JPH0426417B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、工業用クリーンルームの制御技術、
一般ビル内の換気制御および異常検知技術および
複数気体サンプリングの経時測定技術等に係る気
体の多点サンプリング装置に関するもので、たと
えばクリームルーム内の微粒子の濃度を多数点に
わたり測定するに際し、被測定点の自動的切り換
えを行なう装置を提供せんとするものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の多点サンプリング装置として
は、多数の被測定点と測定装置の１個のサンプリ
ング吸入ポートを分枝継手を介して連結し、各分
枝側通路にソレノイド弁を介装して被測定点の切
り換えを行なつていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述の従来構成では、各被測定点の切換吸引に
際して、ソレノイド弁のオリフイス口径が小径で
あることに加えて気体の流路が複雑であることに
より、吸引された気体中の塵埃等が弁の途中で沈
積、滞溜および再飛散し易く、高精度の測定が困
難であつたが、上記オリフイス径を大口径にする
ためには弁自体が大きくなり、装置全体が大型化
するものであり、また、気体流路に係る弁の内部
構造を変更することはきわめて困難である。

本発明は上記問題に鑑み、切換装置内の気体の
流路を単純化して直線的な構造とし、かつ口径を
十分大きくすることにより測定値の精度向上を図
ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は上記目的を達成するため、本体の等離
心位置に複数のサンプリング側吸入ポートを開口
し、該本体に対して軸設した回転テーブルに上記
サンプリング側吸入ポート内面に対して進退し計
測機側ポートを接続または解離する選択連通機構
を設け、該回転テーブルをパルスモータによつて
ステツプ回転駆動するとともに、上記本体と回転
テーブルとによつて形成する上記選択連通機構を
内蔵する内腔部を排気ポートによつて連通してな
る気体の多点サンプリング装置を構成したもので
上記選択連通機構はソレノイドの励磁によつて摺
動するパイロット部材の軸心に連通孔を穿設した
構造となるものである。

〔作用〕

本発明装置はパルスモータをステツプ回動せし
め、複数のサンプリング側吸入ポートに対して選
択連通機構を順次対置せしめるとともに、該選択
連通機構の進退により一体になる計測機側ポート
を上記サンプリング側吸入ポートの１個と連通す
るようになり、また排気ポートを介して計測機側
ポートと連通しない残りのサンプリング側吸引ポ
ートと常時排気連通するものである。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面にしたがつて説
明すると、第１図は気体の多点サンプリング装置
の正面断面図である。本体１は支盤部１ａの平滑
な下面に筒状周壁１ｂと、上面中央にボス部１ｃ
を一体成形するとともに、該ボス部１ｃの軸心に
軸孔２を穿設してなり、該軸孔２にはベアリング
部材３を介して上端から上記周壁１ｂの内部に貫
通するシヤフト４を回動自在に軸設してなる。符
号５は上記シヤフト４の下端に螺合するナツトに
よつて緊締軸着した回転テーブルであり、シヤフ
ト４に外挿したスペーサ６を介して前記筒状周壁
１ｂの内側に位置し、かつ外周が筒状周壁１ｂと
近接して回動自在になり、本体１と回転テーブル
５で囲まれた内腔部７を形成するとともに、上記
支盤部１ａにはシヤフト４と同心位置に上面側と
内腔部７を連通する複数の小孔８，８…を等角度
に等配穿設し、該各小孔８の上端にチユーブ連結
パイプ９を連結固着し、サンプリング側吸入ポー
ト１０を構成する。また上記回転テーブル５の一
側には上記サンプリング側吸入ポート１０の離心
位置と等位置に１個の選択連通機構１１を構成す
るもので、１２は上記回転テーブル５に穿設した
取付５ａに対して下面側から気密的に嵌着したス
リーブ２７に対して筒状部１２ａをシヤフト４と
同方向に摺動自在に内挿担持したパイロツト部材
であり、該パイロツト部材１２の上端に突設した
上軸部１２ｂには前記支盤部１ａの内面と密接当
突する環状リツプ１３ａを有するＵ型パツキン１
３を嵌着するもので、該パイロツト部材１２の全
長にわたつて連通孔１４を穿設し、下端にチユー
ブ連結段筒部１２ｃを構成して計測機側ポート１
５を形成する。符号１６は上記回転テーブル５の
内腔部７側面に対してパイロツト部材１に外挿位
置して固設したソレノイドであり、該ソレノイド
１６の通電励磁時においてパイロツト部材１２が
上昇摺動し、Ｕ型パツキン１３の環状リツプ１３
ａが支盤部１ａ下面と密接するとともに、非通電
消磁時に自重降下するようになる。また、上記本
体１のボス部１ｃ上端には間座１７を介してパル
スモータ１８を固設し、該パルスモータ１８の出
力軸１８ａをシヤフト４の上端と回動連結してな
るとともに、該パルスモータ１８のステツプを上
記サンプリング側吸入ポート１０と適合せしめ、
かつ前記回転テーブル５の各周部の一点に近接セ
ンサー１９を固設し、該近接センサー１９と対応
する筒状周壁１ｂに前記計測機側ポート１５とサ
ンプリング側吸入ポート１０の軸心を一致せしめ
た位置に、位置決め穴２０を穿設してなる。上記
筒状周壁１ｂの一部には内腔部７と連通する排気
ポート２１を穿設するものであり、２２は計測機
と接続するためのフレキシブルチユーブである。

