JPS6184081A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6184081A JPS6184081A JP20566184A JP20566184A JPS6184081A JP S6184081 A JPS6184081 A JP S6184081A JP 20566184 A JP20566184 A JP 20566184A JP 20566184 A JP20566184 A JP 20566184A JP S6184081 A JPS6184081 A JP S6184081A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- vessel
- filter
- absorbent
- moisture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔檻梁上の利用分野〕
この発明は、ガスレーザ装置における発Ｓ器の１能およ
び保全性の同上に関する。
び保全性の同上に関する。
従来のガスレーザ装置において、例えばＣＯ２ガスガス
ザ発（表器として第３図に示すものがあった。
ザ発（表器として第３図に示すものがあった。
図において、（１）はガス封入容器、（２）は電極、（
３）はレーザ九、（４）ｉ’１反射鏡、（５）はファン
で、放電が行なわれている電極（２）間に、ガス封入容
器（１）内に封入された例えばＣＯ２ガス等をファン（
５）によって流入、循環させ、ガス分子を放電、励起し
て反射鏡（３）、 （４）間で光増幅を行ない、レーザ
九を発生させる。（６）は水分吸着剤で、ガス封入容器
（１）内に設けられている。また、（７）はＣＯ２ガス
等のボンベ、（８）は真空ポンプである。
３）はレーザ九、（４）ｉ’１反射鏡、（５）はファン
で、放電が行なわれている電極（２）間に、ガス封入容
器（１）内に封入された例えばＣＯ２ガス等をファン（
５）によって流入、循環させ、ガス分子を放電、励起し
て反射鏡（３）、 （４）間で光増幅を行ない、レーザ
九を発生させる。（６）は水分吸着剤で、ガス封入容器
（１）内に設けられている。また、（７）はＣＯ２ガス
等のボンベ、（８）は真空ポンプである。
従来のガスレーザ発振器は上記のように講説され、使用
時には、真空ポンプ（８）によってガス封入容器（１）
内を真空状態にする。次に、ガスボンベ（７）内のガス
をガス封入容器（１）内へ充填し、例えば００２ンーザ
の場合はＣＯ２，Ｎ２． Ｈｅの混合ガスが用いられ、
２０〜１００Ｔｏｒｒ （Ｉ Ｔｏｒｒ ＝１ｍｌ（ｇ
） ３１度の圧力に保持する。
時には、真空ポンプ（８）によってガス封入容器（１）
内を真空状態にする。次に、ガスボンベ（７）内のガス
をガス封入容器（１）内へ充填し、例えば００２ンーザ
の場合はＣＯ２，Ｎ２． Ｈｅの混合ガスが用いられ、
２０〜１００Ｔｏｒｒ （Ｉ Ｔｏｒｒ ＝１ｍｌ（ｇ
） ３１度の圧力に保持する。
電極（２）間に電圧を印加し、放電 励起してレーザ九
（３）を発生させる時の励起効率およびＶ−ザ出力は、
ガス封入容器（１）内の封入ガスの水分２例えばＣＯ２
レーザの場合には、大気圧露点が一４０℃以上の湿度状
態になると著しく低下する現象が生じる。ガス封入中の
動作時には、ガスボンベ（７）から供給されるガス中に
含まれる水分は極めて少量であるが、レーザ発振器の点
検あるいは修理等のために、ガス封入容器（１）の扉を
開放すると、内部に流入する大気の水分が壁面等に付着
、残存する。
（３）を発生させる時の励起効率およびＶ−ザ出力は、
ガス封入容器（１）内の封入ガスの水分２例えばＣＯ２
レーザの場合には、大気圧露点が一４０℃以上の湿度状
態になると著しく低下する現象が生じる。ガス封入中の
動作時には、ガスボンベ（７）から供給されるガス中に
含まれる水分は極めて少量であるが、レーザ発振器の点
検あるいは修理等のために、ガス封入容器（１）の扉を
開放すると、内部に流入する大気の水分が壁面等に付着
、残存する。
この水分がガス充填後のガス封入容器（１）内のガス中
に混入するので、通常はモレキュラーツーブス６λ等の
粒度が１〜ψ１０団のベレット状焼結体の吸着剤（６）
が作用して、水分を吸収するようになっている。
に混入するので、通常はモレキュラーツーブス６λ等の
粒度が１〜ψ１０団のベレット状焼結体の吸着剤（６）
