JPS6183932A - 気体の多点サンプリング装置 - Google Patents

気体の多点サンプリング装置

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JPS6183932A
JPS6183932A JP59205481A JP20548184A JPS6183932A JP S6183932 A JPS6183932 A JP S6183932A JP 59205481 A JP59205481 A JP 59205481A JP 20548184 A JP20548184 A JP 20548184A JP S6183932 A JPS6183932 A JP S6183932A
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JP
Japan
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port
sampling
gas
solenoid
side suction
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JP59205481A
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English (en)
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JPH0426417B2 (ja
Inventor
Mikio Sakai
幹夫 酒井
Takeo Ishii
石井 武夫
Goro Kutsukake
沓掛 五郎
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Nachi Fujikoshi Corp
Fujita Corp
Original Assignee
Nachi Fujikoshi Corp
Fujita Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/26Devices for withdrawing samples in the gaseous state with provision for intake from several spaces

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、工業用クリーンルームの制御技術。
−・般ビル内の換気制御および異畠検知枝術および複・
散気体サンプリングの経時測定技術等に係る気体の多点
サンプリング装置に関するもので、たとえばクリーンル
ーム内の微粒子のC度を多数点にわたり測定するに際し
、被測定点の自動的切り換えを行なう装置を提供せんと
する。ものである。
〔従来の技術〕
従来、この種の多点サンプリング装置としては、多数の
被測定点と測定装置の1個のサンプリング吸入ポートを
分校継手を介して連結し、各分校側通路にソレノイド弁
を介装して被Δ11定点の切り換えを行なっていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
L述の従来構成では、各被測定点の切換吸引に際して、
ソレノイド弁のオリフィス口径が小径であることに加え
て気体の流路が複雑であることにより、吸引された気体
中の塵埃等が弁の途中で沈積、滞溜および再飛散し易く
、高精度の測定が困難であったが、ト記オリフィス径を
大口径にするためには弁自体が大きくなり、装置全体が
大型化するものであり、また、気体流路に係る弁の内部
構造を変更することはきわめて困難である。
本発明は一上記問題に鑑み、切換装置内の気体の流路を
単純化して直線的な構造とし、かつ口径をヒ分太きくと
ることにより測定値の精度向上を図ることを目的とする
〔問題点を解決するための−L段〕
本発明は上記目的を達成するため、本体の等離心位置に
複数のサンプリング側吸入ポートを開【コ配設し、該本
体に対して軸設した回転テーブルに上記サンプリング側
吸入ポート内面に対して進退し計測機側ボートを接続ま
たは解離する選択連通機構を設け、該回転テーブルをパ
ルスモータによってステップ回転駆動するとともに、上
記本体と回転テーブルとによって形成する上記選択連通
機構を内臓する内腔部を排気ポートによって連通してな
る気体の多点サンブリフグ装置を構成したもので」―記
選択連通機構はソレノイドの励磁によって摺動するパイ
ロット部材の軸心に連通孔を穿設した構造となるもので
ある。
〔作 用〕
本発明装置はパルスモータをステップ回動せしめ、複数
のサンプリング側吸入ポートに対して選択連通機構を順
次対置せしめる゛とともに、該選択連通機構のa退によ
り一体になる計測機側ボートをL記すンプリング側吸入
ポートの1個と連通ずるようになり、また排気ポートを
介して計測機側ボートと連通しない残りのサンプリング
側吸引ポートと常時排気連通するものである。
〔実 施 例〕
以ト、本発明の一実施例を図面にしたがって説1!+1
すると、第1図は気体の多点サンプリング装置の11=
断面図である。本体(1)は支盤部(1a)の平滑な上
面に筒状周壁(1b)と、」−面中央にポZ部(lc)
を・体成形するとともに、該ボス部(lc)の軸心に軸
孔(2)を穿設してなり、該Ihh孔(2)にはベアリ
ング部材(3)を介して北端から上記周11(Ib)の
内部に貫通するシャフト(4)を回動自在に軸設してな
る。符号(5)は上記シャフト(4)の下端に蛛合する
ナツトによって緊締軸着した回転テーブルであり、シャ
フト(4)に外挿したスペーサ(6)を介して前記筒状