上記構成の気体の多点サンプリング装置Ａは第
２図のブロツク図に示すように、フレキシブルチ
ユーブ２２の他端をパーテイクルカウンタ等の測
定器２３の吸入ポートと接続し、排気ポート２１
を排気ポンプ２４と接続した後、たとえばクリー
ンルーム２５内の多数点R₁，R₂…R_oを被測定点
とする場合は該各被測定点R₁，R₂…R_oと多点サ
ンプリング装置Ａのサンプリング側吸入ポート１
０の各ポートP₁，P₂…P_oとサンプリングチユー
ブ２６を介して連通した状態で使用する。

すなわち、パルスモータ１８のステツプにより
選択連通機構１１がサンプリング側吸入ポート１
０の１個と同心上に位置するごとく回動した後、
近接センサー１９と位置決め穴２０の対応によ
り、さらに正確な修正を行なうとともに、ソレノ
イド１６に通電し、励磁してパイロツト部材１２
を上昇せしめ、連通孔１４をサンプリング側吸入
ポート１０の１個と連続する。このとき内腔部７
は排気ポンプ２４により常時吸引され、各サンプ
リング側吸入ポート１０には内端までクリーンル
ーム２５の被計測気体が吸入されており、直ちに
計測機側ポート１５を介して測定器２３に吸入さ
れる。

上記状態で一定時間装置内の気体を流した後、
測定を完了し、つぎの系統へ接続しこれを繰返し
スキヤニングするものであり、第３図に示すごと
くソレノイド１６が消磁してパイロツト部材１２
が自重降下し、Ｕ型パツキン１３の環状リツプ１
３ａが完全に支盤部１ａの下面から離れた状態で
パルスモータ１８が駆動するようになるため、両
者間の摺動摩擦はない。

したがつてＵ型パツキン１３の摩耗と発塵を抑
制して正確な計測が可能となる。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明の気体の多点サンプリ
ング装置は、吸引気体の流路系が単純で直線的で
あるため、気体中物質の滞溜、沈積および再飛散
等がなく、高精度の計測を行なうことができると
ともに装置流路系部分に摺動部がないため、装置
自体の発塵がなく測定の信頼性を向上せしめるも
のである。また、常時排気ポンプで全系統のチユ
ーブ内を吸引しているため、測定の時間遅れが少
ないばかりでなく本発明装置は測定器として常用
のパーテイクルカウンタが使用可能でありさらに
マイクロコンピユータによつて駆動せしめるもの
であるから信頼性が高く、無人計測が可能である
等の特徴を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明、気体の多点サンプリング装置
の一実施例を示す正断面図、第２図は同装置の使
用例を示すブロツク図、第３図は選択連通機構を
解離した状態の要部断面図である。 Ａ……多点サンプリング装置、１……本体、４
……シヤフト、５……回転テーブル、１０……サ
ンプリング側吸入ポート、１１……選択連通機
構、１２……パイロツト部材、１３……Ｕ型パツ
キン、１５……計測機側ポート、１６……ソレノ
イド、１８……パルスモータ、１９……近接セン
サー、２０……位置決め穴、２１……排気ポー
ト。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 下面に筒状周壁を形成した盤状体に対し軸心
   から等離心位置に複数のサンプリング側吸入ポー
   トを配設開口してなる本体に対し、上記筒状周壁
   内に上記盤状体と対向するパルスモータに軸着し
   た回転テーブルを回動自在に内装し、上記サンプ
   リング側吸入ポートが開口した内腔部を構成する
   とともに、該回転テーブルに対して上記サンプリ
   ング側吸入ポートの一つに対して計測機側ポート
   を進退駆動せしめ、両ポートを連通または解離す
   る選択連通機構を構成し、上記本体に内腔部と連
   通する排気ポートを開設してなる気体の多点サン
   プリング装置。