JPS63160125A

JPS63160125A - 圧力センサ

Info

Publication number: JPS63160125A
Application number: JP30751286A
Authority: JP
Inventors: 備後　英之; 秀史次井; 岩切　憲雄
Original assignee: Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 1986-12-23
Filing date: 1986-12-23
Publication date: 1988-07-02

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（イ）発明の分野この発明は、ガス漏れその他の流体圧を検出する圧力セ
ンサに関する。

（ロ）発明の背景例えば、２０〜８０ミリ水柱の微厚で作動するように設
計されたガス漏れ検出用の圧力センサは通常は第７図に
示すように受圧室３１にダイヤフラム３２を配置し、ガ
ス圧の変化に対応するダイヤフラム３２の反転作動によ
りプランジャ３３を摺動させ、該プランジャ３３に連動
するスイッチ３４をオン・オフさせるようにしている。

この場合、上記受圧室３１を閉囲する受圧ケース３５は
ネジ３６等を用いて所要の機器に取付は固定し、受圧室
３１を受圧口３６を介しガス流路に連通させる。

しかるに、このような圧力センサは、スイッチ３４を収
めたケース３７と受圧ケース３５とが溶接された第７図
の状態に製作され、この製作完了段階ではすでにダイヤ
フラム３２およびスイッチ３４が一体にセンサ内部に組
込まれるため、次のような問題を生じていた。

即ち、ダイヤフラムの反転作動検査、スイッチのオン・
オフ作動検査が個々別々に行なえず、いずれか一方の作
動が不良である場合は、正常な他方側を含めた圧力セン
サ自体が不良品扱いどなるので、歩留りが悪化する。

（ハ）発明の目的この発明は、ダイヤフラムを含む受圧部とスイッチを含
むセンサ本体部とを別製作し、これらを組合せることに
よって上記問題点を解決する圧力センサの提供を目的と
する。

（ニ）発明の構成この発明は、所要機器との連結を行なう受圧ケースにダ
イヤフラムを保持した受圧部と、スイッチをスイッチケ
ースに収めたセンサ本体部とを別個に製作し、この受圧
部とをセンサ本体部とを相互嵌合によって組立てるよう
にした圧力廿ン４ノであることを特徴とする。

（ホ〉発明の作用この発明によれば、受圧部とセンサ本体部とが別々に製
作されるので、それらについてダイヤフラムの反転作動
検査、オン・オフ作動検査が個別的に行なえ、これらの
検査にパスしたちの同士を組合せて圧力センサを構成で
きる。

（へ）発明の効果従って、上記個別検査によって良品とされた受圧部とセ
ンサ本体部の組合せ故に、圧力センサ製作の歩留りが向
上する。

受圧部、センサ本体部の個別組立てにより、作動特性の
異なるものの組合せが簡単に行なえ、多種類の圧力セン
サを提供できる。

上記個別組立てにより組立て効率が良く、また、受圧部
とセンサ本体部とが相互嵌合により組合せることができ
るので、組立て工数を大幅に少なくできる。

ダイヤフラムおよびセンサ本体部は、所要機器へ連結す
る受圧フランジに取付けられるので、薄形構造にできる
。

（ト）発明の実施例以下、この発明の一実施例を図面に基づき説明する。

第１図乃至第３図はガス漏れ検出用の圧力センサを示し
、該圧力センサは第１図に示すように、所要機器との連
結を行なう受圧ケース１にダイヤフラム２を保持した受
圧部Ａと、スイッチ３をスイッチケース４に収めたセン
サ本体部［３とに別々に製作され、この受圧部Ａとセン
サ本体部Ｂとを相互嵌合によって組立てるようにしてい
る。

受圧部Ａの受圧ケース１には、該圧力センサを取付ける
所要機器側との連結を行なうために受圧フランジ５と、
該受圧フランジ５に置設された取付は穴６が設けられる
。そして、受圧フラノン５の内周部に金属ダイヤフラム
２が反転作動自由にセットされると共に、その上側、つ
まり機器側に保護キャップ７がレーザ、アーク、プラズ
マ溶接等で重合固定される。この保護キャップ７には該
キャップとダイヤフラム２どの間にガスを導入するため
の流通穴８が所要数貫設される。

上記受圧ケース１は受圧フランジ５側とは反対側にケー
ス筒部１ａを有し、そのケース筒部１ａの先端内角部に
係合用段部９が切欠形成される。

尚、受圧ケース１は金属部材から製作される。

センサ本体部Ｂのスイッチケース４は合成樹脂体から成
り、その上下方向中間位置に金属板である保持板１０が
インサートされている。

この保持板１０の外周はスイッチケース４より外方に突
出しており、センサ本体部Ｂを受圧ケース１０ケース筒
部１ａに挿嵌した際、第２図のように前記係合用段部９
が保持板１０の外端部に係合して、上記挿嵌状態が位置
決めされる。

スイッチケース４の内部には前記スイッチ３が装備され
る。このスイッチ３は図では可動接片１１と固定接片１
２とより成り、それぞれに端子１３．１４が接続され、
これら端子１３．１４がスイッチケース４外に突出され
る。この実施例では、スイッチケース４はスイッチベー
ス４ａと蓋体４ｂとから成り、端子１３．１４はスイッ
チベース４ａに圧入固定される。

