JPS6181474A - ウエ−ハ接着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産１９上の１　′） この発明は、ウェーハを貼付プレートに高精度に接着す
るウェーハ接着装置に関するものである。

ｍ」ヒ生弦」［ 第４図は、従来のウェーハ接着装置の概略を示しており
、貼付プレート１にウェーハ２を接着剤３で貼付ける場
合、従来は、人手により金属又は樹脂製の押棒４を使っ
てウェーハ２を押付けて貼付プレート１に貼付けるよう
にしていた。

また、従来の他のウェーハ接着装置としては、図示しな
いが押棒４の先端に人工支吊等を張った形式のものや、
あるいは接着剤の上にセットされた複数のウェーハをヒ
ータで加熱して、一定温度の下で加圧板により加圧して
接着する形式のものがあった。

、明が解”　しようとするＬｌｌｌ、 しかし、従来は接着精度を良くする為には作業の熟練や
長い作業時間が必要とされていた。このため前記従来技
術では、接着層の厚さを均一にする事が難しい。その結
果、接着層３の厚さがクサビ状（第５図）になったり、
接着層３の厚さが不均一（第６図）になったリすること
が多く気泡が入ってボリシング後の加工精度に悪影響を
与える。

また、人手によりウェーハを押圧するときに、接着剤を
使用しているのでウェーハが横方向に初さ易く、ウェー
ハ裏面にキズが発生し易い。

Ｒ」し１月」！ この発明は接着層の厚さを精度よく均一化できるととも
にその再現性が良好で、しかもウェーハ裏面にキズを発
生させることのないウェーハ接着装置を提供することを
目的とするものである。

４１へｌ［ したがって、この目的を達成するためにこの発明の要旨
とするところは、貼イ」プレートにウェーハを接右する
ウェーハ接着装置（こおいて、貼付プレートの」ニに接
着剤を介してウェーハを置き、ウェーハに対して下向き
に当接するウェーハ押圧体が、ウェーハの中心部から外
周方向に段階的に押圧する構成となることを特徴とする
ウェーハ接着装置にある。

。　、、を　°するための 貼付プレート１の上に接着剤３を介してウェーハ２を置
き、ウェーハ２に対して当接するウェーハ押圧体９がウ
ェーハ２の中心部から外周方向に段階的に押圧できる構
成とする。

ウェーハ押圧体９によりウェーハ２の中心部から外周方
向にウェーハ２を段階的に押圧できるので、接着層の厚
さを精度よく均一化できるとともにその再現性が良好に
でき、つ工−ハ２のすべりがなくウェーハ２の裏面のキ
ズを防止できる。

１１乱 以下、第１図から第３図を参照してこの発明の詳細な説
明する。

台１２は、その上に貼付プレート１をのせるようになっ
ており、ヒータ（図示せず）を備えている。

加圧装置８は、台１２の上方にフレーム１１を介して配
置されていて、そのピストンロッド１６には下向きにふ
くらんだ凸形状のつ工−ハ押圧体９が取付けである。

このウェーハ押圧体９は、加圧装置８内にあるエアシリ
ンダあるいは油圧シリンダの伸縮により昇降できるよう
になっている。

このウェーハ押圧体９は、複数（実施例では４つ）の中
空円筒形の押圧部材１８．１９．２０．２１が順次はめ
こまれて組み合せられている。

各押圧部材１８．１９．２０．２１は、たとえば、剛性
の高い金属製で、下面に人工皮革笠の弾性材料が貼付け
られていて、その直径は順次下に位置する抑圧部材はど
小さく設定してあり、押圧部材がウェーハから力を受け
ると、押圧部材２１が押圧部材２０に、押圧部材２０が
押圧部材１９に、さらに押圧部材１９が押圧部材１８に
順次内挿されるようになっている。

また各押圧部材１８．１９．２０，２１の接続部位は、
ゴムなどでできたリング状のパツキン１４でシールされ
、かつ押圧部材２１の下端面は閉じられており、各押圧
部材１８．１９．２０，２１で形成される内部スペース
１５は、密封状態にある。

上記内部スペース１５は、バイブ１０ａを経て内圧調整
装置１０に連絡されている。この内圧調整装置１０は、
内部スペース１５の内圧を任意に変化させられるように
なっている。

なお、押圧部材１８の外形は、ウェーハ２の直径にほぼ
一致させである。

次に、ヒ記構成における作用を説明する。

まず、第１図に示すように、貼付プレート１を台１２の
ヒータにより１５０〜１５５℃で熱し、その−Ｆに粘性
をちった接着剤３（たとえば粘度２０ｃｐ）を塗り、ざ
らにその、Ｆにウェーハ２をセットする。

