JPS6184370A - スパツタ源用シヤツタ板開閉位置検出付シヤツタ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明はス・ｅ７タ源用シャ、り板の開閉位置検出付シ
ャッタ機構に関するものである。

（従来の技術） 従来のス・ぞ、タ源用ンヤッタ板開閉位置検出付ンヤッ
タ機構は第２図に示す様に、ＰＬ空槽の一壁面１ａのＴ
ｈ’　？−４１１１１にス・ｅワタ源２を有し、該ス・
ぐツタ源にノリコン・ウエノ・−３が真空槽内のシリコ
ン・ウニ・・−保持部４によって対向させられ、大気側
からの位置検出機能付駆動部５が真空に影響ヲ与工ない
マグネット・フィード・スルー６を通して／ヤッタ板７
に連結され、駆動部５にでマダイ・ット・フィード・ス
ルー６の軸を回転の中心にしてシャッタ板７を開閉する
ようになっていた。

（発明が解決しようとする問題点） ／ヤッタ板閉の状態で７ヤツタ板のス・ｅツタ源側の面
に多量に成膜された場合に１ｄ、シャッタ板の開閉位置
と位置検出機能付駆動部５の開閉の位置がマグネット・
フィード・スル一部で相対的にずれを生じ、あたかも正
常なンヤ、り板の開閉を行なっているような状況が生じ
る場合があった。

この場合、シャッタ板が完全に開かない等により目標と
している成膜の分布が得られなくなシ、成膜径測定して
みないと判断出来ないという欠点があった。

本発明は上記欠点を解消し、／ヤッタ板の開閉状態を直
接検出して即時的に知ることが出来ろス・ぞツタ源用ン
ヤッタ板開閉位置検出付／ヤッタ機構を提供するもので
あて、。

（問題点を解決するだめの手段） 本発明は、真空槽に取付けたス・ぞツタ源と、該ス・ぞ
ツタ源に向き合うシリコン・ウエノ・−との間で開閉す
るシャッタ板を有するス・Ｐ７タ装置において、シャッ
タ板の開閉の両位置に、／ヤッタ板の有無を検出する各
々】幻の発光、受光フォト・センサの光路を設けたこと
を特徴とするス・七ツタ源用ンヤッタ板開閉位置検出付
ツヤツタ機構である。

（実施例） 本発明の一実施例を図を用いて説明する。第１図におい
て、ンヤッタ板７が開の位置にきたとき同時にフォト・
センサの光路をさえぎる様に一対の開フォト・センサ発
光部】０及び開フォト・センサ受光部８を対向している
真空槽１ａ　、ｌｂに各々真空を保てる様に固定し、同
様にンヤノタ板７が閉の位置にきたとき同時にフォト・
センサの光路をさえき゛る様に一対の閉フォト十ンヤ発
光部１１及び閉フォト・セン→夕受光部９を月面してい
る真空槽Ｉａ、ｌｂに各々貫空を保てる様に１６“１定
し、開閉位置のフォ１センザに１す／ヤッタ板の開閉状
態を重接検出する。その他の構成は従来と同じであイ）
。

（発明の効果） 本発明は１ソ、」二説明したように、／ヤッタ板の開閉
状態をフメトセンザにて検出するようにしたので、／ヤ
、り板が不完全に開閉している状態でシリコン・ウェハ
にス・Ｐ７タが１１なわれるのを防ｄ＝でき、シャッタ
板開閉による正常な成膜を行なうことができ４ン効果を
有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
の／ヤ、り板開閉を示す８−１祝図である。 ｌａ・・・直空槽壁、ｌｂ・・・直空槽壁、２・・・ス
・Ｐワタ源、：＋・　シリコン・ウェハー、４・・・シ
リコン・ウェー・−保持部、５・・・位置検出機能付駆
動部、６・・・マグネット・フィード・スルー、７・・
／ヤ、り板、８・・開フォト士ンサ受光部、９・・・閉
フォトセンサ受光部、　　１０・・・開フォトセンサ発
光部、１１・・・閉フォトセンサ発光部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）真空槽内に取付けたスパッタ源と、該スパッタ源
   に対向して保持されるシリコン・ウェハーとの間で成膜
   の妨げにならない開位置と成膜の妨げになる閉位置とに
   可動するシャッタ板を有するスパッタ装置において、該
   シャッタ板開閉の両位置に、シャッタ板の有無を検出す
   る各々１対の発光、受光フォトセンサの光路を設けたこ
   とを特徴とするスパッタ源用シャッタ板開閉位置検出付
   シャッタ機構。