周壁(lb)の内側に位置し、かつ外周が筒状周壁(l
b)と近接して回動自在になり、本体(+)と回転テー
ブル(5)で囲まれた内腔部(7)を形成するとともに
、■二記支盤部(Ia)にはシャフト(4)と同心位置
に上面側と内腔部(7)を連通ずる複数の小孔(8)(
8)・・・を等角度に等配穿設し、該各小孔(8)の上
端にチューブ連結パイプ(8)を連結固着し、サンプリ
ング側吸入ポート(lo)を構成する。またL記回転テ
ーブル(5)の−・側には1−記サンプリング側吸入ポ
ート(10)の離心f)′I置と等位置に1個の選択J
!1通機構(11)を構成するもので、(12)は上記
回転テーブル(5)に穿設した取付孔(5a)に対して
下面側から気密的に嵌着したスリーブ(27)に対して
筒状部(12a)をシャフト(4)と同方向に摺動自在
に内挿担持したパイロット部材であり、該パイロット部
材(12)の上端に突設した北軸部(+2b)には前記
支盤部(la)の内面と密接当突する環状リップ(13
a)を有するU型パツキン(13)を嵌着するもので、
該パイロット部材(12)の全長にわたって連通孔(1
4)を穿設し、下端にチューブ連結段部部(12c)を
構成して計測機側デート(15)を形成する。符号(1
6)はL記回転テーブル(5)の内腔部(7)側面に対
してパイロット部材(12)に外挿位’n”r、 して
固設したソレノイドであり、該ソレノイド(16)の通
電励磁時においてパイロ、上部材(12)が上昇摺動し
、U型パ・ンキン(13)の環状リップ(13a)が支
盤部(Ia)下面と密接するとともに、非通季消磁時に
自東降卜するようになる。また上記本体(1)のボス部
(IC)上端には間座(17)を介してパルスモータ(
18)を固設し、該パルスモータ(18)の出力軸(1
8a)をシャフト(4)の上端と回動連結してなるとと
もに、該パルスモータ(18)のステップを上記サンプ
リング側吸入ボート(10)と適合せしめ、かつiij
記回転テーブル(5)の各周部の一点に近接センサー(
19)を固設し、該近接センサー(19)と対応する筒
状周壁(1b)に1111記計41!I機側ボート(1
5)とサンプリング側吸入ボート(10)の軸心を一致
せしめた位置に、位置決め穴(20)を穿設してなる。
上記筒状周壁(tb)の一部には内腔部(7)と連通ず
る排気ポート(2+)を穿設するものであり、(22)
は計6Il1機と接続するためのフレキシブルチューブ
である。
上記構成の気体の多点サンプリング装置(A)は第2図
のブロック図に示すよ・うに、フレキシブルチューブ(
22)の他端をパーティクルカウンタ等の41一定器(
23)の吸入ボートと接続し、排気ポート(2+)を排
気ポンプ(24)と接続した後、たとえばクリーンルー
ム(25)内の多数点(J、R2・・−R,)を被Al
l定点とする場合は該6被測定点(R1゜R2・・・R
n)と多点サンプリング装M (A)のサンプリング側
吸入ボート(10)の各ポー)(PI、P2φ・・Pn
)とサンプリングチューブ(26)を介して連通した状
態で使用する。
すなわち、パルスモータ(18)のステップにより選択
fF連通構(11)がサンプリング側吸入ボート(10
)の1個と同心トに位置するごとく回動した後、近接セ
ンサー(19)と位置決め穴(20)の対応により、さ
らに正確な修正を行なうとともに、ソレノイド(16)
に通電し、励磁してパイロット部材(12)を−上昇せ
しめ、連通孔(14)をサンプリング側吸入ポート(1
0)の1個と連続する。このとき内腔部(7)は排気ポ
ンプ(24)により常時吸引され、各サンプリング側吸
入ポート(10)には内端までクリーンルーム(25)
の波計411気体が吸入されており、直ちに計測機側ボ
ー1z(15)を介して測定器(23)に吸入される。
H記状態で一定時間装置内の気体を流した後、測定を完
了し、つきの系統へ接続しこれを繰返しスキャニングす
るものであり、第3図に示すことくソレノイド(16)
が消磁してパイロ、上部材(12)が自重降下し、U型
パツキン(13)の環状リップ(+3a)が完全に支盤
部(1a)の下面から離れた状態でパルスモータ(!8
)が駆動するようになるため、両者間の摺動摩擦はない
したがってU型パツキン(13)の摩耗と発塵を抑制し
て正確な計測が可能となる。
〔発明の効果〕
以ト述べたように本発明の気体の多点サンプリング装置
は、吸引気体の流路系が単純で直線的であるため、気体
中物質の滞溜、沈積および再飛散等がなく、高精度の計
測を行なうことができるとともに装置流路系部分に摺動
部がないため、装置「1体の発塵がなく測定の信頼性を
向上せしめるものである。また、常時排気ポンプで全系
統のチューブ内を吸引しているため、測定の時間遅れが
少ないばかりでなく本発明装置は測定器として常用のパ
ーティクルカウンタが使用可能でありさらにマイクロコ
ンピュータによって駆動せしめるものであるから信頼性
が高く、無人計測が可能である等の特徴を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明、気体の多点サンプリング装置の一実施
例を示す正断面図、第2図は同装置の使用例を示すブロ
ック図、第3図は選択連通機構を解離した状態の要部断
面図である。 (A)多点サンプリング9置(1)本体(4)シャフト
  (5)回転テーブル(lO)サンプリング側吸入ポ
ート (11)選択連通機構  (12)パイロット部材(+
3)U型パツキン  (15)計111機側ボート(1
B)ソレノイド  (18)パルスモータ(19)近接
センサー  (20)位置決め穴(21)排気ポート 特許出願人  フジタ工業株式会社 第1図 i゛7り21六1

