JPS6184401A - 圧電素子アクチユエ−タ - Google Patents
圧電素子アクチユエ−タInfo
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- JPS6184401A JPS6184401A JP59206378A JP20637884A JPS6184401A JP S6184401 A JPS6184401 A JP S6184401A JP 59206378 A JP59206378 A JP 59206378A JP 20637884 A JP20637884 A JP 20637884A JP S6184401 A JPS6184401 A JP S6184401A
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- Supply Devices, Intensifiers, Converters, And Telemotors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業」二の利用分野“〉
本発明はPZTなどの圧電素子をFll用しまたリニア
アク4−ユエータに関するものて油圧装置″における流
用調整弁とかクーシサ・イクルのlI’+5111iチ
1として好jaに使用さ:11: ’?>。
゛〈従来技術〉 近年P 7. Tf、’cどの圧電素子を用用し、て、
これに電圧を加えた際の体積の微小変化をパスカルの原
理による流体式拡大機構を用いて増巾するリニアアクチ
ュエータが流体管路中の流量制御手段として多く用いら
れている。この型のアクチュエータとしてはたとえば第
2閏に示すようなものがあり、チューブ状をなすケーシ
ング2の中空部内に積層型圧電素子1を収納しその底部
と頂部を夫々ボトムプレート8とピストン3で挾持し、
且つ該ピストン3はケーシング2の内側に形成されたシ
リンダ2aと液密状態で摺動し得るようになされている
。シリンダ2aの上端部とピストン3の間には若干の間
隙があり、圧電素子lが伸長変位し得る余地が残されて
いる。シリンダ2aの上方にはこれに連通したメイン油
室aからなる作動空間が設けられ、ハウジング2の側壁
を貫通してこれに横方向から小径のスプール4の先端が
摺動自在に突出している。酸スプール4はたとえばスプ
リング5等により左向きの付勢力が与えられており、こ
の付勢力が作動空間内のシリコン油等の作動油の圧力と
バランスしてスプール4の突出長さが決定されろ、6,
7は0リンクであり夫、を作%jl油が作動空間から漏
洩し、ないようにシールしている。
アク4−ユエータに関するものて油圧装置″における流
用調整弁とかクーシサ・イクルのlI’+5111iチ
1として好jaに使用さ:11: ’?>。
゛〈従来技術〉 近年P 7. Tf、’cどの圧電素子を用用し、て、
これに電圧を加えた際の体積の微小変化をパスカルの原
理による流体式拡大機構を用いて増巾するリニアアクチ
ュエータが流体管路中の流量制御手段として多く用いら
れている。この型のアクチュエータとしてはたとえば第
2閏に示すようなものがあり、チューブ状をなすケーシ
ング2の中空部内に積層型圧電素子1を収納しその底部
と頂部を夫々ボトムプレート8とピストン3で挾持し、
且つ該ピストン3はケーシング2の内側に形成されたシ
リンダ2aと液密状態で摺動し得るようになされている
。シリンダ2aの上端部とピストン3の間には若干の間
隙があり、圧電素子lが伸長変位し得る余地が残されて
いる。シリンダ2aの上方にはこれに連通したメイン油
室aからなる作動空間が設けられ、ハウジング2の側壁
を貫通してこれに横方向から小径のスプール4の先端が
摺動自在に突出している。酸スプール4はたとえばスプ
リング5等により左向きの付勢力が与えられており、こ
の付勢力が作動空間内のシリコン油等の作動油の圧力と
バランスしてスプール4の突出長さが決定されろ、6,
7は0リンクであり夫、を作%jl油が作動空間から漏
洩し、ないようにシールしている。
この構造において圧電素子1の端P9に電圧が加えられ
るとその電圧11r1に応じて圧電f’ii P lは
軸方向に伸長し、ビスI・ン3を上昇せしめて作動空間
の容積を減少せしめる。これによって作動空間内の液圧
が高まり、スプール4にも圧力を及ぼしこれを右方へ変
位せしめる。スプール4の右方変位はスプリング5の圧
縮をもたらし、これによって増加したスプリング5の付
勢力が作動空間内の液圧の増加とバランスした点てスプ
ール4の突出長さが決定−される。圧電素子1の変位は
僅かであってもシリンダ2aの断面とスプール4の断面
との比を大きくとることによってスプール4の変位を大
きくすることが可能であり、このスプール4をバルブ機
