JPS61732A - 流体圧センサ - Google Patents
流体圧センサInfo
- Publication number
- JPS61732A JPS61732A JP59122394A JP12239484A JPS61732A JP S61732 A JPS61732 A JP S61732A JP 59122394 A JP59122394 A JP 59122394A JP 12239484 A JP12239484 A JP 12239484A JP S61732 A JPS61732 A JP S61732A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- hole
- plate
- container
- orifice plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/16—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in the magnetic properties of material resulting from the application of stress
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、油圧、水圧等の流体圧を検出する流体圧セン
サに関するものである。
サに関するものである。
従来例の構成とその問題点
第１図は従来の油圧センサを示している。第１図におい
て、１は流体の導入孔２が形成された蓋体、３は蓋体１
の下部の凹部に配置されたチタン（Ｔｉ ）からなるプ
レートであり、このプレート３には複数個の孔４が同一
円周上に形成されている。
て、１は流体の導入孔２が形成された蓋体、３は蓋体１
の下部の凹部に配置されたチタン（Ｔｉ ）からなるプ
レートであり、このプレート３には複数個の孔４が同一
円周上に形成されている。
５はポット容器であり、このポット容器５の内底部には
孔６が形成された底板７が配置されている。
孔６が形成された底板７が配置されている。
８は円柱状フェライト等の磁性体であシ、この磁性体８
の上端面側には環状の溝９が形成され、この溝９内にコ
イル１０が収納されている。上記蓋体１の下部は、上記
蓋体１の下部は上記ポット容器５の上部内周面に螺合さ
れている。１８はプレート３の外周部に配置されたシー
ル用の０リングである。上記磁性体８と上記プレート３
との間には、チタン（Ｔｉ）からなるスペーサ１１とア
モルファス磁性合金からなるダイヤフラム１２が、スペ
ーサ】１が磁性体８側となるように挾持されている。第
２図はスペーサ１１を示しており、このスペーサ１】に
は円弧状の孔１３が形成されている。上記ダイヤフラム
１２は例えば、（Ｆｅ、、 Ｃｒ５）−８ｉ−Ｂ組成の
アモルファス磁性合金が使用される。１４は上記ポット
容器５にネジ（図示せず）によシ取付けられた筒体であ
り、この筒体１４内に検出回路が構成された基板１５が
固定されている。上記コイル１０の端部は、磁性体８に
形成された孔１６．底板７の孔６を介して導出され、基
板１５上の検出回路に接続される。１７は一端が検出回
路に接続されたリード線である。
の上端面側には環状の溝９が形成され、この溝９内にコ
イル１０が収納されている。上記蓋体１の下部は、上記
蓋体１の下部は上記ポット容器５の上部内周面に螺合さ
れている。１８はプレート３の外周部に配置されたシー
ル用の０リングである。上記磁性体８と上記プレート３
との間には、チタン（Ｔｉ）からなるスペーサ１１とア
モルファス磁性合金からなるダイヤフラム１２が、スペ
ーサ】１が磁性体８側となるように挾持されている。第
２図はスペーサ１１を示しており、このスペーサ１】に
は円弧状の孔１３が形成されている。上記ダイヤフラム
１２は例えば、（Ｆｅ、、 Ｃｒ５）−８ｉ−Ｂ組成の
アモルファス磁性合金が使用される。１４は上記ポット