が作用して、水分を吸収するようになっている。
と記のようなガスレーザ発振装置では、操業中に吸着剤
（Ｇ膜ｉ １〜１００ μｍ＠度の微粒子となってガス
封人容ｄ渉（１） ｌ’３ Ｋ飛Ｊすめため、ガスの性
能？劣化したり、反射鏡（４）に付着するとレーザパワ
ーとの相互作用による反射鏡（４）の損傷を招く等の問
題点があった。
（Ｇ膜ｉ １〜１００ μｍ＠度の微粒子となってガス
封人容ｄ渉（１） ｌ’３ Ｋ飛Ｊすめため、ガスの性
能？劣化したり、反射鏡（４）に付着するとレーザパワ
ーとの相互作用による反射鏡（４）の損傷を招く等の問
題点があった。
この発明は、かかる問題点ｋｍ決するためになされたも
ので、ガス封入容器内に付着、残留した水分全除去する
吸着剤の影響で、ガスの性能の劣化や反射鏡の損傷ｒ生
じることのないガスＶ−ザ発振装置を得ること？目的と
する。
ので、ガス封入容器内に付着、残留した水分全除去する
吸着剤の影響で、ガスの性能の劣化や反射鏡の損傷ｒ生
じることのないガスＶ−ザ発振装置を得ること？目的と
する。
この発明に係るガスレーザ発振器は、吸着剤？ガス封入
容器の外部に設置し、操業前にこのガス封入容器内に付
着、残留した水分を除去するときのみ吸着剤を作用させ
、脱湿およびフィルタによって吸着剤の微粒子を除去し
た清浄な乾燥空気にガス封入容器内へ導入するＷ ５に
のものであるっ〔作用〕 この発明においては、操業前Ｖこおけるガス封入容器内
の水分除去のときのみ、外部に設けた吸着剤が作用して
脱湿するようになっている。
容器の外部に設置し、操業前にこのガス封入容器内に付
着、残留した水分を除去するときのみ吸着剤を作用させ
、脱湿およびフィルタによって吸着剤の微粒子を除去し
た清浄な乾燥空気にガス封入容器内へ導入するＷ ５に
のものであるっ〔作用〕 この発明においては、操業前Ｖこおけるガス封入容器内
の水分除去のときのみ、外部に設けた吸着剤が作用して
脱湿するようになっている。
第１図にこの発明の一実施例を示す！ｇ成図であり、（
１）〜（８）は上記従来装置と全く同一のものである。
１）〜（８）は上記従来装置と全く同一のものである。
（９）げ導・ｄ、００はフィルタ、αルμ吸着剤、（６
）は大気尋人弁で、吸着剤αυで脱湿された大気がフィ
ルタ頭内で吸着剤（１時の微粒成分全除去し、導管（９
）を介してガス封人容６（１）内へ清浄な乾燥空気？４
人するようになっている。
）は大気尋人弁で、吸着剤αυで脱湿された大気がフィ
ルタ頭内で吸着剤（１時の微粒成分全除去し、導管（９
）を介してガス封人容６（１）内へ清浄な乾燥空気？４
人するようになっている。
上記のように溝成さね、たンーザＪ＃５振器においては
、点検あるいは整備後のガス封入容器内の水分を除去す
るためには、大気尋人弁（２）を開放して真望ポンプ（
８）によって犬’Ｒｋ吸引すると、吸着剤α→およびフ
ィルタ（１０ｋ介して清浄な乾燥空気がガス封入容器（
１）内に導入され、付着、残留している水分を除去しな
がら所定の脱湿作業を終了させて、大気尋人弁（１７５
ｙｔ閉止する。この大気導入弁（６）の閉止後も真空ポ
ンプ（８） Ｋよる吸引に継続し、ガス封入容器（１）
内？輿望にしてから真空ポンプ（８）の弁を閉止し、ガ
スボンベ（７）より操作ガスをガス封入容器内に供給す
る。
、点検あるいは整備後のガス封入容器内の水分を除去す
るためには、大気尋人弁（２）を開放して真望ポンプ（
８）によって犬’Ｒｋ吸引すると、吸着剤α→およびフ
ィルタ（１０ｋ介して清浄な乾燥空気がガス封入容器（
１）内に導入され、付着、残留している水分を除去しな
がら所定の脱湿作業を終了させて、大気尋人弁（１７５
ｙｔ閉止する。この大気導入弁（６）の閉止後も真空ポ
ンプ（８） Ｋよる吸引に継続し、ガス封入容器（１）
内？輿望にしてから真空ポンプ（８）の弁を閉止し、ガ
スボンベ（７）より操作ガスをガス封入容器内に供給す
る。
なお、上記実施例ではガス封入容器（１）内にファン（
５）を設けてガスを循環させる例について説明したが、
第２図に示すような成極（２）の購造が異なり、ファン
（５）′？！：ガス封入容器（１）外のダクトα１内に
設けてガスｒ循環させるガスンーザ元振６の場合も実１
Ｍｌりと四球の効；４’を奏する。
５）を設けてガスを循環させる例について説明したが、
第２図に示すような成極（２）の購造が異なり、ファン
（５）′？！：ガス封入容器（１）外のダクトα１内に