構に連結することによって該バルブ機構を通過する流体
を制御することができる。
るとその電圧11r1に応じて圧電f’ii P lは
軸方向に伸長し、ビスI・ン3を上昇せしめて作動空間
の容積を減少せしめる。これによって作動空間内の液圧
が高まり、スプール4にも圧力を及ぼしこれを右方へ変
位せしめる。スプール4の右方変位はスプリング5の圧
縮をもたらし、これによって増加したスプリング5の付
勢力が作動空間内の液圧の増加とバランスした点てスプ
ール4の突出長さが決定−される。圧電素子1の変位は
僅かであってもシリンダ2aの断面とスプール4の断面
との比を大きくとることによってスプール4の変位を大
きくすることが可能であり、このスプール4をバルブ機
構に連結することによって該バルブ機構を通過する流体
を制御することができる。
−〈発明が解決しようとする問題点〉
このタイプのリニアアクチュエータにおいては如何にシ
ールを完全に行なったとしても僅かではあるがメイン油
室a内からの作動油の漏洩は避けられず、長期間の使用
時には当初に設定した規準位置が徐々に変化し出力に誤
差を生ずる欠点があった・ 本発明はこの欠点を克服し、メイン油室内から多少の作
動油の漏洩があっても直ちにこれを補給し當にや初の設
定位置に変位を生ずることがない圧電素子アクチュエー
タを提供することを目的とする。
ールを完全に行なったとしても僅かではあるがメイン油
室a内からの作動油の漏洩は避けられず、長期間の使用
時には当初に設定した規準位置が徐々に変化し出力に誤
差を生ずる欠点があった・ 本発明はこの欠点を克服し、メイン油室内から多少の作
動油の漏洩があっても直ちにこれを補給し當にや初の設
定位置に変位を生ずることがない圧電素子アクチュエー
タを提供することを目的とする。
く問題点を解決するための手段〉
叙上の本発明の目的は、中空のケーシング、該ケーシン
グの中空部に形成されたシリンダ、該シリンダ内に軸方
向に摺動自在に嵌挿されたピストンの三者によってメイ
ン油室が形成され、該メイン油室内には作動油が封入さ
れると共にケーシング雫側壁に設けられた貫通孔に外部
から摺動自7Eに挿通されたスプールの先端が突出し、
前記メイン油室と反対側の前記ピストンの面には該ピス
トンに軸方向の変位を付与するための圧電素子が係合し
、又前記スプールば付勢手段によって當に前記メイン油
室を指向する方向にイ;1勢され、前記圧電素子が微小
変位することによって生ずるメイン油室内の油圧変化を
前記スプールのメイン油室内への突出長さの変化に変換
して増11する圧電素子アクチュエータにおいて、1)
11記メイン油室と連通ずるサブ油室を具え、且つ該サ
ブ油室内の作動油に一定の油圧を付与するための手段を
具え、史に前記メイン油室からサブ油室・\向う作動油
の流れを阻上するチェック弁機構を具えた、ことを特徴
とする圧電素子アク、チュエータによって達成される。
グの中空部に形成されたシリンダ、該シリンダ内に軸方
向に摺動自在に嵌挿されたピストンの三者によってメイ
ン油室が形成され、該メイン油室内には作動油が封入さ
れると共にケーシング雫側壁に設けられた貫通孔に外部
から摺動自7Eに挿通されたスプールの先端が突出し、
前記メイン油室と反対側の前記ピストンの面には該ピス
トンに軸方向の変位を付与するための圧電素子が係合し
、又前記スプールば付勢手段によって當に前記メイン油
室を指向する方向にイ;1勢され、前記圧電素子が微小
変位することによって生ずるメイン油室内の油圧変化を
前記スプールのメイン油室内への突出長さの変化に変換
して増11する圧電素子アクチュエータにおいて、1)
11記メイン油室と連通ずるサブ油室を具え、且つ該サ
ブ油室内の作動油に一定の油圧を付与するための手段を
具え、史に前記メイン油室からサブ油室・\向う作動油
の流れを阻上するチェック弁機構を具えた、ことを特徴
とする圧電素子アク、チュエータによって達成される。
本発明の11・1成を詳述する前ρに、本発明の原理に
ついて説明する。第2図に示すメイン油室a内の圧力変
化とスプールの位置との関係の一例を第3図に示す。オ
;子に電圧を印加していない’dB j!Jl状態にお
いてはメイン油室内の圧力番上たとえば20M*/e、
m2に保たれ、そのn、7スブールは硯C11(装置0
に静1にしているう次に不予に電11−を印加するとそ
の電圧1直に応し2ζ素了は伸Fし、シリンダを押1げ
るのでメイン油″:・内の圧力は増力l以7、スプール
を右方へ変(−γせしめる。この内圧と変(qとの関係
ばたとえば第3図の実線ΔBの如−に変化する。因みに
B点は素子に800■の電圧を印加したときの状態であ
る。即ち圧力は当初の設定値20にg/cm2から24
KB/cm2に増加するがこの4Kg/cm2の圧力上