容器５にネジ（図示せず）によシ取付けられた筒体であ
り、この筒体１４内に検出回路が構成された基板１５が
固定されている。上記コイル１０の端部は、磁性体８に
形成された孔１６．底板７の孔６を介して導出され、基
板１５上の検出回路に接続される。１７は一端が検出回
路に接続されたリード線である。
次に、上記従来例の動作について説明する。第１図にお
いて、導入孔２より油が導入されると、油はプレート３
の孔４内に入り、孔４の一端を閉塞しているダイヤフラ
ム１２に油圧が加わる。ダイヤフラム１２に油圧が加わ
ると、第３図に示すように、磁性体８の溝９方向に変形
する。ダイヤフラム１２が変形すると、アモルファス磁
性合金からなるダイヤフラム１２に内部応力が発生し、
その結果、応力−磁気効果によシ透磁率が減少し、磁気
回路のインダクタンスが減少する。このインダクタンス
の減少を検出回路で検出し、電流値（電圧値）に変換し
、リード線１７よシ出力する。
いて、導入孔２より油が導入されると、油はプレート３
の孔４内に入り、孔４の一端を閉塞しているダイヤフラ
ム１２に油圧が加わる。ダイヤフラム１２に油圧が加わ
ると、第３図に示すように、磁性体８の溝９方向に変形
する。ダイヤフラム１２が変形すると、アモルファス磁
性合金からなるダイヤフラム１２に内部応力が発生し、
その結果、応力−磁気効果によシ透磁率が減少し、磁気
回路のインダクタンスが減少する。このインダクタンス
の減少を検出回路で検出し、電流値（電圧値）に変換し
、リード線１７よシ出力する。
しかしながら、上記従来の油圧センサは蓋体１をポット
容器５に螺合する構造であるだめ、シールのために挿入
されている０リング１８が、ダイヤフラム１２に対し円
周方向のストレスを与えることに゛なシ、このために特
に、低圧での特性のバラツキが犬きくなる欠点があった
。
容器５に螺合する構造であるだめ、シールのために挿入
されている０リング１８が、ダイヤフラム１２に対し円
周方向のストレスを与えることに゛なシ、このために特
に、低圧での特性のバラツキが犬きくなる欠点があった
。
発明の目的
本発明は、上記従来の欠点を除去するものであり、ダイ
ヤフラムに対し円周方向のストレスを与えることがなく
、特性のバラツキが少ない流体圧センサを提供するもの
である。
ヤフラムに対し円周方向のストレスを与えることがなく
、特性のバラツキが少ない流体圧センサを提供するもの
である。
発明の構成
本発明は、上記目的を達成するためにオリフィスプレー
ト、ダイヤフラム、スペーサ、磁性体を筐体内に収納す
るとともに、筐体開口部の段部にプレートを収納し、筐
体開口部を折り曲げることにより、センサ部を構成する
ことを特徴とするものである。
ト、ダイヤフラム、スペーサ、磁性体を筐体内に収納す
るとともに、筐体開口部の段部にプレートを収納し、筐
体開口部を折り曲げることにより、センサ部を構成する
ことを特徴とするものである。
実施例の説明
以下に本発明の一実施例について、第４図とともに説明
する。第、４図において、２０は液体の導入孔２１およ
び凹部２２が形成された鉄製の筐体であシ、この筐体２
０の上部の筒部にはネジ部２３が形成されている。また
、筐体２０の下端開口部の内部には段部４６が形成され
て（八る。２４はオリフィスプレートで１、このオリフ
ィスプレート２４の上面にけ凹部２５が形成され、また
側面には環状の溝２６が形成され、さらに下面には環状
の溝２７が形成され、溝２６．２７にはそれぞれ０リン
グ２８．２９が収納されている。Ｏリング２８は例えば
エチレンプロピレンゴムからなり、またＯリング２９は
スチロールゴムからなる。３０はオリフィスプレート２
４の凹部２５の底面に形成された貫通孔であり、複数の
貫通孔３０が同一円周上に形成されている。３１はオリ
フィスグレート２４の下面側に配置されたダイヤフラム
であムこのダイヤフラム３１は、前記゛従来例と同様に
例えば、（、Ｆｅｇ、Ｃｒ５） ８ｉ−Ｂ組成のアモ
ルファス磁性合金が使用される。なお、ダイヤフラム３