つ〕、−ハ押圧体９の内圧は、内圧調整装置１０により
ゲージ圧で０．８Ｋｑ／ｃｍ２に調整する。

その俊、ウェーハ押圧体９を５　ｍｍ、／　ｓｅｃの速
度で加圧装置８によってウェーハ２の上に下降さＩ！：
　３　ｋｇ／’ｃ　ｍ２の加圧力で叩圧する。ウェーハ
押圧体９が、ウェーハ２の上面に当接した後、最初に押
圧部材２１がつＩ−ハ２の中心部を押圧する。さらに、
ウェーハ押圧体９が下降すると、押圧部材２０．１９．
１８の順にウェーハ２を押圧するつ したがって、ウェーハ押圧体９は第２図に示すように押
圧部材２１．２０１１９．１８が順次内挿され、ウェー
ハ２の中心部から外周方向に向けてウェーハ２を段階的
に押圧することができ、しかもウェーハ２の押圧時にウ
ェーハ２が横方向にずれるおそれがなくウェーハ２の裏
面にキズが発生しない。

すなわら、接着剤３はウェーハ２の中心部から外周方向
に向けて徐々に拡げられて、その接＠層の厚さは薄く均
一でその精度は向上し、気泡の入る余地がない。

加圧装置８は、ウェーハ２の全面が所定圧力で押圧され
た状態で停止する。

その後、第３図に示すように元の位置までウェーハ押圧
体９が上昇し、ウェーハ２の１枚の接着が完了する。元
の位置にもどったつ工−ハ押圧体９は、内圧の作用によ
り、内挿された状態から元の状態に復帰できる。

ここで、本発明の装置により得られる接着剤３の接着層
の厚さおよびその精度と、従来の装置により得られる接
着層の厚さおよびその精度と、の比較例を示しておく。

表１から明らかなように、本発明の装置は、ウェーハ２
の中心部から外周方向に段階的に押圧して接着すること
かでさ″るので、接着層を１μｍ以下の精度で一２μｍ
１以下の厚さに極めて再現性、よく設定できることが分
る。

ところで、本発明では、前述した実施例の条件以外に、
貼付プレート１の加熱１８度を９０〜２５０　’Ｃに設
定し、接着剤の１庶を５〜６０ｃｐのものまＣ適用して
もよい。また、ウェーハ押圧体９の内圧は、０．２〜１
．９Ｋｇ／ｃｍ２の範囲で設定し、さらに加圧装置８の
加圧力は０．５〜１０に！Ｊ　／Ｃｍ２に、つ工−ハ押
圧体９の下降速度は０．５〜１０ｍｍ／ｓｅａの速度の
範囲にそれぞれ設定しても同様の効果が得られる。

また、ウェーハ押圧体９の外形は、ウェーハ２の直径と
ほぼ同じにできるので、貼付プレート１上にウェーハ２
を多数セットし、つ工−ハ２に対応するようにウェーハ
押圧体９を複数個設置すると、短時間で多数のウェーハ
接着処理が可能であり、効率がよい。

尚、接着直後のウェーハ２は、接着剤３の温度が高くて
粘性が低いので、再びソリや変形が生じ易い。本発明の
ウェーハ接着装置によれば、表１で明らかにしたように
、接着層を薄くできるので、ソリや変形が小さいが、接
着層の冷却時にも、ウェーハ押圧体９によリウエーハ２
を押ＬＬ−りるとさらに接着精度を向上できる。

さらに、実施例では４段形のウェーハ押圧体を用いたが
、４段取トあるいは３段や２段構成であってもよい。

免ｉ列１Ｌ 以上説明したことから明らかなように、本発明のウェー
ハ接着装置によれば、従来問題となっていた接着層厚さ
を精度よく均一化できるとともにその再現性が大１１】
に向上し、しかしウェーハの裏面にキズを発生させるこ
とがない従来にない優れた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図から第３図は本発明のウェーハ接着８置の構造お
よび動作を示しており、第１図は接着開始面の状態を示
す一部切欠正面図、第２図は押圧して接着中の状態を示
す正面図、第３図は接着終了時の状態を示す一部切欠正
面図、第４図は従来のウェーハ接着装置を示す図、第５
図と第６図は従来の不良接着状態を示す図である。 １、、、、、貼付プレート ２、、、、、ウェーハ ３、、、、、接着剤 ８、、、、、加圧装置 ９、、、、、ウェーハ押圧体 １０、、、、内圧調整装置 １２、、、、台

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　貼付プレートにウェーハを接着するウェー ハ接着装置において、貼付プレートの上に接着剤を介し
   てウェーハを置き、ウェーハに対して下向きに当接する
   ウェーハ押圧体が、ウェーハの中心部から外周方向に段
   階的に押圧する構成となることを特徴とするウェーハ接
   着装置。