昇はスプール4をイー1勢するスプリング5の圧縮によ
る荷重の増加に相当する。前述の通り長期間の使用によ
ってメイン油室a内から若干の作動油が漏洩した場合に
は作動油を補充しない限りこの油量の減少を補なうよう
にスプール4はメイン油室a内に更に深く進入し第3図
のA′点に相当する位置まで変位する。この例において
は初期値において0.5 arm変位している。これに
伴ってスプリング5も伸長し、その(λJ”pD力が減
少するので内圧は当初設定された20にB/cm”以下
に低下する。従って素子に電圧を印加すると圧力と変位
の関係は点線で示すA’B’の如く当初の設定に対し延
長線にずれ、アクチュエータの出力に誤差が生ずる。本
発明はこの現象に着目してなされたもので、漏洩した作
動油を直ちに補充してメイン油室内を常に当初の設定圧
力に保持するようになすことによって4X t−の詳貝
6をMン肖するものである。
ついて説明する。第2図に示すメイン油室a内の圧力変
化とスプールの位置との関係の一例を第3図に示す。オ
;子に電圧を印加していない’dB j!Jl状態にお
いてはメイン油室内の圧力番上たとえば20M*/e、
m2に保たれ、そのn、7スブールは硯C11(装置0
に静1にしているう次に不予に電11−を印加するとそ
の電圧1直に応し2ζ素了は伸Fし、シリンダを押1げ
るのでメイン油″:・内の圧力は増力l以7、スプール
を右方へ変(−γせしめる。この内圧と変(qとの関係
ばたとえば第3図の実線ΔBの如−に変化する。因みに
B点は素子に800■の電圧を印加したときの状態であ
る。即ち圧力は当初の設定値20にg/cm2から24
KB/cm2に増加するがこの4Kg/cm2の圧力上
昇はスプール4をイー1勢するスプリング5の圧縮によ
る荷重の増加に相当する。前述の通り長期間の使用によ
ってメイン油室a内から若干の作動油が漏洩した場合に
は作動油を補充しない限りこの油量の減少を補なうよう
にスプール4はメイン油室a内に更に深く進入し第3図
のA′点に相当する位置まで変位する。この例において
は初期値において0.5 arm変位している。これに
伴ってスプリング5も伸長し、その(λJ”pD力が減
少するので内圧は当初設定された20にB/cm”以下
に低下する。従って素子に電圧を印加すると圧力と変位
の関係は点線で示すA’B’の如く当初の設定に対し延
長線にずれ、アクチュエータの出力に誤差が生ずる。本
発明はこの現象に着目してなされたもので、漏洩した作
動油を直ちに補充してメイン油室内を常に当初の設定圧
力に保持するようになすことによって4X t−の詳貝
6をMン肖するものである。
次にその尺体的構成について第1図に基いて説明する。
第1図は本発明のアクチェエータの一実施態様を示すが
そのアクチュエータとしての作動部分は第2図において
既に述べた従来型のアクチュエータと同じ構造であり対
応する部品には同し符号が付されているので詳iホは省
略し、本発明に特有な部分についてのみ説明する。
そのアクチュエータとしての作動部分は第2図において
既に述べた従来型のアクチュエータと同じ構造であり対
応する部品には同し符号が付されているので詳iホは省
略し、本発明に特有な部分についてのみ説明する。
第1図におい°(本発明のアクチュエータはメイン油室
aの上方のケーシング2内にサブシリンダ2bを形成し
、これに摺動自在に嵌挿されたサブピストンlOと該サ
ブシリンダ2bの底部2cとの間にサブ油室すを形成し
ている。サブピストン10はサブシリンダ2bの頂部開
口に取付けられたトッププレート11との間に介装され
た圧縮スプリング14によって下向きに付勢され、前記
サブ油室す内に封入された補充用作動油に所定の圧力を
付加している。このサブ油室すの、底部は下方に向って
末広がりのテーパ部12を有する一゛連通孔13によっ
てメイン油室aの頂部と連通している。
aの上方のケーシング2内にサブシリンダ2bを形成し
、これに摺動自在に嵌挿されたサブピストンlOと該サ
ブシリンダ2bの底部2cとの間にサブ油室すを形成し
ている。サブピストン10はサブシリンダ2bの頂部開
口に取付けられたトッププレート11との間に介装され
た圧縮スプリング14によって下向きに付勢され、前記
サブ油室す内に封入された補充用作動油に所定の圧力を
付加している。このサブ油室すの、底部は下方に向って
末広がりのテーパ部12を有する一゛連通孔13によっ
てメイン油室aの頂部と連通している。
該連通孔13内には圧縮スプリング16によって前記テ
ーパ部12に圧接されるように付勢された鋼球15が収
容されてメイン油室aとサブ油室すとの間にチェック弁
機構17を構成している。このチェック弁機構17によ
って作動油はサブ油室すからメイン油室aへの一方向の