１は複数枚重ねて使用してもよ−い。
する。第、４図において、２０は液体の導入孔２１およ
び凹部２２が形成された鉄製の筐体であシ、この筐体２
０の上部の筒部にはネジ部２３が形成されている。また
、筐体２０の下端開口部の内部には段部４６が形成され
て（八る。２４はオリフィスプレートで１、このオリフ
ィスプレート２４の上面にけ凹部２５が形成され、また
側面には環状の溝２６が形成され、さらに下面には環状
の溝２７が形成され、溝２６．２７にはそれぞれ０リン
グ２８．２９が収納されている。Ｏリング２８は例えば
エチレンプロピレンゴムからなり、またＯリング２９は
スチロールゴムからなる。３０はオリフィスプレート２
４の凹部２５の底面に形成された貫通孔であり、複数の
貫通孔３０が同一円周上に形成されている。３１はオリ
フィスグレート２４の下面側に配置されたダイヤフラム
であムこのダイヤフラム３１は、前記゛従来例と同様に
例えば、（、Ｆｅｇ、Ｃｒ５） ８ｉ−Ｂ組成のアモ
ルファス磁性合金が使用される。なお、ダイヤフラム３
１は複数枚重ねて使用してもよ−い。
３２はダイヤフラム３１の下面側に配置されたチタン（
、Ｔ、：）からなるスペーサでラシ、とのスペーサ３２
には従来例と同様の円弧状の孔３３が形成されている。
、Ｔ、：）からなるスペーサでラシ、とのスペーサ３２
には従来例と同様の円弧状の孔３３が形成されている。
３４は円柱状フェライト等の磁性体であり、この磁性体
３４の上面側には環状の溝３５が形成されている。３６
は磁性体３４の溝３５内に収納されたコイルである。３
７は磁性体３４の溝３５と連通ずる孔であシ、コイル３
６の端部は孔−３７を介して導出される。３８は孔３９
が形成されたプレートであり、このプレート３８は筐体
２０内の段部４６に収納される。
３４の上面側には環状の溝３５が形成されている。３６
は磁性体３４の溝３５内に収納されたコイルである。３
７は磁性体３４の溝３５と連通ずる孔であシ、コイル３
６の端部は孔−３７を介して導出される。３８は孔３９
が形成されたプレートであり、このプレート３８は筐体
２０内の段部４６に収納される。
上記のように、筐体２０内にオリフィスプレート２４．
ダイヤフラム３１．スペーサ３２．磁性体３４を順次挿
入し、さらにプレート３８を筐体２０の段部４６に収納
し、筐体２０の下端開口部の肉薄部４０を内側に折゛曲
げることにより、センサ部が構成される。４１は検出回
路が構成される基板であり、この基板４１は鉄製のケー
ス４２内の突出部４３と、ケース４２内に挿入された筒
体４４とＫより挾持されて、ケース４２内に保持される
。上記ケース４２は筐体２０の下部に溶接により固定さ
れる。４５は一端が基板４１上の検出回路に接続された
リード線である。
ダイヤフラム３１．スペーサ３２．磁性体３４を順次挿
入し、さらにプレート３８を筐体２０の段部４６に収納
し、筐体２０の下端開口部の肉薄部４０を内側に折゛曲
げることにより、センサ部が構成される。４１は検出回
路が構成される基板であり、この基板４１は鉄製のケー
ス４２内の突出部４３と、ケース４２内に挿入された筒
体４４とＫより挾持されて、ケース４２内に保持される
。上記ケース４２は筐体２０の下部に溶接により固定さ
れる。４５は一端が基板４１上の検出回路に接続された
リード線である。
第４図において、筐体２０の導入孔２１を介して流入し
た油は、オリフィスプレート２４０貫通孔３０内に入シ
、この貫通孔３０の一端を閉塞しているダイヤフラム３
１に油圧が加わり、ダイヤフラム３１に内部応力が発生
し、応力−磁気効果によシ透磁率が減少し、磁気回路の
インダクタンスが減少する。このインダクタンスの減少
が基板４１上の検出回路で検出され、油圧に応じた電気
信号がリード線４５を介して出力される。
た油は、オリフィスプレート２４０貫通孔３０内に入シ
、この貫通孔３０の一端を閉塞しているダイヤフラム３
１に油圧が加わり、ダイヤフラム３１に内部応力が発生
し、応力−磁気効果によシ透磁率が減少し、磁気回路の