設けてガスｒ循環させるガスンーザ元振６の場合も実１
Ｍｌりと四球の効；４’を奏する。
この発明に以上説明したとおり、水分の吸着剤全ガス封
入容器の外部に設置し、ガスレーザ発振器の操業前にお
ける脱湿１乍Ｊｉ時のみ吸着剤が作用するようにしたの
で、操業中に吸着剤から発生する微粒成分の混入による
ガス汚染のための性能の劣化、あるいはこの微粒成分の
付着による反射鏡の損傷？防止できる効果がある。
入容器の外部に設置し、ガスレーザ発振器の操業前にお
ける脱湿１乍Ｊｉ時のみ吸着剤が作用するようにしたの
で、操業中に吸着剤から発生する微粒成分の混入による
ガス汚染のための性能の劣化、あるいはこの微粒成分の
付着による反射鏡の損傷？防止できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例？示す断面図、第２図はこ
の発明の他の実施例？示すレーザ発振器の断面図、第６
図は従来のレーザ発振器を示す断面図である。 図において、（１）はガス封入容器、（２）は電極、（
３）は／−ザ元、（４）は反射鏡、（９）は導・ｉｉ？
、ＱＱはフィルタ、へυは吸着剤、ｏ２は大気尋人弁で
ある。 なお、谷図中同−符号は同一またに相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１図 ４：丘射鏡 １２；笈気彫術 第２ 図 第３図
の発明の他の実施例？示すレーザ発振器の断面図、第６
図は従来のレーザ発振器を示す断面図である。 図において、（１）はガス封入容器、（２）は電極、（
３）は／−ザ元、（４）は反射鏡、（９）は導・ｉｉ？
、ＱＱはフィルタ、へυは吸着剤、ｏ２は大気尋人弁で
ある。 なお、谷図中同−符号は同一またに相当部分を示す。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第１図 ４：丘射鏡 １２；笈気彫術 第２ 図 第３図
Claims (1)
- 水分吸着剤とフィルタとをガス封入容器の外部に備え、
操業前にこのガス封入容器内に付着、残留した水分を除
去するときのみ上記水分吸着剤を作用させ、脱湿および
フィルタによつて吸着剤の微粒子を除去した清浄な乾燥
空気を上記ガス封入容器内へ導入させることを特徴とす
るガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20566184A JPS6184081A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20566184A JPS6184081A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184081A true JPS6184081A (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=16510589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20566184A Pending JPS6184081A (ja) | 1984-10-02 | 1984-10-02 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184081A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479464U (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-10 | ||
| CN119852823A (zh) * | 2025-03-21 | 2025-04-18 | 上海瑞柯恩激光技术有限公司 | 激光器系统 |
-
1984
- 1984-10-02 JP JP20566184A patent/JPS6184081A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0479464U (ja) * | 1990-11-21 | 1992-07-10 | ||
| CN119852823A (zh) * | 2025-03-21 | 2025-04-18 | 上海瑞柯恩激光技术有限公司 | 激光器系统 |
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