みの移動が保証される。
ーパ部12に圧接されるように付勢された鋼球15が収
容されてメイン油室aとサブ油室すとの間にチェック弁
機構17を構成している。このチェック弁機構17によ
って作動油はサブ油室すからメイン油室aへの一方向の
みの移動が保証される。
両油室a、b内の圧力はたとえばメイン油室内の初期圧
力を20Kgに設定した場合にはサブ油室す内の圧力は
21 K(H/cm”となるようにスプリング14の力
を設定し且つチェック弁atM17の作動圧をlh/c
m”に設定しておくことが好ましく、これによってもし
メイン油室a内の油量が減少し第3図に示すように20
V、6/cm2以下の圧力にな−た時にはチェック弁機
構17が商きサブ油室すから補充用の作動油がメイン油
室a内に流入して酸室の圧ノコを再び20にB/cm2
に回復するまで補充される。このためメイン油室内の油
量は常に一定に保たれ、従って2その初、朋圧力並びに
スプールの初!III設定位置は常にニ定植に制御され
る。なおメイン油室内の切間圧力を20にg/ c m
l と云う比較的大きい値に設定している理由はl″
ZTなどの積層型圧電素子は初1!Jまたわみが不安定
であるので常に高圧を加えた状態にしてこの不安定領域
を殺し、動作の安定性をはかるためてよ)ろ。
・サブ油室す内に予力を付与するだめの7、プリングI
、1としてハネ定教の小さいものを(土用ずれ、は、
サブ油室すが収容している作動浦倍メイン油室、l内に
補充して容11゛;か;戊少し′す゛)7ノリ/りlO
が下方に変位しても、スプリング14によって付与され
る押圧力に:、L冶ん止′!!う化はなく、i追っ−C
す“フ浦室す内の圧力J)実質的に不変てr= ;ut
間の安定した1乍Φ力力・1用IIrで・Σろ。
力を20Kgに設定した場合にはサブ油室す内の圧力は
21 K(H/cm”となるようにスプリング14の力
を設定し且つチェック弁atM17の作動圧をlh/c
m”に設定しておくことが好ましく、これによってもし
メイン油室a内の油量が減少し第3図に示すように20
V、6/cm2以下の圧力にな−た時にはチェック弁機
構17が商きサブ油室すから補充用の作動油がメイン油
室a内に流入して酸室の圧ノコを再び20にB/cm2
に回復するまで補充される。このためメイン油室内の油
量は常に一定に保たれ、従って2その初、朋圧力並びに
スプールの初!III設定位置は常にニ定植に制御され
る。なおメイン油室内の切間圧力を20にg/ c m
l と云う比較的大きい値に設定している理由はl″
ZTなどの積層型圧電素子は初1!Jまたわみが不安定
であるので常に高圧を加えた状態にしてこの不安定領域
を殺し、動作の安定性をはかるためてよ)ろ。
・サブ油室す内に予力を付与するだめの7、プリングI
、1としてハネ定教の小さいものを(土用ずれ、は、
サブ油室すが収容している作動浦倍メイン油室、l内に
補充して容11゛;か;戊少し′す゛)7ノリ/りlO
が下方に変位しても、スプリング14によって付与され
る押圧力に:、L冶ん止′!!う化はなく、i追っ−C
す“フ浦室す内の圧力J)実質的に不変てr= ;ut
間の安定した1乍Φ力力・1用IIrで・Σろ。
゛第1図に示′ジ実栴態様におしゾこりより・ブ油室す
をり゛ブシリン;+’ 2 )、とサブビス1−ン10
とで+1′5成したか第4図に示すようにリーブシリン
ダ2bとその中に収容された公知のへLl−又又はダイ
アフラム20等で+7¥成することもてきる。
をり゛ブシリン;+’ 2 )、とサブビス1−ン10
とで+1′5成したか第4図に示すようにリーブシリン
ダ2bとその中に収容された公知のへLl−又又はダイ
アフラム20等で+7¥成することもてきる。
〈実Jj軸1列〉
本発明のアクチェエータを組1八んだ11r脹弁30を
クーラシステムに使用した例を第5図に示す。
クーラシステムに使用した例を第5図に示す。
膨張弁30は蒸発器31、圧縮a32、凝縮器33、受
液器34を含む冷媒回路の蒸発器3Iと受液器34の間
に設けられ、蒸発器31の出口での冷媒の温度Teと圧
力Peをフィードバック制御するようにコントローラ3
5がらの出力電圧によって作動せしめられる。
液器34を含む冷媒回路の蒸発器3Iと受液器34の間
に設けられ、蒸発器31の出口での冷媒の温度Teと圧
力Peをフィードバック制御するようにコントローラ3
5がらの出力電圧によって作動せしめられる。
この膨張弁30は第6図に示す構造を有し、第1図で説
明した実施態様のアクチュエータ4oのスプール4の後
方に冷媒導入口41を有するハウジング42を設置し、
該導入口41にスプール4の端部に固着した鋼球43を
対面せしめ、該鋼球43と4人口41のテーパ部分44
との間で絞り弁が構成されている。