インダクタンスが減少する。このインダクタンスの減少
が基板４１上の検出回路で検出され、油圧に応じた電気
信号がリード線４５を介して出力される。
第５図Ａは、油圧がＯの場合のオリフィスプレート２４
とＯリング２８．２９の関係を示している。また第５図
Ｂは、油圧が大きい場合のオリフィスプレート２４とＯ
リング２８．２９の関係を示している。上記０リング２
８．２９の最大外径をそれぞれＡ、Ｂ（Ｂ＞Ａ）とする
と、−ｘ （油圧）×π（Ｂ２ ｈ、２＞なる圧力が
、オリフィスプレート２４に加わる。
とＯリング２８．２９の関係を示している。また第５図
Ｂは、油圧が大きい場合のオリフィスプレート２４とＯ
リング２８．２９の関係を示している。上記０リング２
８．２９の最大外径をそれぞれＡ、Ｂ（Ｂ＞Ａ）とする
と、−ｘ （油圧）×π（Ｂ２ ｈ、２＞なる圧力が
、オリフィスプレート２４に加わる。
そして、油圧Ｏでは第５図Ａに示すように０リング２９
がフリーの状態になシ、油圧大では第５図Ｂに示すよう
に最適つぶし代の状態になシ、０リング径の２０〜３０
％が、フェライト３４等の厚さのバラツキを吸収する。
がフリーの状態になシ、油圧大では第５図Ｂに示すよう
に最適つぶし代の状態になシ、０リング径の２０〜３０
％が、フェライト３４等の厚さのバラツキを吸収する。
また、本実施例によれば磁性体３４．オリフィスプレー
ト２４等の熱膨張係数の差によって、ダイヤフラムにか
かる圧力の温度特性も小さくなる。
ト２４等の熱膨張係数の差によって、ダイヤフラムにか
かる圧力の温度特性も小さくなる。
このように、本実施例によれば従来例と異なシ、筐体２
０の肉薄部４０をかしめてセンサ部を構成するため、ダ
イヤフラム３１には厚み方向にのみ荷重がかかり、従来
例のようにダイヤフラム３１に円周方向のストレスを与
えることがなく、特性のバラツキが小さくなる利点があ
る。また、本実施例によれば、前記のように磁性体３４
等の厚さのバラツキを吸収できるとともに、磁性体３４
゜オリフィスプレート２４等の熱膨張係数の差によって
、ダイヤフラム３１にかかる圧力の温度特性を小さくす
ることができる。また、本実施例によればプレート３８
を用い、このプレート３８で磁性体３４の端面全面を受
ける構造であるため、部分的に荷重が加わって磁性体３
４が割れることが防止できる。
０の肉薄部４０をかしめてセンサ部を構成するため、ダ
イヤフラム３１には厚み方向にのみ荷重がかかり、従来
例のようにダイヤフラム３１に円周方向のストレスを与
えることがなく、特性のバラツキが小さくなる利点があ
る。また、本実施例によれば、前記のように磁性体３４
等の厚さのバラツキを吸収できるとともに、磁性体３４
゜オリフィスプレート２４等の熱膨張係数の差によって
、ダイヤフラム３１にかかる圧力の温度特性を小さくす
ることができる。また、本実施例によればプレート３８
を用い、このプレート３８で磁性体３４の端面全面を受
ける構造であるため、部分的に荷重が加わって磁性体３
４が割れることが防止できる。
発明の効果
本発明によれば、以下の効果が得られる。
（ａ） ダイヤフラムに円周方向のストレスが与えら
れないため、特性のバラツキが小さくなる。
れないため、特性のバラツキが小さくなる。
（ｂ）０リングを使用し、オリフィスプレートが多少可
動可能な構造であるため、筐体内に収納される部分の厚
みのバラツキ、筐体内の部品の熱膨張係数の差によるス
トレスを吸収できる。
動可能な構造であるため、筐体内に収納される部分の厚
みのバラツキ、筐体内の部品の熱膨張係数の差によるス
トレスを吸収できる。
（Ｃ）２つのＯリングを使用しているため、高圧に対し
てもシール性を確保できる。
てもシール性を確保できる。
（ｄ） オリフィスプレート、磁性体等の部品を筐体
内に挿入した後、筐体の開口端部をかしめてセンサ部が
構成されるた込、容易に製造できる。
内に挿入した後、筐体の開口端部をかしめてセンサ部が
構成されるた込、容易に製造できる。
第１図は従来の油圧センサの断面図、第２図は同油圧セ
