導体ウエーハ１の上にある電極パツド、
３は絶縁物、４は接触針部、５はガイド部、６は
金属板、７はリード線を示す。なお、図中、同一
符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- 被試験半導体ウエーハ上のパツドにプローブ針
を接触して、電気的特性（以下信号と称する）を
試験するプローブカードにおいて、前記被試験半
導体ウエーハに平行な絶縁物と、この絶縁物に垂
直でかつ可動する接触針部と、前記接触針部から
得た信号をリード線につなぐようにしたことを特
徴とするプローブカード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11001690U JPH0467337U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11001690U JPH0467337U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0467337U true JPH0467337U (ja) | 1992-06-15 |
Family
ID=31857294
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11001690U Pending JPH0467337U (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0467337U (ja) |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP11001690U patent/JPH0467337U/ja active Pending
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