明した実施態様のアクチュエータ4oのスプール4の後
方に冷媒導入口41を有するハウジング42を設置し、
該導入口41にスプール4の端部に固着した鋼球43を
対面せしめ、該鋼球43と4人口41のテーパ部分44
との間で絞り弁が構成されている。
このクーラシステムにおいては膨張弁3oは蒸発器31
の出口での冷媒の温度Teと圧力Peを入力されたコン
トローラ35が常時一定のスーパーヒートを確保できる
ように圧電素子に印加する電圧を制御する。印加電圧が
高くなるとスプール4が右方へ押され、鋼球43が導入
口41の方へ接近し、導入口Plを通過する冷媒の量を
減少させてスーパーヒートを大きくし、逆に電圧が低く
なると鋼球43と導入口41との間の距乱が増加して冷
媒通過量を増やしスーパーヒートを小さくする。
の出口での冷媒の温度Teと圧力Peを入力されたコン
トローラ35が常時一定のスーパーヒートを確保できる
ように圧電素子に印加する電圧を制御する。印加電圧が
高くなるとスプール4が右方へ押され、鋼球43が導入
口41の方へ接近し、導入口Plを通過する冷媒の量を
減少させてスーパーヒートを大きくし、逆に電圧が低く
なると鋼球43と導入口41との間の距乱が増加して冷
媒通過量を増やしスーパーヒートを小さくする。
〈発明の効果〉
以上詳述した如く、本発明によれば長間間の使用によっ
てメイン油室内の作動油が漏洩して油量が減少した場合
にはサブ油室から直らに減早分の油が自動的に補充され
るのでメイン油室内の圧力並びにこれに挿入されたスプ
ールの位置は常に一定に保たれ、予め設定された初期値
が変動することはない。又メイン油室とサブ油室とをチ
ェック弁機構を介して連通したのでメイン油室内の圧力
が高(な□っても作動油がサブ油室内に逆流することば
なく安定した作動が保証される。
てメイン油室内の作動油が漏洩して油量が減少した場合
にはサブ油室から直らに減早分の油が自動的に補充され
るのでメイン油室内の圧力並びにこれに挿入されたスプ
ールの位置は常に一定に保たれ、予め設定された初期値
が変動することはない。又メイン油室とサブ油室とをチ
ェック弁機構を介して連通したのでメイン油室内の圧力
が高(な□っても作動油がサブ油室内に逆流することば
なく安定した作動が保証される。
本発明のアクチュエータはクーラシステム内の冷媒の流
量制御に好適に用いられるがこれに限定されるものζは
ない。
量制御に好適に用いられるがこれに限定されるものζは
ない。
第1図は本発明のアクチュエータの一実施態様の側断面
図、 第2図は従来のアクチュエータの側断面図、第3図はメ
イン油室内圧力とスプール位置との関係を示すグラフ、 第4図は本発明にかかるサブ油室の別の実施例の部分断
面図、 第5図は本発明のアクチュエータを利用したクーラシス
テムの回路図、及び 第6図は第5図のクーラシステムに使用される膨張弁の
側断面図である。 l−・−圧電素子、 2−ケーシング、3−シリン
ダ、 4−・スプール、・5−・−スプリング、
a −メイン油室、b−・サブ油室、 9−一
端子、 2b−サブシリンダ、 lO−サブピストン、13一連
通孔、 14−スプリング、15−鋼球、
16−スプリング、17− チェック弁接t、+、
7゜ 第3図 一1Q 1 2 スプール位置 (mm ) 第4図
図、 第2図は従来のアクチュエータの側断面図、第3図はメ
イン油室内圧力とスプール位置との関係を示すグラフ、 第4図は本発明にかかるサブ油室の別の実施例の部分断
面図、 第5図は本発明のアクチュエータを利用したクーラシス
テムの回路図、及び 第6図は第5図のクーラシステムに使用される膨張弁の
側断面図である。 l−・−圧電素子、 2−ケーシング、3−シリン
ダ、 4−・スプール、・5−・−スプリング、
a −メイン油室、b−・サブ油室、 9−一
端子、 2b−サブシリンダ、 lO−サブピストン、13一連
通孔、 14−スプリング、15−鋼球、
16−スプリング、17− チェック弁接t、+、
7゜ 第3図 一1Q 1 2 スプール位置 (mm ) 第4図
Claims (4)
- 1.中空のケーシング、該ケーシングの中空部に形成さ
れたシリンダ、該シリンダ内に軸方向に摺動自在に嵌挿
されたピストンの三者によってメイン油室が形成され、
該メイン油室内には作動油が封入されると共にケーシン
グの側壁に設けられた貫通孔に外部から摺動自在に挿通
されたスプールの先端が突出し、前記メイン油室と反対
側の前記ピストンの面には該ピストンに軸方向の変位を
付与するための圧電素子が係合し、又前記スプールは付
勢手段によって常に前記メイン油室を指向する方向に付
勢され、前記圧電素子が微小変位することによって生ず
るメイン油室内の油圧変化を前記スプールのメイン油室
内への突出長さの変化に変換して増巾する圧電素子アク