ッサのスペーサの平面図、第３図は同油佐センサの動作
説明図、第４図は本発明の一実施例における流体圧セン
サの断ｍ１図、第５図Ａ、Ｂは同流体圧センサの動作説
明図である。 ２０・筐体、２１・導入孔、２２・・・凹部、２３・・
ネジ部、２４・オリフィスプレート、２５・・凹部、２
６．２７・・・溝、２８．２９・・Ｏリング、３０・貫
通孔、３１・・ダイヤフラム、３２・・スペーサ、３３
・・・孔、３４・・磁性体、３５・溝、３６・コイル、
３７・孔、３８・・・プレート、３９・孔、４０・肉薄
部、４１・・・基板、４２ ・ケース、４３・・突出部
、４４−・・筒体、４５・・・リード線、４６・・段部
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 −′ 第３図 シ由 圧 第４図 第５図 ３θ
ッサのスペーサの平面図、第３図は同油佐センサの動作
説明図、第４図は本発明の一実施例における流体圧セン
サの断ｍ１図、第５図Ａ、Ｂは同流体圧センサの動作説
明図である。 ２０・筐体、２１・導入孔、２２・・・凹部、２３・・
ネジ部、２４・オリフィスプレート、２５・・凹部、２
６．２７・・・溝、２８．２９・・Ｏリング、３０・貫
通孔、３１・・ダイヤフラム、３２・・スペーサ、３３
・・・孔、３４・・磁性体、３５・溝、３６・コイル、
３７・孔、３８・・・プレート、３９・孔、４０・肉薄
部、４１・・・基板、４２ ・ケース、４３・・突出部
、４４−・・筒体、４５・・・リード線、４６・・段部
。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 −′ 第３図 シ由 圧 第４図 第５図 ３θ
Claims (1)
- 一端に流体の導入孔が形成され、他端開口部に段部が形
成された筐体内に、側面および一端面に形成された溝内
にそれぞれＯリングが収納されるとともに流体が入る貫
通孔が形成されたオリフィスプレートと、アモルファス
磁性合金からなるダイヤフラムと、スペーサと、コイル
が収納された磁性体とを順次挿入し、上記段部にプレー
トを収納し、上記筐体の開口端を折り曲げてセンサ部を
構成してなる流体圧センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59122394A JPS61732A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 流体圧センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59122394A JPS61732A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 流体圧センサ |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61180341A Division JPS6290520A (ja) | 1986-07-31 | 1986-07-31 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61732A true JPS61732A (ja) | 1986-01-06 |
Family
ID=14834707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59122394A Pending JPS61732A (ja) | 1984-06-14 | 1984-06-14 | 流体圧センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61732A (ja) |
-
1984
- 1984-06-14 JP JP59122394A patent/JPS61732A/ja active Pending
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