さらに上記スイッチケース４の蓋体４ｂにはプランジャ
１５が摺動自由に貫装され、このプランジャ１５がバネ
部材で形成され、上方に付勢された可動接片１１の遊端
を押圧する。

なお、可動接片１１と固定接片１２のオン・オフ間隔は
ネジ１６にて調整できる。

このように別々に製作された受圧部Ａとセンサ本体部Ｂ
とはそれぞれについてダイヤフラム反転作動検査とオン
・オフ作動検査とが施こされ、これら検査にパスしたも
の同士を組合せて圧力センサを構成する。

即ち、受圧部Ａの受圧ケース１にセンサ本体部Ｂに挿嵌
して保持板１０に係合用段部９を係合させて位置決めし
、この係合部分をレーザ、アーク、プラズマ溶接などで
溶接し、両部Ａ、Ｂを一体化する。

この一体化状態ではプランジャ１５の頂部１５ａが前記
可動接片１１の弾性力でダイヤフラム２るダイヤフラム
２の動きでプランジャ１５が摺動し、スイッチ３がオン
・オフ制御される。

以上詳述したようにこの実施例の圧力センサは、受圧部
Ａとセンサ本体部Ｂとを別々に製作して、これらについ
てダイヤフラム作動検査とオン・オフ作動検査とを個々
に行なうようにしたから、両検査をパスしたもの同士を
組合せて圧力センサを構成できる。

故に、従来の一体製作形の圧力センサでは、たとえばス
イッチ部が作動良好であっても、ダイヤフラム部分が作
動不良であれば、共に不良品として放てきしなければな
らなかったが、この発明によれば、良品部分まで放てぎ
する必要がなくなり、経済的な価値が高まるものである
。

また、ダイヤフラム２を保持する受圧ケース１は同時に
圧力センサを所要機器に連結するための取付は金具を兼
用するので、部品点数が少なくなると共に、圧力センサ
の組立て工数を少なくでき、また該圧力センサの小型化
、薄形化に寄与する。

前記実施例はスイッチ３に接点形のものを図示したが、
第４図（イ）の静電容量形のもの、第４図（ロ）の拡散
抵抗形のもの、第４図（ハ）の感圧ゴム形のもの、第４
図（ニ）のストレーンゲージ形のものであっても良く、
受圧部Ａとセンサ本体部Ｂとを別制作するこの発明構造
によれば、これらの選択的な組合せが簡単に行なえる。

同様に受圧部Ａのダイヤフラムもスロータイプその他の
ものを用いることができる。尚、第４図（イ）〜（ニ）
において、符号１８はプランジャを兼ねる電極、１９．
’２０はシリコン基板と電気回路、２１は、感圧ゴム、
２２．２３は薄膜フィルムとストレンゲージを示す。

前記実施例はガス漏れ検出用としての圧力センサについ
て説明したが、この発明圧力センサの適用範囲は流体圧
検出用として広く解釈されるべきである。

第５図、第６図に示す圧力センサは、前述の第１図〜第
３図に示した圧力センサと同様に、受圧部Ａとセンサ本
体部Ｂとで構成するが、受圧部Ａの受圧ケース１は、セ
ンサ本体部Ｂのスイッチケース４にインサートされて形
成している。

すなわち、受圧ケース１のケース筒部１ａの開口部の端
縁は内側に折曲延出されてインサート部１ｂが形成され
、この受圧ケース１がスイッチケース４のスイッチベー
ス４ａを成形するときにインサートされる。

−９＝受圧ケース１をインサートしたスイッチベース４ａは、
端子１３．１４を圧入固定し、さらに蓋体４ｂを嵌着し
て、プランジャ１５を挿通することで、センサ本体部Ｂ
を完成する。

その後、センサ本体部Ｂに対して受圧部Ａが組立てられ
る。すなわち、受圧フランジ５にダイヤフラム２および
保護キャップ７を重合して、３者の重合縁を溶接するこ
とで、圧力センサが完成する。

このように構成した場合、センサ本体部Ｂのスイッチ部
の作動が良好なものだけ、受圧部Ａを形成して圧力セン
サを構成するので、その歩留りがよくなる。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明の一実施例を示し、第１図は受圧部とセンサ本体部とが切離されている状態
の断面図、第２図は両部の組合せ状態の断面図、第３図は各構成要素を分解した斜視図、第４図（イ）〜
（ニ）はスイッチ部構成の異なるタイプをそれぞれ示す
概略図、第５図は他の例を示す圧力センサの断面図、第６図はそ
の分解斜視図、第７図は一般的な圧力センサの断面構造を示す図である
。１・・・受圧ケース　　　　２・・・金属ダイヤフラム
３・・・スイッチ　　　　　４・・・スイッチケース１
５・・・プランジャ　　　△・・・受圧部Ｂ・・・セン
サ本体部町砿演り句零第４Ｚインチ精弓〜ハ胃龜（イ）（ハ）（ロ）に）

Claims

【特許請求の範囲】１、流体の圧力変化に対応して変形するダイヤフラムと
、このダイヤフラムの変形に追従してオン・オフするスイッチとを含んだ圧力センサであって、所要機器との連結を行なう受圧ケースに上記ダイヤフラムを保持した受圧部と、上記スイッチをスイッチベースに収めたセンサ本体部とを別個に製作し、この受圧部とセンサ本体部とを相互嵌合によって組立てるようにした圧力センサ。