チュエータにおいて、前記メイン油室と連通するサブ油
室を具え、且つ該サブ油室内の作動油に一定の油圧を付
与するための手段を具え、更に前記メイン油室からサブ
油室へ向う作動油の流れを阻上するチェック弁機構を具
えたことを特徴とする圧電素子アクチュエータ。 - 2.圧電素子がPZTである特許請求の範囲第1項に記
載されたアクチュエータ。 - 3.油圧付与手段がスプリングである特許請求の範囲第
1項又は第2項に記載されたアクチュエータ。 - 4.油圧付与手段がダイアフラム弁である特許請求の範
囲第1項又は第2項に記載されたアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59206378A JPS6184401A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 圧電素子アクチユエ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59206378A JPS6184401A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 圧電素子アクチユエ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6184401A true JPS6184401A (ja) | 1986-04-30 |
Family
ID=16522341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59206378A Pending JPS6184401A (ja) | 1984-10-03 | 1984-10-03 | 圧電素子アクチユエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6184401A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63169779A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Atsugi Motor Parts Co Ltd | 圧電アクチユエ−タの変位拡大構造 |
| JPS63169778A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Atsugi Motor Parts Co Ltd | 圧電アクチユエ−タの変位拡大構造 |
| KR19990075617A (ko) * | 1998-03-23 | 1999-10-15 | 윤종용 | 유량 조절 밸브 |
| KR100325801B1 (ko) * | 1998-03-23 | 2002-05-09 | 윤종용 | 유량 조절 밸브 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5762980A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-16 | Schenck Ag Carl | Fluid pressure apparatus |
-
1984
- 1984-10-03 JP JP59206378A patent/JPS6184401A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5762980A (en) * | 1980-10-03 | 1982-04-16 | Schenck Ag Carl | Fluid pressure apparatus |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63169779A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Atsugi Motor Parts Co Ltd | 圧電アクチユエ−タの変位拡大構造 |
| JPS63169778A (ja) * | 1987-01-07 | 1988-07-13 | Atsugi Motor Parts Co Ltd | 圧電アクチユエ−タの変位拡大構造 |
| KR19990075617A (ko) * | 1998-03-23 | 1999-10-15 | 윤종용 | 유량 조절 밸브 |
| KR100325801B1 (ko) * | 1998-03-23 | 2002-05-09 | 윤종용 | 유량 조절 밸브 |
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