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 下面に筒状周壁を形成した盤状体に対し軸心から等離心
    位置に複数のサンプリング側吸入ポートを配設開口して
    なる本体に対し、上記筒状周壁内に上記盤状体と対向す
    るパルスモータに軸着した回転テーブルを回動自在に内
    装し、上記サンプリング側吸入ポートが開口した内腔部
    を構成するとともに、該回転テーブルに対して上記サン
    プリング側吸入ポートの一つに対して計測機側ポートを
    進退駆動せしめ、両ポートを連通または解離する選択連
    通機構を構成し、上記本体に内腔部と連通する排気ポー
    トを開設してなる気体の多点サンプリング装置。
JP59205481A 1984-10-02 1984-10-02 気体の多点サンプリング装置 Granted JPS6183932A (ja)

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JP59205481A JPS6183932A (ja) 1984-10-02 1984-10-02 気体の多点サンプリング装置

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JP59205481A JPS6183932A (ja) 1984-10-02 1984-10-02 気体の多点サンプリング装置

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JPS6183932A true JPS6183932A (ja) 1986-04-28
JPH0426417B2 JPH0426417B2 (ja) 1992-05-07

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JP59205481A Granted JPS6183932A (ja) 1984-10-02 1984-10-02 気体の多点サンプリング装置

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62129733A (ja) * 1985-12-02 1987-06-12 Fujita Corp 気体の多点サンプリング装置
JP2021162598A (ja) * 2020-03-31 2021-10-11 ダイキン工業株式会社 検知ユニット、収容容器、検知装置
CN113567618A (zh) * 2021-06-30 2021-10-29 重庆亿森动力环境科技有限公司 一种气体浓度检测装置

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JP2021162598A (ja) * 2020-03-31 2021-10-11 ダイキン工業株式会社 検知ユニット、収容容器、検知装置
CN113567618A (zh) * 2021-06-30 2021-10-29 重庆亿森动力环境科技有限公司 一种气体浓度检测装置

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JPH0426417B2 (ja) 1992-05-07

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