JPS6175132U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例説明図で、ａは１つの
スポツトを作る場合の説明図、ａ′は互いに直交
する３次元を示すＸ，Ｙ，Ｚ軸、ｂはａの一部平
面図、ｃは２つのスポツトを作り、その中間点を
ボンデイング点とする説明図、ｄはｃの一部平面
図、第２図〜第４図は従来の技術の説明図で、第
２図ａ，ｂはワイヤーボンデイングするときの説
明図、ｃは平面図、ａ′，ｂ′，ｃ′は互いに直
交する三次元を示すＸ，Ｙ，Ｚ軸、第３図はａ，
ｂ共に顕微鏡で見たときの半導体チツプおよびパ
ツケージの図で、ｂはウエツジが視野に入つてな
い場合の図、第４図はボンデイングしたい部分に
スポツト光をあてゝ位置合わせを行う従来の半自
動ワイヤーボンダーの側面図で、ａはボンデイン
グパツドに正しくスポツト光をあてゝいる状態を
示す図、ｂはボンデイングパツドと高さの異なる
位置にボンデイングする際にスポツト光の位置が
ずれる様子を示す図、ａ′，ｂ′、は第２図のａ
′，ｂ′、と同じ意味を示すものである。 １……パツケージ、２……ダイオードチツプ、
３……ボンデイングパツド、４……外部配線リー
ド、５……ＡｕまたはＡｌワイヤー、６……ウエ
ツジ、７……ホルダーステージ、８……顕微鏡、
９……ウエツジ保持用ツール部、１０，Ｌ_１，Ｌ
_２……スポツト光源、１１，Ｓ_０，Ｓ_１，Ｓ_２…
…スポツトの当る位置、１２……ワイヤーボンド
された位置、Ｚ_１……ウエツジの動く軌跡を含む
直線、ｌ……スポツトＳ_１，Ｓ_２間の距離。

補正 昭６０．３．１５ 図面の簡単な説明を次のように補正する。 明細書第１２頁下から３行目〜２行目の「ａ′
は互いに直交する……Ｘ，Ｙ，Ｚ軸」を削除する
。 明細書第１３頁１行目の「ｄはｃの一部平面図
、」の次に「ｅは互いに直交する３次元を示すＸ
，Ｙ，Ｚ軸を示す図、」を追加する。 明細書第１３頁２行目〜５行目の「第２図ａ，
ｂは……を示すＸ，Ｙ，Ｚ軸」を次の通り補正す
る。 「第２図ａ，ｂはワイヤーボンデイングすると
きのそれぞれ側面図、平面図、ｄ，ｅ，ｆは互い
に直交する３次元を示すＸ，Ｙ，Ｚ軸」 明細書第１３頁１４行目〜１５行目の「ａ′，
ｂ′、は……を示すものである。」を次の通り補
正する。 「ｃ，ｄはいずれも互いに直交する３次元を示
すＸ，Ｙ，Ｚ軸を示す図である。」

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 手動および目視により、ワイヤーがボンデイン
   グされるべき金属領域をボンデイングツール下方
   の所定の位置に位置合わせし、その後、ボンデイ
   ングツールの下降、荷重印加、ときには超音波印
   加、ワイヤーの切断、ボンデイングツールの上昇
   等の一連の動作の全部あるいは一部を自動的に行
   う半自動方式のワイヤーボンダーにおいて、ボン
   デイング位置検出用のスポツト光源が、実際にワ
   イヤーを押さえるボンデイングツール部先端が上
   下する際に描く直線状の軌跡を直線と見なしたと
   き、この直線を含む平面内でこの直線に関して対
   称に２つ配置され、この２台の光源からの光線が
   ボンデイングするべき半導体チツプのボンデイン
   グパツドの高さ近傍で交わり、しかもその交点の
   位置へボンデイングツール部先端が下降してボン
   デイングが行えるようにスポツト光源の位置角度
   が設定調整可能な構造をもつていることを特徴と
   するワイヤーボンダー。